一种改善微波透过率的CVD窗口的制作方法

一种改善微波透过率的cvd窗口
技术领域
1.本实用新型涉及cvd生产工艺技术领域，具体为一种改善微波透过率的cvd窗口。


背景技术：

2.微波是指频率为300mhz-300ghz的电磁波，是无线电波中一个有限频带的简称，即波长在1米(不含1米)到1毫米之间的电磁波，是分米波、厘米波、毫米波和亚毫米波的统称。微波频率比一般的无线电波频率高，通常也称为“超高频电磁波”。微波作为一种电磁波也具有波粒二象性。微波的基本性质通常呈现为穿透、反射、吸收三个特性。对于玻璃、塑料和瓷器，微波几乎是穿越而不被吸收。对于水和食物等就会吸收微波而使自身发热。而对金属类东西，则会反射微波；现有技术中cvd的生产工艺流程中利用玻璃的透光没有考虑全面，还没有从内部的热量，透光率，强度等综合技术来实现微波透过率高，且要确保反应腔内的真空，现有技术实现真空的方式只是将一块透光玻璃放置在微博发生装置和反应腔体之间，安装过程很容易导致反应腔体无法显示密闭空间，且透光玻璃有一定的活动范围，使得内部结构无法实现紧凑具体，现亟待一种改善微波透过率的cvd窗口。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种改善微波透过率的cvd窗口，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：
5.一种改善微波透过率的cvd窗口，包括微波进口，微波进口一端下方固定连接微波发生装置，微波发生装置下端固定连接反应腔体，反应腔体右侧偏下端固定连接放料口。
6.作为优选，微波发生装置包括透光玻璃，透光玻璃设置在微波发生装置最下端，与其密封连接，透光玻璃上设有四个长方形凹槽。
7.作为优选，反应腔体最上端设有四个凸起，凸起的形状大小与凹槽相同，且凸起的高度与透光玻璃的厚度相同。
8.作为优选，凸起靠内侧边设有一圈密封橡胶条，密封橡胶条是将四个凸起的内侧边均连接起来的圆形胶条。
9.作为优选，透光玻璃的材质为纯净的天然石英。
10.作为优选，微波发生装置下端设有一个凸出的檐，檐上均匀分布有一圈通孔。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12.1.本改善微波透过率的cvd窗口利用天然纯净石英做成的透光玻璃，这种玻璃硬度大可达莫氏七级，具有耐高温、膨胀系数低、耐热震性、化学稳定性和电绝缘性能良好，并能透过紫外线和红外线。除氢氟酸、热磷酸外，对一般酸有较好的耐酸性，能高效的透过微波，从而进行下一步的有效反应。
13.2.本改善微波透过率的cvd窗口利用凹槽和凸起进行配合实现透光玻璃的固定安装，不会因为装置工作中的微小振动和安装的偏差使得下方的反应腔体密封性变差，且设
有一圈密封橡胶条在凸起的内侧下沿，这样就算装置内热量过大也不会因为密封橡胶条的过热而影响透光玻璃的微波透过率和下方反应腔体内的发应过程。
14.3.本改善微波透过率的cvd窗口上设有通孔来进行散热，将微波发生装置中的热量和气流散出，且对透光玻璃也能进行一定程度上的散热，保护透光玻璃以及下方的密封橡胶条，使其拥有更长的使用寿命。
附图说明
15.图1为本实用新型整体结构示意图；
16.图2为本实用新型内部结构分解图；
17.图3为本实用新型图1中透光玻璃结构示意图；
18.微波进口1、微博发声装置2、反应腔体3、放料口4、透光玻璃 5、凹槽6、凸起7、密封橡胶条8、檐9、通孔10
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.实施例：请参阅图1-3所示，
21.一种改善微波透过率的cvd窗口，包括微波进口1，微波进口1 一端下方固定连接微波发生装置2，微波发生装置2下端固定连接反应腔体3，反应腔体3右侧偏下端固定连接放料口4；
22.所述微波发生装置2包括透光玻璃5，透光玻璃5设置在微波发生装置2最下端，与其密封连接，透光玻璃5上设有四个长方形凹槽 6，透光玻璃5密封连接在微波发生装置2的下端，且在透光玻璃 5上设有凹槽6，使得微波发生装置2与下方的反应腔体连接方向固定，不能随意变动，且安装的更加简单易懂；
23.所述反应腔体3最上端设有四个凸起7，凸起7的形状大小与凹槽6相同，且凸起7的高度与透光玻璃5的厚度相同，凸起7与凹槽 5相配合，使得整个装置正好配合安装，凸起7的大小形状和高度与透光玻璃正好相补，安装不会存在高度不均的可能，且遭遇到微小振动等可能影响透光玻璃5位置的因素时也不会移位，更加方便，更加精确；
24.所述凸起7靠内侧边设有一圈密封橡胶条8，密封橡胶条8是将四个凸起7的内侧边均连接起来的圆形胶条，密封橡胶条8设置在凸起7的靠内侧边，这样能更好的确保下方反应腔体3的密封性，使其析出晶体更加快捷，且没有设置在反应腔体3上端的圆形开口处是因为内部热量大，设置在开口处容易使得密封橡胶条8的密封性大打折扣，且过热软化了密封橡胶条8后可能会黏住透光玻璃5从而影响透光玻璃5的微波透过率软化后也可能沿着反应腔体3内腔下滑，影响内部反应析出晶体的作用；
25.所述透光玻璃5的材质为纯净的天然石英，石英材质的玻璃硬度大可达莫氏七级，具有耐高温、膨胀系数低、耐热震性、化学稳定性和电绝缘性能良好，并能透过紫外线和红外线。除氢氟酸、热磷酸外，对一般酸有较好的耐酸性，微波透过率高等；
26.所述微波发生装置2下端设有一个凸出的檐9，檐9上均匀分布有一圈通孔10，凸出的檐9能实现更好的安装，且在檐9上设有通孔10，通孔10与透光玻璃5的密封连接互补干涉，且还能对于起到一定程度上的降温，从而用于保护石英材质的透光玻璃5也觉有一定的散热效果，连带着保护下端的密封橡胶条8使用寿命更加长。
27.工作原理：微波通过微波进口1进入到微波发生装置2内，微波发生装置2下端设有透光玻璃5，微波经过反应发生透过透光玻璃进入到反应腔体3内，反应腔体3内进行下一步的与通入的气体进行反应，从而慢慢析出金刚石，在微波发生装置2与反应腔体4之间利用凹槽6和凸起7相互配合，且在凸起7下端内侧设有一圈密封橡胶条 8，确保下方反应腔体3的密封性，从而确保反应腔体3内反应的完全性，在微波发生装置2下端设有设有檐9，在檐9上设有通孔10 不仅为了微波发生装置2的散热，也能为透光玻璃5和密封橡胶条8 进行散热，延长使用寿命。
28.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
29.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。