光学模块的制作方法

1.本公开涉及飞行时间成像系统领域，特别地，涉及利用mems技术来跨脉冲激光发生器和高速光电检测器扫描发射透镜和接收透镜以实现场景深度测量的紧凑飞行时间系统。


背景技术：

2.飞行时间(tof)成像技术被用于很多深度映射系统(也被称为3d映射或3d成像)。在所谓“直接”tof技术中，光源(诸如脉冲激光)将光学辐射脉冲朝向要被映射的场景引导，并且高速检测器感测从场景反射回的光学辐射的到达时间。深度图中的每个像素处的深度值根据光学辐射的出射脉冲的发射时间与从场景中的对应点反射的光学辐射的到达时间的差而得到，该差被称为光学脉冲的“飞行时间”。
3.对于一些期望的应用，为了满足期望的性能和分辨率度量，期望跨场景扫描光学光源，并且在该扫描期间适当地接收从场景反射回的光学辐射。作为示例，光源和高速检测器可以相对于光学辐射的出射脉冲和从场景反射回的输入光学辐射通过的光学透镜来扫描。
4.然而，当前的扫描技术可能会消耗不希望的面积量。此外，与此类技术一起使用的光学模块的厚度比所期望的更大。鉴于深度映射系统通常被并入紧凑型电子设备中，额外的面积消耗和额外的厚度是特别不期望的。因此，对利用对场景深度图的扫描解决方案的紧凑型tof系统的开发是必要的，并且希望这种紧凑型tof系统能够保持现有系统的鲁棒性。


技术实现要素：

5.本实用新型的各个实施例用于解决现有技术中存在的技术问题。
6.一种光学模块包括：衬底；由衬底承载的光学检测器；由衬底承载的激光发射器；由衬底承载的支撑结构；和光学层。光学层包括：固定部分，由支撑结构承载；可移动部分，通过弹簧结构被附固在固定部分的相对侧之间；透镜系统，由可移动部分承载，该透镜系统包括物镜部分和射束成形透镜部分，物镜部分被放置为使得其位于光学检测器的上方，射束成形透镜部分被放置为使得其位于激光发射器的上方；以及mems致动器，用于可移动部分在平面内相对于固定部分的移动。
7.mems致动器可以包括梳状驱动部。梳状驱动部可以通过以下来形成：第一梳状结构，从固定部分延伸以与从可移动部分延伸的第二梳状结构相互交错；以及致动电路系统，被配置为：将电压施加到第一梳状结构和第二梳状结构，以使光学层的可移动部分在固定部分的相对侧之间来回振荡，使得在第一行进限制处，相比于固定部分的第二侧，光学层的可移动部分更靠近固定部分的第一侧，并且使得在第二行进限制处，相比于固定部分的第一侧，光学层的可移动部分更靠近固定部分的第二侧。
8.mems致动器可以通过以下来形成：第一梳状结构，从固定部分的第一侧延伸，以与
从可移动部分的相邻侧延伸的第二梳状结构相互交错；第三梳状结构，从固定部分的第二侧延伸，以与从可移动部分的相邻侧延伸的第四梳状结构相互交错；以及致动电路系统，被配置为：将电压施加到第一梳状结构、第二梳状结构、第三梳状结构和第四梳状结构，以使光学层的可移动部分在固定部分的相对侧之间来回振荡，使得在第一行进限制处，相比于固定部分的第二侧，光学层的可移动部分更靠近固定部分的第一侧，并且使得在第二行进限制处，相比于固定部分的第一侧，光学层的可移动部分更靠近固定部分的第二侧。
9.光学检测器可以是单光子雪崩二极管的二维阵列，该单光子雪崩二极管被布置为匹配由入射在其上的光显示的期望衍射图案。
10.激光发射器可以是垂直腔表面发射激光器(vcsel)的一维阵列。
11.弹簧结构可以是mems弹簧结构。
12.固定部分、可移动部分和弹簧结构可以被整体形成作为单片单元。
13.封装层可以由固定部分承载并且覆盖透镜系统。
14.透镜系统可以包括超表面光学器件。
15.透镜系统可以包括物镜和与物镜间隔开的射束成形透镜。
16.透镜系统可以由可移动部分的顶表面承载，并且与可移动部分中物镜部分和射束成形透镜部分所在的部分相对，可移动部分的背表面可以变薄。
17.可移动部分可以包括承载透镜系统的承载件，可移动部分具有弹簧结构，该弹簧结构包括分别从承载件的不同角延伸到在固定部分的不同角处的锚点(anchor)的第一弯曲部、第二弯曲部、第三弯曲部和第四弯曲部。
18.第一弯曲部、第二弯曲部、第三弯曲部以及第四弯曲部可以是s型
19.承载件可以包括第一承载件部分、第二承载件部分以及连接器部分，其中第一承载件部分承载物镜部分，第二承载件部分承载射束成形透镜部分，连接器部分在第一承载件部分与第二承载件部分之间延伸，连接器部分的宽度小于第一承载件部分和第二承载件部分的宽度。
20.承载件可以具有被限定在其中的第一开口和第二开口，物镜部分和射束成形部分在第一开口和第二开口中被承载。
21.承载件可以由间隔开的第一承载件部分和第二承载件部分形成。
22.透镜系统可以包括由移动部分承载的玻璃衬底，透镜系统具有物镜部分和射束成形透镜部分，物镜部分和射束成形透镜部分由玻璃衬底承载。
23.附加玻璃衬底可以由支撑结构承载，附加玻璃衬底承载光学层。
24.本文还公开了一种光学模块，包括：衬底；由衬底承载的光学检测器；由衬底承载的激光发射器；由衬底承载的支撑结构；以及光学层。光学层可以包括：固定部分，由支撑结构承载；可移动部分，通过弹簧结构被附固在固定部分的相对侧之间；透镜系统，由可移动部分承载；其中可移动部分具有在其中所限定的至少一个开口，透镜系统跨至少一个开口而延伸，可移动部分具有跨至少一个开口而延伸的至少一个支撑部分以支撑透镜系统；以及mems致动器，用于可移动部分相对于固定部分的平面内移动。
25.至少一个支撑部分可以平行于可移动部分的移动轴线而延伸。
26.至少一个支撑部可以包括多个支撑部分。
27.多个支撑部分可以包括平行于可移动部分的移动轴线而延伸的至少一些支撑部
分。
28.多个支撑部分可以包括垂直于可移动部分的移动轴线而延伸的至少一些其他支撑部分。
29.多个支撑部分可以包括反平行于可移动部分的移动轴线而延伸的至少一些支撑部分。
30.多个支撑部分包括围绕透镜系统的中心点呈椭圆形延伸的至少一些支撑部分。
31.第一部分、可移动部分、至少一个支撑部分和弹簧结构可以被整体形成作为单片单元。
32.在本公开的实施例中，实现了紧凑型飞行时间系统，避免额外的面积消耗和额外的厚度。
附图说明
33.图1是用于飞行时间(tof)系统的基于微机电系统(mems)的光学模块的实施例的横截面图。
34.图1a是图1的基于mems的光学模块的俯视图。
35.图2是入射在图1的光学检测器上的经反射的光学辐射在其通过衍射光学器件后的俯视图。
36.图3是形成图1光源的激光发射器的俯视图。
37.图4是包含图1的承载mems致动器和光学器件的承载件的层的第一种可能布置的俯视图。
38.图5是包含图1的承载mems致动器和光学器件的承载件的层的第二种可能布置的俯视图。
39.图6是包含图1的承载mems致动器和光学器件的承载件的层的第三种可能布置的俯视图。
40.图7是用于tof系统(诸如可以将图4至图6的布置用于其包含承载mems致动器和光学器件的承载件的层)的基于mems的光学单元的附加实施例的横截面图。
41.图8是用于tof系统(诸如可以将图4至图6的布置用于其包含承载mems致动器和光学器件的承载件的层)的基于mems的光学单元的另一实施例的横截面图。
42.图9是用于tof系统(诸如可以将图4至图6的布置用于其包含承载mems致动器和光学器件的承载件的层)的基于mems的光学单元的又一实施例的横截面图。
43.图10是由玻璃层封装的图7的基于mems的光学单元的实施例的横截面图。
44.图11是图10的基于mems的光学单元的俯视图。
45.图12是用于tof系统(诸如可以将图4至图6的布置用于其包含承载mems致动器和光学器件的承载件的层)的基于mems的光学单元的再一实施例的横截面图。
46.图13是图12的实施例的变型的横截面图，其中光学层和mems层由玻璃衬底封装。
47.图14是图1的实施例的变型的横截面图，其中位于激光发射器阵列上方的透镜通过承载件来移动，同时位于光学传感器上方的透镜保持静止。
48.图15是图1的实施例的另一变型的横截面，其中位于激光发射器阵列上方的透镜通过承载件来移动，同时位于光学传感器上方的透镜是常规形成的透镜并且保持静止。
49.图16是图12的实施例的又一变型的横截面图，其中支撑部分平行于移动轴线而延伸以支撑透镜。
50.图17a是包含图16的承载mems致动器和光学器件的承载件的层的第一种可能布置的俯视图。
51.图17b是包含图16的承载mems致动器和光学器件的承载件的层的第二种可能布置的俯视图。
52.图17c是包含图16的承载mems致动器和光学器件的承载件的层的第三种可能布置的俯视图。
具体实施方式
53.以下公开内容使本领域技术人员能够制造和使用本文中所公开的主题。在不脱离本公开的精神和范围的情况下，本文中所描述的一般原理可以应用于除了上面详述的那些之外的实施例和应用。本公开不旨在限制于所示实施例，而应符合与本文中所公开或建议的原理和特征一致的最宽范围。
54.现在参考图1描述的是用于tof系统中的基于mems的光学模块10。光学模块10包括衬底11，诸如硅或有机材料，高速光学检测器集成电路(ic)13和激光发射器阵列集成电路(ic)14被安装在衬底11上。作为示例，基于mems的光学模块10可以使用组装工艺来实现，其中高速光学检测器ic 13和激光发射器阵列ic 14利用后端处理技术通过管芯附接被安装到基板11。
55.高速光学检测器ic 13可以包括单光子雪崩二极管(spad)的二维阵列，并且激光发射器阵列ic 14可以包括垂直腔表面发射激光器(vcsels)的阵列(一维或二维)。支撑结构12a和支撑结构12b由在光学检测器ic 13和激光发射器阵列ic 14的相对侧上的衬底11承载，并且还可以由硅、金属或塑料形成。支撑结构12a和支撑结构12b可以是框型支撑结构12的相对侧，如图1a所示
56.光学层19由支撑结构12a和支撑结构12b承载。光学层19包括由相应的支撑结构12a和支撑结构12b承载的固定部分15a和固定部分15b。固定部分15a和固定部分15b可以由硅形成。固定部分15a和固定部分15b可以是框型固定部分15的相对侧，如图1a所示
57.在固定部分15a和固定部分15b之间是可移动部分16，可移动部分16也可以由硅或光学透明材料形成。尽管图1中未示出，如将在下面所说明的，mems弯曲部从移动部分16延伸到固定部分15a和固定部分15b上的锚点，并且当移动部分16被致动时，用于允许移动部分16在正负x方向(远离一个固定部分15a并且朝向另一固定部分15b，然后远离固定部分15b并且朝向固定部分15a返回，等等)移动。透镜17a和17b由移动部分16承载，其中透镜17a被放置在移动部分16上，使得其位于光学检测器ic 13的上方，并且透镜17b被放置在移动部分16上，使得其位于激光发射器阵列ic 14的上方。应注意，透镜17a被调整尺寸使得无论移动部分16在移动时的位置如何，入射到透镜17a上的光9通过透镜17a来弯曲，使得其照射在光学检测器ic 13上，并且使得由激光发射器ic阵列ic 14发射的光18通过透镜17b来弯曲，使得它以期望的角度朝向场景(例如，在z方向上)被引导。
58.透镜17a是物镜并且将从场景反射的光聚焦到光学检测器ic13，并且透镜17a可以是多级衍射光学器件或超表面。由于激光发射器阵列ic 14的激光器图案，从场景反射的光
具有平行线的图案，如下所述。从其由激光发射器阵列ic 14和透镜17b引导的场景反射的入射光可以在图2中看到，其中可以观察到入射光19已经被聚焦成在如图2所示的光学检测器ic 13上的平行线图案。应注意，在某些情况下，光学检测器ic 13的spad可以在形成光学检测器ic 13时被预布置成该图案。
59.透镜17b是射束成形光学器件，并且被成形和形成以便对由激光发射器阵列ic 14的vcsels发射的激光18沿着平行于mems扫描方向的方向进行准直，并且以对图3中所示的每个激光的圆形射束沿着与该方向垂直的方向进行扩展。结果，如图2所示，由一组平行线组成的光图案被获得。通过移动部分16的移动沿着mems扫描方向来扫描该图案。透镜17b也可以是多级衍射光学器件或超表面。应注意，激光发射器阵列ic 14可以是一维阵列或线的vcsels
60.在图4中可以看到光学器件层19的一种可能布置的顶视图。移动部分16包括承载件20，其中透镜17a和透镜17b被附固在承载件20的开口内。使用mems技术形成的弯曲部22a至22d以呈方形的s型图案从承载件20的角延伸到锚点23a至23d，该锚点23a至23d被附固到固定部分15a和固定部分15b，其中锚点23a和锚点23d被被附固到固定部分15a，并且锚点23b和锚点23c被附固到固定部分15b。应注意，弯曲部22a至22d实际上与承载件20和以及固定部分15a和固定部分15b整体形成作为单片单元，因此从承载件20延伸到固定部分15a和固定部分15b，而不是被附固到承载件20以及固定部分15a和固定部分15b。
61.导电梳件25a和导电梳件25b从承载件20的侧面延伸，并且与导电梳件26a和导电梳件26b相互交错，导电梳件26a和导电梳件26b从梳状驱动致动器24a和梳状驱动致动器24b延伸，梳状驱动致动器24a和梳状驱动致动器24b被分别附固到固定部分15a和固定部分15b。梳件25a和梳件25b与承载件20和弯曲部22a至22d整体形成作为单片单元，因此它们被短路在一起并且通过在它们连接处对固定部分15a和固定部分15b进行偏置来以恒定的参考电压(例如，接地)进行设置。电学布线通过弯曲部22a至22d本身来实现。梳状驱动致动器24a和梳状驱动致动器24b是被配置为向梳件26a和梳件26b施加电压(具有叠加的ac驱动波形的dc偏压)以使得梳状驱动部形成的电路，并且承载件20经由静电驱动在x方向上来回移动，以由此跨场景扫描由激光发射器阵列ic 14发射的激光脉冲，以允许光学检测器ic 13检测来自场景的反射以收集关于场景的深度信息。应注意，由于透镜17a和透镜17b位于相同承载件20上，因此由激光发射器阵列ic 14发出的光和在光学检测器13处收集的光均被同步扫描，使得光学检测器13以任何给定的移动查看场景中由激光发射器阵列ic 14照射的部分，并且以这样的方式，相比于被反射的激光，更少的背景光被收集，因为光学探测器13在给定时间下正在查看场景的部分。
62.在上述示例中，衬底11的厚度tsi可以近似200μm至300μm。层15和层16的厚度可以近似60μm。另外，透镜17a和透镜17b的长度lx可以是3.25mm，并且透镜17a和17b的宽度ly可以是2.5mm。
63.图5中可见光学层19’的变型。这里，承载件被分成承载透镜17a的第一承载件部分20a和承载透镜17b的第二承载件部分20b，其中连接器部分33在第一承载件部分20a和第二承载件部分20b之间延伸。应注意，连接器部分33在z方向上比第一承载件部分20a和第二承载件部分20b更窄，并且与第一承载件部分和第二承载件部分整体形成作为单片单元。这里应注意，除了从第一承载件部分20a和第二承载件部分25b的外角延伸的弯曲部22a至22d之
外，弯曲部29a和弯曲部31a从第一承载件部分20a的内角延伸，而弯曲部29b和弯曲部31b从第二承载件部分20b的内角延伸。每个弯曲部22a至22d、弯曲部29a至29b和弯曲部31a至31b是u型的，并且朝向相应的锚点23a至23d、锚点30a至30b和锚点32a至32b延伸。弯曲部22a、22d、29a、31a与承载件部分20a整体形成作为单片单元，并且弯曲部22b、22c、29b、31b与承载件部分20b整体形成作为单片单元。光学层19’的操作与上述光学层19相同。
64.图6中可以看到光学层19”的另一变型。这里，可以观察到，与图5的光学层10’相比，没有连接器部分33，并且承载件部分20a’和承载件部分20b’是分离的未连接组件。应理解，固定部分15可以被成形作为框(图1a)，锚点30a和锚点30b以及锚点32a和锚点32b被连接到固定部分15并且由固定部分15支撑。这里应注意，虽然透镜17a和17b被同步扫描，但这不是通过由相同承载件承载来被动完成的，而是通过梳状驱动部的驱动来实现的，使得第一承载件部分20a’和第二承载件部分20b’同步移动。
65.在希望承载件20不透光的情况下，如图7所示，通过从其与透镜17(这里，透镜17a和透镜17b形成作为一个具有衍射部分17a和准直部分17b的超透镜)相对的一侧完全去除固定部分的部分，诸如通过使用硅深反应离子蚀刻，移动部分可以被分成两个不相连且隔开的移动部分16a和16b。作为备选，可以在移动部分16内形成窗口，并且透镜17a和透镜17b被保持在这些窗口内。
66.作为图8所示出的备选，如果移动部分16由硅形成，则移动部分16的薄层(例如，1至5微米厚)可以被设置为与衍射部分17a和准直部分17b相邻。
67.作为图9所示出的另一备选，移动部分16被分成两个间隔开的移动部分16a和16b，其中玻璃衬底36在移动部分16a和移动部分16b的顶部和之间延伸，并且透镜17由玻璃衬底36承载。
68.在本文中所描述的任何布置中，移动部分16可以具有在其中所限定的用于承载透镜17a和透镜17b的第一开口和第二开口。
69.应注意，上述光学层的变型中的任一变型可以通过由支撑块43a和支撑块43b承载的玻璃层44来封装，支撑块43a和支撑块43b转而由间隔开的固定部分15a和固定部分15b承载，如图10所示。该实施例的俯视图可以在图11中找到，其中可以观察到，支撑结构12a和支撑结构12b可以在框型的支撑结构12的相对侧，固定部分15a和固定部分15b可以在框型的固定部分15的相对侧，并且支撑块43a和43b可以在框型的支撑块43的相对侧。
70.图10的设计的变型在图12中示出，其中在所图示的光学模块50中，固定部分15a和固定部分15b由支撑部分51a和支撑部分51b承载(其也可以在框型的支撑部分的相对侧)，并且电学布线52可以通过固定部分15a与端子承载块53之间的支撑部分51a而延伸，其中用于引线接合的金属焊盘54由端子承载块53承载并且电耦合到电学布线52。
71.图13中示出了光学模块50’的另一实施例，其中，代替玻璃衬底44以衬底11为背景封装透镜17、光学检测器13和激光发射器阵列14，支撑部分51a和支撑部分51b由第二玻璃衬底55承载，第二玻璃衬底55转而由从衬底11延伸的支撑结构12a和支撑结构12b承载。因此，在该实施例中，透镜17、固定部分15a和固定部分15b以及移动部分16a和移动部分16b两侧均由玻璃封装，提供了增强的环境保护。该实施例还允许低压操作，提高效率。这里还应注意，该结构可以用于与深度感测无关的应用，诸如微投影(picoprojection)。在这种情况下，光学检测器13被移除，并且其他组件的尺寸也相应调整。
72.现在回到图1的总体设计，图14中示出了变型。这里，透镜17a仍被包含在光学器件层19内，但被附接到固定部分15a并且由固定部分15a承载。因此，这里，透镜17a不移动，而透镜17b仍如上所述进行移动。
73.作为图15所示的另一备选，不是透镜17a处于光学器件层19a内，而是固定部分15a被成形为框并且与固定部分15b分离，并且包含标准成像透镜17c。因此这里，透镜17c现在进行移动，同时透镜17b仍如上所述进行移动。这里，键合焊盘99由固定部分15a承载，并且用于向mems致动器施加驱动信号。
74.在以上示例中，移动部分16通过梳状驱动部来移动，但是应当理解，可以使用任何mems致动技术。例如，热、磁和压电致动可以用于将移动部分16相对于固定部分15进行移动。
75.在上述示例光学模块中，应注意，在某些情况下，超透镜17(形成透镜17a和17b，在图7、图10和图12至13中针对该描述进行了最好的示出)被悬置在断开且间隔开的移动部分16a和移动部分16b之间。因此，由于超透镜17很薄，具有大约1mm到3mm的厚度，它可能在制造或操作过程期间破损。因此，可能期望在不降低其光学透明度或最小程度降低其光学透明度的情况下校正其该脆性。
76.上面已经描述了实现这个的某些方式。例如，在图8的实施例中，移动部分16的薄层(例如，1至5微米厚)被邻近于超透镜17而设置，其中在这种情况下移动部分16由硅形成。该薄层被设置为向超透镜17提供支撑。作为另一示例，在图9的实施例中，超透镜17由玻璃衬底36承载，其中玻璃衬底36被悬置在断开且间隔开的移动部分16a和移动部分16b之间。玻璃衬底36可以比超透镜17更厚并且可以比超透镜17具有最大的对断裂和破裂的抵抗，因此为超透镜17提供支撑。
77.取决于应用和制造约束，向超透镜17提供支撑的其他方法可能是需要的。其中超透镜17被提供有支撑的光学模块50”的第一这样例子现在参考图16来描述。该光学模块50”示例性地具有与图12相同的结构，其中增加了在间隔开的移动部分16a和移动部分16b之间的增强元件99a至99c，并且在其底表面(底表面面向衬底11)处支撑超透镜17。增强元件99a至99c被间隔开使得最靠近移动部分16a的增强元件99a与移动部分16a间隔开间隙wgap，增强元件99a与增强元件99b间隔开wgap，增强元件99b与增强元件99c间隔开wgap，并且增强元件99c与移动部分16b间隔开wgap。增强元件99a至99c在y方向上的宽度是wreinf。
78.增强元件99a至99c的宽度wreinf明显小于宽度wgap，例如wreinf≤0.25
×
wgap，以便允许入射光和出射光通过超透镜17的适当透射率。光通过超透镜17的透射率可以被计算作为wgap/(wgap wreinf)。示例值可以是wgap＝95μm，wreinf＝5μm，使得在使用增强元件99a至99c的情况下光通过超透镜17的样本透射率仍然为95％，同时为超透镜17提供实质性的保护，以防止断裂和破裂。
79.光学模块50”内的光学层19”的俯视图可以在图17a中看到，其中可以观察到，增强元件99a至99c跨x轴从承载件20的第一端延伸到承载件20的第二端，应理解，承载件20是移动部分16的部分。由于x轴是移动轴，在这个例子中，增强元件99a至99c平行于移动部分16的移动轴而延伸。
80.尽管在该示例中已经说明和描述了三个增强元件99a至99c，但应理解，可以使用任何合适数目的增强元件，以便在给定的光通过超透镜17的最小可接受透射率的情况下实
现所期望的保护。
81.增强元件99a至99c可以由与移动部分16相同的材料构成。实际上，增强元件99a至99c可以是移动部分16中在形成期间被有意不移除的部分，因此可以与移动部分16整体形成作为单片单元。
82.除了在数目上与所示出的不同之外，增强元件99a至99c在形状上也可以与所示出的不同。例如，在图17b所示的光学层19
””
中，存在三个如上所述的增强元件99a至99c，其跨x轴从承载件20的第一端延伸到承载件20的第二端，并且还存在两个增强元件98a和98b，该增强元件98a和98b跨y轴从承载件20的第一侧延伸到承载件20的第二侧。
83.作为另一示例，在图17c所示的光学层19
””
中，存在一个增强元件99a，该增强元件99a跨x轴从承载件20的第一端延伸到承载件的第二端，两个增强元件98a和98b跨y轴从承载件20的第一侧延伸到承载件20的第二侧，第一圆形增强元件97a具有在超透镜17的中心处的原点，第二圆形增强元件97b也具有在超透镜17的中心处的原点并且与第一圆形增强元件97a同心，并且第三圆形增强元件97c也具有在超透镜17的中心处的原点并且与第二圆形增强元件97b同心。如图所示，第一圆形增强元件97a具有比第二增强元件97b更大的半径，但没有大到以致第一圆形增强元件97b超过增强元件98a和98b。还如图所示，第二圆形增强元件97b具有比第三圆形增强元件97c更大的半径。增强元件95a和95b以十字交叉的方式跨超透镜17来对角延伸，使得它们从其一角到其另一角，沿途穿过超透镜17的中心。
84.应理解，所示的增强元件的布置只是示例。实际上，可以理解，任何合适布置和数目的增强元件可以被利用，并且可以通过在形成期间选择性地去除移动部分16的部分以形成所期望的数目和布置的增强元件来形成。
85.本公开提供了一种光学模块，包括：衬底；光学电路，由衬底承载；光学层。光学层包括：固定部分，由衬底承载；可移动部分，通过弹簧结构被附固在固定部分的相对侧之间；透镜系统，由可移动部分承载，透镜系统与光学电路对准；其中可移动部分具有在其中所限定的至少一个开口，透镜系统跨至少一个开口而延伸，可移动部分具有跨至少一个开口而延伸的至少一个支撑部分以支撑透镜系统；梳状驱动部，由固定部分和可移动部分的相应特征形成；以及致动电路系统，被配置为向梳状驱动部施加驱动信号，以由此引起对梳状驱动部的静电致动，导致光学层的可移动部分在固定部分的相对侧之间来回振荡。
86.根据一些实施例，至少一个支撑部分平行于可移动部分的移动轴线而延伸。
87.根据一些实施例，至少一个支撑部分包括多个支撑部分。
88.根据一些实施例，多个支撑部分包括平行于可移动部分的移动轴线而延伸的至少一些支撑部分。
89.根据一些实施例，多个支撑部分包括垂直于可移动部分的移动轴线而延伸的至少一些其他支撑部分。
90.虽然本公开已经关于有限数目的实施例进行描述，但是受益于本公开的本领域技术人员将理解，可以设想不脱离本文中所公开的公开范围的其他实施例。因此，本公开的范围应仅受所附权利要求的限制。