一种便于调节转动的半导体加工用定位夹具的制作方法

1.本发明涉及半导体加工设备技术领域，具体的说是一种便于调节转动的半导体加工用定位夹具。


背景技术：

2.半导体是指在常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体是指一种导电性可控，范围从绝缘体到导体之间的材料。从科学技术和经济发展的角度来看，半导体影响着人们的日常工作生活，直到20世纪30 年代这一材料才被学界所认可。
3.然而，在从原材料制作成半导体产品时需要使用到专用的夹具进行加工，传统的夹具只能对圆柱或方形某一形状的材料进行夹持固定，通用性较差，且不能对材料进行微调俯仰角度和旋转角度，不便于对材料进行多角度调节夹持，灵活性较差，影响加工进度，为此亟需提出一种便于调节转动的半导体加工用定位夹具。


技术实现要素：

4.针对现有技术中的问题，本发明提供了一种便于调节转动的半导体加工用定位夹具。
5.本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种便于调节转动的半导体加工用定位夹具，包括主体，所述主体的两侧分别开设有多个安装孔，所述主体的顶端滑动连接有活动块，所述活动块和主体之间设有角度机构和润滑机构，所述活动块上设有固定机构和辅助机构。
6.具体的，所述角度机构包括齿环，所述活动块呈半圆状，所述活动块的底端固定连接有齿环，所述主体的内部转动连接有第一转轴，所述第一转轴上固定连接有蜗杆，所述蜗杆螺纹连接齿环，所述第一转轴的一端延伸至主体的外部且连接有转盘。
7.具体的，所述角度机构还包括滑块，所述活动块的一侧固定连接有滑块，所述主体的一侧开设有第一滑槽，所述滑块滑动连接第一滑槽，且所述滑块的一端固定连接有指针。
8.具体的，所述润滑机构包括汇集槽，所述活动块的底端设有汇集槽，所述汇集槽开设于主体的内部，所述第一转轴上固定连接有凸轮，所述凸轮的底端设有活动腔，所述活动腔设于主体的内部，所述活动腔内滑动连接有滑柱，所述滑柱的顶端抵触在凸轮上。
9.具体的，所述润滑机构还包括第一弹簧，所述滑柱的底端抵触有第一弹簧，所述活动腔上连接有两个泵油管，其中一个所述泵油管的一端插入到汇集槽内，且另外一个所述泵油管的一端设于齿环的底侧，两个所述泵油管上均滑动连接有单向球，所述单向球上抵触有第二弹簧。
10.具体的，所述固定机构包括安置板，所述活动块上转动连接有安置板，所述安置板内转动连接有转环，所述安置板上滑动连接有夹块，所述转环上开设有多个第二滑槽，所述夹块上固定连接有限位杆，所述限位杆的底部滑动连接第二滑槽，所述安置板上滑动连接有卡块，所述卡块卡合在活动块上。
11.具体的，所述固定机构还包括第二转轴，所述活动块内设有第二转轴，所述第二转轴的一端延伸至活动块的外部且端部固定连接有转盘，所述第二转轴上固定连接有第一齿轮，所述第一齿轮和安置板相啮合。
12.具体的，所述辅助机构包括滑板，所述活动块的顶部两端均设有一个滑板，所述滑板上转动连接有转动架，所述转动架上转动连接有两个接触轮，其中一个所述滑板上转动连接有第一丝杆，且另外一个所述滑板上转动连接有第二丝杆，所述第一丝杆和第二丝杆均螺纹连接活动块块。
13.具体的，所述辅助机构还包括第四齿轮，所述第一丝杆和第二丝杆上分别滑动连接有一个第四齿轮，所述活动块上转动连接有两个传动轴，所述传动轴的两端均固定连接有一个第二齿轮，所述第四齿轮和第二齿轮之间啮合有第三齿轮，所述第二丝杆的一端固定连接有转盘。
14.本发明的有益效果是：
15.(1)本发明所述的一种便于调节转动的半导体加工用定位夹具，主体和活动块之间设有角度机构和润滑机构，通过角度机构的设置进而便于调节活动块的俯仰角度，主动对原材料进行找平，适用于不同的原材料；通过润滑机构的设置便于对活动组件进行润滑，保持活动组件的活动效果。
16.(2)本发明所述的一种便于调节转动的半导体加工用定位夹具，活动块上设有固定机构和辅助机构，通过固定机构的设置进而便于对材料进行固定夹持，且便于径向调节材料的旋转角度，使用起来更加灵活便捷，通过辅助机构的设置进而对材料起到辅助固定的作用，抑制加工时的材料振动幅度，且能够应对方形或者圆柱状的材料，提高使用通用性，操作效果更好。
附图说明
17.下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
18.图1为本发明提供的一种便于调节转动的半导体加工用定位夹具的较佳实施例的整体结构的结构示意图；
19.图2为图1所示的角度机构和润滑机构的连接结构示意图；
20.图3为图2所示的a部放大结构示意图；
21.图4为图1所示的固定机构的部分结构示意图；
22.图5为图4所示的固定机构的部分结构示意图；
23.图6为图1所示的辅助机构的结构示意图。
24.图中：1、主体，2、安装孔，3、活动块，4、角度机构，41、齿环，42、第一转轴，43、蜗杆，44、滑块，45、第一滑槽，46、指针，5、润滑机构，51、汇集槽，52、凸轮，53、滑柱，54、泵油管，55、活动腔，56、第一弹簧，57、第二弹簧，58、单向球，6、固定机构，61、第二转轴，62、第一齿轮，63、转环，64、第二滑槽，65、安置板，66、夹块，67、限位杆，68、卡块，7、辅助机构，71、滑板，72、转动架，73、接触轮，74、传动轴，75、第二齿轮，76、第三齿轮，77、第四齿轮，78、第一丝杆， 79、第二丝杆。
具体实施方式
25.为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
26.如图1-图6所示，本发明所述的一种便于调节转动的半导体加工用定位夹具，包括主体1，所述主体1的两侧分别开设有多个安装孔2，所述主体1的顶端滑动连接有活动块3，所述活动块3和主体1之间设有角度机构 4和润滑机构5，所述活动块3上设有固定机构6和辅助机构7。
27.具体的，所述角度机构4包括齿环41，所述活动块3呈半圆状，所述活动块3的底端固定连接有齿环41，所述主体1的内部转动连接有第一转轴42，所述第一转轴42上固定连接有蜗杆43，所述蜗杆43螺纹连接齿环 41，所述第一转轴42的一端延伸至主体1的外部且连接有转盘。
28.具体的，所述角度机构4还包括滑块44，所述活动块3的一侧固定连接有滑块44，所述主体1的一侧开设有第一滑槽45，所述滑块44滑动连接第一滑槽45，且所述滑块44的一端固定连接有指针46；在需要调节所述活动块3的俯仰角度时，操作所述第一转轴42上的转盘，利用所述第一转轴42上的所述蜗杆43啮合所述齿环41，由于所述齿环41固定连接在所述活动块3上，从而可以驱动所述活动块3偏转，由于所述蜗杆43和所述齿环41之间的自锁作用，从而可以保持所述活动块3稳定处于当前的角度，所述活动块3移动后带动所述滑块44在所述第一滑槽45的内部移动，所述第一滑槽45的尺寸有限，从而通过所述滑块44对所述活动块3起到限位作用，使所述活动块3保持在合理的活动角度内，所述滑块44的一端安装有所述指针46，通过所述指针46可以醒目的知道当前所述活动块3所处角度，方便操作人员及时调节。
29.具体的，所述润滑机构5包括汇集槽51，所述活动块3的底端设有汇集槽51，所述汇集槽51开设于主体1的内部，所述第一转轴42上固定连接有凸轮52，所述凸轮52的底端设有活动腔55，所述活动腔55设于主体 1的内部，所述活动腔55内滑动连接有滑柱53，所述滑柱53的顶端抵触在凸轮52上。
30.具体的，所述润滑机构5还包括第一弹簧56，所述滑柱53的底端抵触有第一弹簧56，所述活动腔55上连接有两个泵油管54，其中一个所述泵油管54的一端插入到汇集槽51内，且另外一个所述泵油管54的一端设于齿环41的底侧，两个所述泵油管54上均滑动连接有单向球58，所述单向球58上抵触有第二弹簧57；所述蜗杆43的底端设有所述汇集槽51，所述汇集槽51主要用于汇集自上而下流下的润滑油液，当所述第一转轴42在转动的同时会带动所述凸轮52转动，所述凸轮52的外缘抵触所述滑柱53，使所述滑柱53往复运动，结合着两根所述泵油管54上的所述单向球58和所述第二弹簧57，所述活动腔55的内部产生负压，将所述汇集槽51内部的液体抽送到所述活动腔55的内部，之后将油液压入到另外一个所述泵油管54内，使液体喷出到所述齿环41上，则所述齿环41和所述蜗杆43得到润滑，从而保持活动组件的润滑效果，延长其使用寿命。
31.具体的，所述固定机构6包括安置板65，所述活动块3上转动连接有安置板65，所述安置板65内转动连接有转环63，所述安置板65上滑动连接有夹块66，所述转环63上开设有多个第二滑槽64，所述夹块66上固定连接有限位杆67，所述限位杆67的底部滑动连接第二滑槽64，所述安置板65上滑动连接有卡块68，所述卡块68卡合在活动块3上。
32.具体的，所述固定机构6还包括第二转轴61，所述活动块3内设有第二转轴61，所述第二转轴61的一端延伸至活动块3的外部且端部固定连接有转盘，所述第二转轴61上固定连接有第一齿轮62，所述第一齿轮62和安置板65相啮合；当需要对材料进行夹持固定时，首先将所述安置板65 上的所述卡扣68滑动卡合到所述活动块3上，接着需要移动所述第二转轴 61，操作所述第二转轴61一端的转盘，推动所述第二转轴61一端的所述第一齿轮62移动啮合到所述转环63上，转动所述第二转轴61，通过所述第一齿轮62驱动所述转环63旋转，所述转环63上的多个所述第二滑槽64 通过所述限位杆67驱动所述夹块66移动，致使多个所述夹块66相向而行，从而对材料起固定夹持固定作用，所述卡块68起到避免所述安置板65跟随所述转环63同步转动的作用，当需要调节所述安置板65的旋转角度时，首先将所述卡块68复位，使所述卡块68不在卡合所述活动块3，移动所述第二转轴61，使所述第一齿轮62移动啮合到所述安置板65，从而可以通过所述第二转轴61驱动所述安置板65旋转，进而起到调节径向角度的作用，方便在加工前做出细致灵活的调整。
33.具体的，所述辅助机构7包括滑板71，所述活动块3的顶部两端均设有一个滑板71，所述滑板71上转动连接有转动架72，所述转动架72上转动连接有两个接触轮73，其中一个所述滑板71上转动连接有第一丝杆78，且另外一个所述滑板71上转动连接有第二丝杆79，所述第一丝杆78和第二丝杆79均螺纹连接活动块块3。
34.具体的，所述辅助机构7还包括第四齿轮77，所述第一丝杆78和第二丝杆79上分别滑动连接有一个第四齿轮77，所述活动块3上转动连接有两个传动轴74，所述传动轴74的两端均固定连接有一个第二齿轮75，所述第四齿轮77和第二齿轮75之间啮合有第三齿轮76，所述第二丝杆79的一端固定连接有转盘；为了在加工时抑制材料被刀具切削时的振动幅度，还可转动所述第二丝杆79，所述第二丝杆79推动所述滑板71移动的同时驱动与自身滑动连接的所述第四齿轮77转动，所述第四齿轮77通过两侧所述第三齿轮76驱动两侧的所述第二齿轮75转动，最终通过所述传动轴74 驱动所述第一丝杆78转动，继而推动另外一个所述滑板71移动，两个所述滑板71同时移动所述转动架72夹持固定到材料的外侧，所述转动架72 上的所述接触轮73首先接触到材料，由于所述接触轮73转动连接所述转动架72，所述接触轮73滚动连接材料，进而便于材料旋转调节角度，进而方便灵活的对材料进行微调，提高夹具的通用性，辅助提高加工效率。
35.本发明在使用时，在需要调节活动块3的俯仰角度时，操作第一转轴 42上的转盘，利用第一转轴42上的蜗杆43啮合齿环41，由于齿环41固定连接在活动块3上，从而可以驱动活动块3偏转，由于蜗杆43和齿环41 之间的自锁作用，从而可以保持活动块3稳定处于当前的角度，活动块3 移动后带动滑块44在第一滑槽45的内部移动，第一滑槽45的尺寸有限，从而通过滑块44对活动块3起到限位作用，使活动块3保持在合理的活动角度内，滑块44的一端安装有指针46，通过指针46可以醒目的知道当前活动块3所处角度，方便操作人员及时调节；蜗杆43的底端设有汇集槽51，汇集槽51主要用于汇集自上而下流下的润滑油液，当第一转轴42在转动的同时会带动凸轮52转动，凸轮52的外缘抵触滑柱53，使滑柱53往复运动，结合着两根泵油管54上的单向球58和第二弹簧57，活动腔55的内部产生负压，将汇集槽51内部的液体抽送到活动腔55的内部，之后将油液压入到另外一个泵油管54内，使液体喷出到齿环41上，则齿环41和蜗杆 43得到润滑，从而保持活动组件的润滑效果，延长其使用寿命；当需要对材料进行夹持固定时，首先将安置板65上的卡扣68滑动卡合到活动块3 上，接着
需要移动第二转轴61，操作第二转轴61一端的转盘，推动第二转轴61一端的第一齿轮62移动啮合到转环63上，转动第二转轴61，通过第一齿轮62驱动转环63旋转，转环63上的多个第二滑槽64通过限位杆67 驱动夹块66移动，致使多个夹块66相向而行，从而对材料起固定夹持固定作用，卡块68起到避免安置板65跟随转环63同步转动的作用，当需要调节安置板65的旋转角度时，首先将卡块68复位，使卡块68不在卡合活动块3，移动第二转轴61，使第一齿轮62移动啮合到安置板65，从而可以通过第二转轴61驱动安置板65旋转，进而起到调节径向角度的作用，方便在加工前做出细致灵活的调整；为了在加工时抑制材料被刀具切削时的振动幅度，还可转动第二丝杆79，第二丝杆79推动滑板71移动的同时驱动与自身滑动连接的第四齿轮77转动，第四齿轮77通过两侧第三齿轮76 驱动两侧的第二齿轮75转动，最终通过传动轴74驱动第一丝杆78转动，继而推动另外一个滑板71移动，两个滑板71同时移动转动架72夹持固定到材料的外侧，转动架72上的接触轮73首先接触到材料，由于接触轮73 转动连接转动架72，接触轮73滚动连接材料，进而便于材料旋转调节角度，进而方便灵活的对材料进行微调，提高夹具的通用性，辅助提高加工效率。
36.对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
37.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。