一种硅片储存清洁装置的制作方法

1.本实用新型涉及硅片技术领域，具体为一种硅片储存清洁装置。


背景技术：

2.在硅片生产过程中需要用到储存装置，传统的硅片储存装置缺少清洁结构，无法对硅片储存装置内部的硅片进行清洁，需要工作人员取出后逐个手动清洗，容易造成降低硅片储存效率的问题。


技术实现要素：

3.为解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型的目的在于提供一种硅片储存清洁装置，具备了储存过程中清洁的优点，解决了传统的硅片储存装置缺少清洁结构，无法对硅片储存装置内部的硅片进行清洁，需要工作人员取出后逐个手动清洗，容易造成降低硅片储存效率的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片储存清洁装置，包括箱体，所述箱体的内部设置有抽屉，所述抽屉的右侧固定连接有横板，所述箱体内壁的右侧固定连接有密封圈组，所述密封圈组的表面与抽屉的表面接触，所述箱体内壁的顶部开设有放置槽一，所述放置槽一内壁的顶部固定连接有分流板，所述分流板的输入端贯穿至箱体的左侧，所述箱体的左侧固定连接有水箱，所述水箱的顶部通过通管连通有水泵，所述水泵的输出端通管通管与分流板的输入端连通，所述箱体内壁的底部开设有集水槽，所述箱体左侧的底部连通有电磁阀，所述抽屉内壁的前侧与后侧均固定连接有橡胶块，所述橡胶块的数量为若干个，且若干个橡胶块呈等距离分布，所述箱体内壁的前侧与后侧均开设有滑槽，所述滑槽的内部设置有滑块，所述滑块的表面固定连接在抽屉的表面。
5.作为本实用新型优选的，所述水箱的前侧固定连接有透明板，所述透明板的高度小于水箱的高度。
6.作为本实用新型优选的，所述水箱的底部固定连接有加固板，所述加固板的右侧固定连接在箱体的表面。
7.作为本实用新型优选的，所述集水槽内壁的底部固定连接有导流板，所述导流板的形状为三角形。
8.作为本实用新型优选的，所述横板的右侧固定连接有把手，所述把手的高度小于横板的高度。
9.作为本实用新型优选的，所述滑块的内部固定连接有滑轮组，所述滑轮组的表面与滑槽的内壁接触。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
11.1、本实用新型通过设置箱体、抽屉、横板、密封圈组、放置槽一、分流板、水箱、水泵、集水槽、电磁阀、橡胶块、滑槽和滑块的配合使用，具备了储存过程中清洁的优点，解决了传统的硅片储存装置缺少清洁结构，无法对硅片储存装置内部的硅片进行清洁，需要工
作人员取出后逐个手动清洗，容易造成降低硅片储存效率的问题。
12.2、本实用新型通过设置透明板，能够对水箱内部的清洁液进行观察，避免水箱内部的清洁液出现无法被观察的现象。
13.3、本实用新型通过设置加固板，能够对水箱进行支撑，避免水箱长期使用导致其出现松动的现象，提高了水箱的稳定性。
14.4、本实用新型通过设置导流板，能够集水槽内部的清洁液进行导流，避免集水槽的内部出现有残留清洁液的现象。
15.5、本实用新型通过设置把手，能够便于使用者拉动横板和抽屉，避免横板出现难以被拉动的现象，提高了横板的移动效率。
16.6、本实用新型通过设置滑轮组，能够对滑块进行支撑，降低了滑块与滑槽之间的摩擦力，避免滑块移动过程中出现阻力过大的现象。
附图说明
17.图1为本实用新型结构示意图；
18.图2为本实用新型抽屉的右视图；
19.图3为本实用新型图2中a处放大结构图；
20.图4为本实用新型抽屉的立体图。
21.图中：1、箱体；2、抽屉；3、横板；4、密封圈组；5、放置槽一；6、分流板；7、水箱；8、水泵；9、集水槽；10、电磁阀；11、橡胶块；12、滑槽；13、滑块；14、透明板；15、加固板；16、导流板；17、把手；18、滑轮组。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.如图1至图4所示，本实用新型提供的一种硅片储存清洁装置，包括箱体1，箱体1的内部设置有抽屉2，抽屉2的右侧固定连接有横板3，箱体1内壁的右侧固定连接有密封圈组4，密封圈组4的表面与抽屉2的表面接触，箱体1内壁的顶部开设有放置槽一5，放置槽一5内壁的顶部固定连接有分流板6，分流板6的输入端贯穿至箱体1的左侧，箱体1的左侧固定连接有水箱7，水箱7的顶部通过通管连通有水泵8，水泵8的输出端通管通管与分流板6的输入端连通，箱体1内壁的底部开设有集水槽9，箱体1左侧的底部连通有电磁阀10，抽屉2内壁的前侧与后侧均固定连接有橡胶块11，橡胶块11的数量为若干个，且若干个橡胶块11呈等距离分布，箱体1内壁的前侧与后侧均开设有滑槽12，滑槽12的内部设置有滑块13，滑块13的表面固定连接在抽屉2的表面。
24.参考图1，水箱7的前侧固定连接有透明板14，透明板14的高度小于水箱7的高度。
25.作为本实用新型的一种技术优化方案，通过设置透明板14，能够对水箱7内部的清洁液进行观察，避免水箱7内部的清洁液出现无法被观察的现象。
26.参考图1，水箱7的底部固定连接有加固板15，加固板15的右侧固定连接在箱体1的
表面。
27.作为本实用新型的一种技术优化方案，通过设置加固板15，能够对水箱7进行支撑，避免水箱7长期使用导致其出现松动的现象，提高了水箱7的稳定性。
28.参考图1，集水槽9内壁的底部固定连接有导流板16，导流板16的形状为三角形。
29.作为本实用新型的一种技术优化方案，通过设置导流板16，能够集水槽9内部的清洁液进行导流，避免集水槽9的内部出现有残留清洁液的现象。
30.参考图1，横板3的右侧固定连接有把手17，把手17的高度小于横板3的高度。
31.作为本实用新型的一种技术优化方案，通过设置把手17，能够便于使用者拉动横板3和抽屉2，避免横板3出现难以被拉动的现象，提高了横板3的移动效率。
32.参考图3，滑块13的内部固定连接有滑轮组18，滑轮组18的表面与滑槽12的内壁接触。
33.作为本实用新型的一种技术优化方案，通过设置滑轮组18，能够对滑块13进行支撑，降低了滑块13与滑槽12之间的摩擦力，避免滑块13移动过程中出现阻力过大的现象。
34.本实用新型的工作原理及使用流程：使用时，硅片存储过程中需要清洁时，启动水泵8，水泵8将水箱7内部的清洁液输送至分流板6的内部，分流板6将清洁液喷射在硅片的表面，洁液喷对硅片的表面进行冲洗，打开电磁阀10，集水槽9内部的清洁液通过通管排出，需要取出硅片时，将横板3右侧的螺母拆卸，此时横板3失去限位，向右侧拉动横板3，横板3带动抽屉2和滑块13向右侧移动，当抽屉2退出箱体1的内部时，抽屉2内部的硅片即可被取出，从而具备了储存过程中清洁的效果。
35.综上所述：该硅片储存清洁装置，通过箱体1、抽屉2、横板3、密封圈组4、放置槽一5、分流板6、水箱7、水泵8、集水槽9、电磁阀10、橡胶块11、滑槽12和滑块13的配合使用，具备了储存过程中清洁的优点，解决了传统的硅片储存装置缺少清洁结构，无法对硅片储存装置内部的硅片进行清洁，需要工作人员取出后逐个手动清洗，容易造成降低硅片储存效率的问题。
36.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
37.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。