用于基板印刷的狭缝式模具涂布装置以及方法与流程

1.本发明涉及用于基板印刷的狭缝式模具涂布装置以及方法，更加详细地，涉及在狭缝式模具涂布时，使用基板模型分析，基于涂布印刷图案的宽度变化进行任意的形状的涂布印刷以及对具有弯曲面的基板进行涂布印刷，由此可以制造各种形状的显示器的、用于基板印刷的狭缝式模具涂布装置以及方法。


背景技术：

2.在大型tv在内的计算机显示器、各种便携式设备以及各种医疗设备在内的电子产业内的显示器市场中，显示器需求在日益增加。显示器制造工艺之一的、作为紫外线固化型粘合剂使用的光学树脂(ocr；optically clear resin)的涂布工艺为在基板上涂布ocr的工艺，在显示器的质量方面，得到均匀的涂布厚度是非常重要的。
3.涂布ocr的工艺根据计量涂液的方法而存在旋转涂布(spin coating)、淋幕式涂布(curtain coating)、斜板式涂布(slide coating)、狭缝式涂布(slot coating)等。在所述涂布工艺中，狭缝式涂布为喷嘴以直线移动在基板上，喷出涂液，从而形成膜的方式，相比旋转涂布方式，因涂液的使用量减少的优点，广泛用于大型基板的涂布中。因此，随着显示器大型化的趋势，作为上述ocr涂布工艺，使用最多的是狭缝式涂布方式。
4.一方面，大韩民国授权专利公报第10-2007653号中公开有可以调整涂布宽度的狭缝式模具装置，然而对于各种领域中要求的各种形状的显示器生产仍旧不能做出很好的对策。由此，需要在利用狭缝式模具(slot die)的狭缝式涂布方式(以下称为“狭缝式模具涂布方式”)中能够将涂布均匀度保持一定的同时，能够满足对涂布宽度的变化以及涂布面的弯曲变化的现场的各种要求的狭缝式模具涂布装置以及方法。
5.【现有技术文献】
6.【专利文献】
7.(专利文献1)大韩民国授权专利公报第10-2007653号(公告日：2019.08.07)


技术实现要素：

8.技术问题
9.本发明是为了解决如上所述现有技术的问题而提出的，提供在狭缝式模具涂布方式中，使用基板模型分析而使涂布均匀度保持一定的同时，可以对具有涂布宽度的变化以及涂布面的弯曲变化的基板进行涂布印刷的、用于基板印刷的狭缝式模具涂布装置以及方法。
10.技术方案
11.根据本发明的第一特征的用于基板印刷的狭缝式模具涂布装置，其特征在于，包括：工作台，提供基板；垂直方向门架，提供为在所述工作台上可朝所述工作台的长度方向移动；水平方向门架，提供为在所述垂直方向门架的上部横穿所述垂直方向门架而可朝旋转方向旋转；狭缝式模具，提供在所述水平方向门架上，喷出印刷材料，从而在所述基板上
涂布膜；光源，提供在所述水平方向门架上，向所述涂布的膜上照射紫外线(uv)；阀门，提供在所述狭缝式模具的上部，调整所述狭缝式模具内部的压力；泵，与所述狭缝式模具连接，控制从所述狭缝式模具喷出的所述印刷材料的喷出量；以及罐，与所述泵连接提供，填充所述印刷材料，所述膜的涂布是通过对所述基板的模型分析，指定与所述狭缝式模具的移动相关的驱动轴，生成对所述指定的驱动轴的参数值，基于所述生成的参数值，设定所述涂布的印刷路线。
12.根据本发明的第二特征的用于基板印刷的狭缝式模具涂布装置，其特征在于，包括：工作台，提供基板；垂直方向门架，提供为在所述工作台上可朝所述工作台的长度方向移动；水平方向门架，提供为在所述垂直方向门架的上部横穿所述垂直方向门架而可朝旋转方向旋转；狭缝式模具，提供在所述水平方向门架上，喷出印刷材料，从而在所述基板上涂布膜；第一移动部件，提供为将所述狭缝式模具连接在所述水平方向门架的一侧，控制所述狭缝式模具的水平方向以及垂直方向的移动；光源，提供在所述水平方向门架上，向所述涂布的膜上照射紫外线(uv)；第二移动部件，提供为将所述光源连接在所述水平方向门架的另一侧，控制所述光源的水平方向以及垂直方向的移动；阀门，提供在所述狭缝式模具的上部，调整所述狭缝式模具内部的压力；泵，与所述狭缝式模具连接，控制从所述狭缝式模具喷出的所述印刷材料的喷出量；以及罐，与所述泵连接提供，填充所述印刷材料，所述膜的涂布是通过对所述基板的模型分析，指定与所述狭缝式模具的移动相关的驱动轴，生成对所述指定的驱动轴的参数值，基于所述生成的参数值，设定所述涂布的印刷路线。
13.根据本发明的第三特征的用于基板印刷的狭缝式模具涂布方法，其特征在于，包括：填充印刷材料的步骤；利用狭缝式模具，在基板上涂布印刷所述印刷材料，从而形成膜的步骤；向所述涂布的膜曝光紫外线(uv)的步骤；测定所述涂布的膜的厚度的步骤；利用所述涂布的膜，贴合所述基板和另一基板的步骤；以及对所述贴合的基板的所述涂布的膜执行检查的步骤，形成所述膜的步骤包括：对所述基板执行模型分析的步骤；根据所述模型分析，指定与狭缝式模具涂布装置的狭缝式模具的移动相关的驱动轴的步骤；生成对所述指定的驱动轴的参数值的步骤；基于所述生成的参数值，设定所述涂布印刷的路线的步骤；以及执行所述涂布印刷的步骤。
14.发明效果
15.根据本发明的实施例的用于基板印刷的狭缝式模具涂布装置以及方法提供如下效果。
16.1.基于印刷对象基板的模型分析，指定驱动轴以及算出对指定的驱动轴的移动的参数值，基于此，决定涂布印刷路线，因此可以精密控制狭缝式模具涂布装置，从而可以提高涂布印刷的准确度。
17.2.通过反映涂布宽度的变化以及涂布面的弯曲变化的涂布印刷，可以制造广泛领域中具有各种形状的显示器。由此，扩大ocr涂布工艺的应用领域，可以使用ocr来代替以往的oca，从而可以节约显示器制造成本。
18.3.印刷图案宽度改变时，包括用于匹配喷出量和涂布量的控制，从而可以将涂布均匀度保持一定。
19.4.基于印刷对象基板的模型分析，指定驱动轴以及算出对指定的驱动轴的移动的参数值，基于此，执行紫外线(uv)的曝光，因此印刷对象基板的弯曲加工性优秀，从而可以
降低曝光工艺中的不良率。
20.5.通过基于上述印刷对象基板的模型分析的涂布印刷路线决定方法，在制造显示器时，可以快速应对涂布宽度的变化以及涂布面的弯曲变化，用户通过输入可以直接改变根据所述基板模型分析生成的参数值，从而可以缩短工艺时间，增加工艺方便性。
附图说明
21.图1是根据本发明的一实施例的狭缝式模具涂布装置的立体图。
22.图2是根据本发明的一实施例的狭缝式模具涂布装置的侧视图。
23.图3是根据本发明的一实施例的狭缝式模具涂布方法的流程图。
24.图4a是用于说明在根据本发明的一实施例的基板形成膜的具体方法的流程图。
25.图4b是用于说明通过根据本发明的一实施例的用户输入，改变对驱动轴的参数值的过程的流程图。
26.图5是示出在根据本发明的一实施例的基板形成膜时，根据与涂布印刷形状以及基板弯曲相关的维度指定的驱动轴的图。
27.图6是各自示出基于根据本发明的一实施例的与涂布印刷形状以及基板弯曲相关的维度的基板的示例性情况的图。
28.图7a是用于说明通过根据本发明的一实施例的用户输入而改变的参数值被反映到印刷路线的改变中的情况的图。
29.图7b是示出在根据本发明的一实施例的用户界面中，为了改变图7a的印刷路线而改变参数值的情况的图。
30.图8是用户说明向根据本发明的一实施例的涂布的膜曝光紫外线的具体方法的流程图。
31.图9是示出向根据本发明的一实施例的涂布的膜曝光紫外线时，根据与基板弯曲相关的维度而制定的驱动轴的图。
具体实施方式
32.以下，参考实施例以及附图具体说明本发明。然而，以下的说明并不用于将本发明限定在特定的实施形态中，在本发明的说明中，当判断为对公知技术的具体说明能够使本发明的要旨变模糊时，省略对其的详细说明。
33.图1是根据本发明的一实施例的狭缝式模具涂布装置的立体图，图2是根据本发明的一实施例的狭缝式模具涂布装置的侧视图。
34.参考图1以及图2，根据本发明的一实施例的用于基板印刷的狭缝式模具(slot die)涂布装置100，其特征为，包括：工作台10，提供基板(未图示)；垂直方向门架51，提供为在所述工作台10上可朝所述工作台10的长度方向2(x轴方向)移动；水平方向门架52，提供为在所述垂直方向门架51的上部横穿所述垂直方向门架51而可朝旋转方向8(θ轴方向)旋转；狭缝式模具110，提供在所述水平方向门架52上，喷出印刷材料，从而在所述基板上涂布膜；第一移动部件53，提供为将所述狭缝式模具110连接在所述水平方向门架52的一侧，控制所述狭缝式模具110的水平方向4(y轴方向)及垂直方向6(z轴方向)的移动；光源120，提供在所述水平方向门架52上，向所述涂布的膜上照射紫外线(uv)；第二移动部件54，提供为
将所述光源120连接在所述水平方向门架52的另一侧，控制所述光源120的水平方向4(y轴方向)以及垂直方向6(z轴方向)的移动；阀门140，提供在所述狭缝式模具110的上部，调整所述狭缝式模具110内部的压力；泵130，与所述狭缝式模具110连接，控制从所述狭缝式模具110喷出的所述印刷材料的喷出量；以及罐150，提供为与所述泵130连接，填充所述印刷材料，所述膜的涂布是通过对所述基板的模型分析，指定与所述狭缝式模具110的移动相关的驱动轴，生成对所述指定的驱动轴的参数值，基于所述生成的参数值，设定所述涂布的印刷路线。
35.以下，为了方便说明，将工作台10的长度方向记载为x轴方向2，将水平方向(即，工作台10的宽度方向)记载为y轴方向4，将垂直方向(即，工作台10的高度方向)记载为z轴方向6，将水平方向、即以y轴方向4为中心轴的旋转方向记载为θ轴方向8。
36.根据本发明的一实施例的用于基板印刷的狭缝式模具涂布装置100包括：垂直方向门架51，提供为朝y轴方向4与工作台10隔开一定距离，从而在工作台10的两侧各自朝z轴方向6垂直延伸；以及水平方向门架52，提供为在所述垂直方向门架51的上部横穿所述垂直方向门架51而可朝旋转方向8(θ轴方向)旋转。所述垂直方向门架51以及水平方向门架52可以构成为与用于一般的狭缝式模具涂布装置的门架(gantry)结构实质上相同或者类似的形态。
37.垂直方向门架51可朝x轴方向2移动，水平方向门架52可朝θ轴方向8旋转移动。另外，水平方向门架52可以包括可以朝y轴方向4以及z周方向6移动的任意的预定部分(例如，第一移动部件53以及第二移动部件54)。
38.更加具体为，在本发明的一实施例中，参考图2，水平方向门架52也可以包括可以单独或者同时完成y轴方向4以及z周方向6的移动的第一移动部件53以及第二移动部件54。在该情况下，在以x轴方向2为基准时，第一移动部件53以及第二移动部件54可以各自提供在水平方向门架52的一侧和另一侧。所述第一移动部件53以及第二移动部件54各自可以由例如公知的直线运动导向件等通常的驱动轴部件实现。
39.狭缝式模具110在下部具备狭缝式喷嘴，而加压印刷材料进行均匀喷出，从而可以在基板上涂布形成膜。在本发明的一实施例中，印刷材料可以为作为紫外线固化型粘合剂使用的光学树脂(ocr；optically clear resin)，除此之外，本发明领域的技术人员可以充分理解为是其他粘合剂或者膜原液之类的粘性高的液体或者流动体。
40.光源120可以为能够释放紫外线的任意的光源。例如，作为光源120，可以使用低压汞蒸气灯、中压汞蒸气灯、高压汞蒸气灯、超高压汞蒸气灯、碳弧灯、金属卤化物灯、氙灯等。另外，作为光源120，可以使用arf准分子激光器、krf准分子激光器、准分子灯、同步加速辐射器等。
41.泵130起到控制狭缝式模具110的印刷材料喷出量的功能，阀门140起到调整狭缝式模具110的内部压力的功能。罐150起到填充印刷材料的功能，进一步地，也可以一起执行印刷材料的搅拌、脱泡以及老化的功能。
42.在本发明的一实施例中，狭缝式模具110以及光源120可以提供在水平方向门架52上，更加详细地，可以提供为在水平方向门架52上通过可以朝y轴方向4以及z周方向6移动的任意的预定部分(例如，第一移动部件53以及第二移动部件54)与水平方向门架52连接。
43.在该情况下，第一移动部件53以及第二移动部件54可以被同时控制或者单独控
制，由此，可以同时或者独立执行狭缝式模具110以及光源120的y轴方向4以及z周方向6的移动。
44.在本发明的一实施例中，泵130以及发明140各自提供为与狭缝式模具110连接，罐150提供为与所述泵130连接。一般是通过软管完成从罐150向泵130的印刷材料的供应，然而不限于此，只要是可以执行印刷材料的供应功能的手段，任何皆可。
45.再次参考图1以及图2，在本发明的一实施例中，图2中图示的文字(即，x、y、z以及θ)表示控制上述狭缝式模具涂布装置的构成要素的驱动轴。
46.更加具体为，在本发明的一实施例中，y1轴相当于与狭缝式模具110的第一模具110a的y轴方向4的移动相关的驱动轴，y2轴相当于与狭缝式模具110的第二模具110b的y轴方向4的移动相关的驱动轴。通过所述y1、y2驱动轴的控制，将所述第一以及第二模具110a、110b朝y轴方向4移动，从而可以扩大或者缩小狭缝式模具110喷嘴的喷出狭缝的喷出宽度。以下，为了方便说明，将包括所述y1轴以及y2轴全部的轴称为狭缝式模具轴(s轴)。
47.如上所述，在本发明的一实施例中，x轴相当于与垂直方向门架51的x轴方向2的移动相关的驱动轴，θ轴相当于与水平方向门架52的θ轴方向8的旋转移动相关的驱动轴。水平方向门架52可以包括能够单独完成y轴方向4以及z轴方向6的移动的第一移动部件53以及第二移动部件54，y3轴以及z1轴各自相当于与用于将狭缝式模具110朝y轴方向4以及z轴方向6移动的第一移动部件53的y轴方向4以及z轴方向6的移动相关的驱动轴，y4轴以及z2轴各自相当于与用于将光源120朝y轴方向4以及z轴方向6移动的第二移动部件54的y轴方向4以及z轴方向6的移动相关的驱动轴。
48.在本发明的一实施例中，图2中图示的p轴调整泵130的流量，因此可以与所述p轴一起，进一步控制调整狭缝式模具110的内部压力的阀门140，从而调整印刷材料的喷出量。
49.图3是根据本发明的一实施例的狭缝式模具涂布方法的流程图，图4a是用于说明在根据本发明的一实施例的基板形成膜的具体方法的流程图，图4b是用于说明通过根据本发明的一实施例的用户输入，改变对驱动轴的参数值的过程的流程图。
50.参考图3以及图4a，根据本发明的一实施例的用于基板印刷的狭缝式模具涂布方法300，其特征为，包括：填充印刷材料的步骤(310)；利用狭缝式模具，在基板上涂布印刷所述印刷材料，从而形成膜的步骤(320)；向所述涂布的膜曝光紫外线(uv)的步骤(330)；测定所述涂布的膜的厚度的步骤(340)；利用所述涂布的膜，贴合所述基板和另一基板的步骤(350)；以及对所述贴合的基板的所述涂布的膜执行检查的步骤(360)，形成所述膜的步骤(320)包括：对所述基板执行模型分析的步骤(410)；根据所述模型分析，指定与狭缝式模具涂布装置100的狭缝式模具110的移动相关的驱动轴的步骤(420)；生成对所述指定的驱动轴的参数值的步骤(430)；基于所述生成的参数值，设定所述涂布印刷的路线的步骤(440)；以及执行所述涂布印刷的步骤(450)。
51.上述的根据本发明的一实施例的用于基板印刷的狭缝式模具涂布方法300的填充印刷材料的步骤(310)可以进一步包括：所述印刷材料的搅拌、脱泡以及老化的步骤。
52.在本发明的一实施例中，在狭缝式模具涂布方法300的步骤(430)中生成的参数值可以是用户通过输入而直接改变该值。更加详细地，参考图4b，基于所述生成的参数值，设定涂布印刷的路线的步骤(440)可以包括：判断所述生成的参数值是否为确定状态的步骤(440a)；以及基于确定的参数值，设定所述涂布印刷的路线的步骤(440c)，可以进一步包
括：当所述生成的参数值为未确定状态时，用户通过输入直接改变所述生成的参数值的步骤(440b)。
53.涂布印刷的路线是基于对印刷对象基板的模型的分析，因此需要修改已经生成的参数以及/或者已经涂布的印刷路线时，需要重新分析印刷对象基板的模型的过程，然而在根据本发明的一实施例的狭缝式模具涂布方法300中，可以提取经解析的涂布路线的坐标值，用户任意修改来应用。由此，可以精密控制狭缝式模具涂布装置100，可以缩短工艺时间以及提高工艺方便性。
54.图5是示出在根据本发明的一实施例的基板形成膜时，根据与涂布印刷形状以及基板弯曲相关的维度指定的驱动轴的图，图6是各自示出基于根据本发明的一实施例的与涂布印刷形状以及基板弯曲相关的维度的基板的示例性情况的图。
55.参考图5，在本发明的一实施例中，对基板的模型分析可以是根据基于涂布印刷图案的宽度变化的形状以及基于基板的弯曲变化的维度(d；dimension)进行区分来完成。更加具体为，基于涂布印刷图案的宽度变化的形状的区分可以为长方形以及多边形(polygon type)/曲线形(curve type)，基于基板弯曲变化的维度可以为后述的2d以及2.5d。本发明领域的技术人员可以充分理解不仅是如上所述具体的形状以及维度，而且其他形状以及维度也可以包含在本发明的各种实施例中。
56.图6中图示根据本发明的一实施例的上述基板模型的各种形状以及维度的示例性情况。图6(a)概略性地示出从上面观察包括长方形、多边形以及曲线形的基于涂布印刷图案的宽度变化的形状的平面图，图6(b)概略性地示出从侧面观察基于基板的弯曲变化的维度的侧视图。
57.与图4a一起再次参考图5，在本发明的一实施例中，其特征为，在根据基板模型分析而指定与狭缝式模具的移动相关的驱动轴的步骤(420)中，根据对所述基板的模型的区分，(a)当为长方形时，所述指定的驱动轴相当于所述工作台的长度方向轴以及泵轴(即，x轴以及p轴)、(b)当为多边形以及曲线形时，所述指定的驱动轴相当于所述工作台的长度方向轴、狭缝式模具轴、垂直方向轴以及泵轴(即，x轴、s轴、z轴、p轴)、(c)当为2d时，所述指定的驱动轴相当于所述工作台的长度方向轴以及垂直方向轴(即，x轴、z轴)、(d)当为2.5d时，所述指定的驱动轴相当于所述工作台的长度方向轴、垂直方向轴以及所述旋转方向的轴(即，x轴、z轴、θ轴)。
58.另外，在本发明的一实施例中，(b)当为多边形以及曲线形时，在涂布印刷时，在控制如上所述指定的驱动轴的基础上，可以进一步包括控制阀门140的步骤。
59.更加详细为，(a)当为长方形时(指定的驱动轴：x轴以及p轴)，印刷对象基板模型相当于以涂布进行方向(x轴方向)为基准，图案的宽度没有变化的长方形印刷图案类型。针对x轴方向，狭缝式模具涂布装置100的垂直方向门架51以等速运转，针对p轴方向，泵130也是等速运转，从而设定为向狭缝式模具110供应一定流量的印刷材料。其中，本发明领域的技术人员可以充分理解x轴可以为与2个垂直方向门架51各自相关而单独驱动的驱动轴(例如，x
l
轴以及xr轴)，该点也可以同样适用在以下的说明中。
60.(b)当为多边形以及曲线形时(指定的驱动轴：x轴、s轴、z轴以及p轴)，印刷对象基板模型相当于以涂布进行方向(x轴方向)为基准，图案的宽度发生变化的任意形状的印刷图案类型。以涂布进行方向为基准改变涂布量，由此改变印刷宽度，当分析印刷对象基板模
型时，x轴、s轴(即，y1轴以及y2轴)、z轴以及p轴的运转速度被控制，阀门140的开闭也被主动控制。在该情况下，如上所述，设定的参数(或者印刷条件)或者涂布印刷的路线可以是用户通过输入任意修改。
61.更加具体为，对于以根据本发明的示例性的一实施例的涂布进行方向(x轴方向)为基准，涂布宽度变窄时以及涂布宽度变宽时的情况，各自针对指定的驱动轴以及阀门的控制进行说明。
62.当涂布宽度变窄时，针对s轴(即，y1轴以及y2轴)，缩小狭缝式模具110的喷嘴的喷出宽度。针对x轴，喷出宽度变小的同时，通过狭缝式模具110的内部体积的缩小而喷出压力变大，为了补偿所述压力增加，加速垂直方向门架51的x轴方向的运转速度，需要时，进一步控制阀门140为开放状态，从而减小狭缝式模具110的喷嘴内部的压力。另外，针对z轴，使狭缝式模具110的喷嘴部分不因狭缝式模具110朝从基板远离的方向移动(即，狭缝式模具110和基板的间距增加)而增加的喷出量，成为潮湿状态(wetting)。作为参考，当发生喷嘴潮湿现象而喷嘴变湿或者在喷嘴结有溶液时，影响喷出液滴(droplet)的直线前进性或者未喷出等可能难以进行正常的涂布。另外，针对p轴，减小控制流量的泵140的p轴的运转速度以降低印刷材料的流量。
63.当涂布宽度变宽时，针对s轴(即，y1轴以及y2轴)，扩大狭缝式模具110的喷嘴的喷出宽度。针对x轴，喷出宽度变大的同时，通过狭缝式模具110的内部体积的膨胀而喷出压力变小并产生气泡，为了对此进行补偿，减小垂直方向门架51的x轴方向的运转速度，需要时，进一步控制阀门140为关闭状态，从而增加狭缝式模具110的喷嘴内部的压力。另外，针对z轴，使狭缝式模具110的喷嘴部分不因狭缝式模具110朝与基板接近的方向移动(即，狭缝式模具110和基板的间距变小)而减少的喷出量从而引起弯液面破裂(meniscus break)。作为参考，弯液面作为凝结在狭缝式模具喷嘴和基板之间的印刷材料的形状，一般受到印刷材料的供应的流量、喷嘴的移动速度、喷嘴和基板的间距的影响，涂布质量受到弯液面的影响。另外，针对p轴，增加控制流量的泵140的p轴的运转速度以增加印刷材料的流量。
64.其中，本发明领域的技术人员可以充分理解z轴也可以为与提供在水平方向门架52上的第一移动部件53以及第二移动部件54相关的各个驱动轴(例如，z1轴以及z2轴)，另外，本发明领域的技术人员可以充分理解与上述的x轴相同而也可以为与2个垂直方向门架51各自关联而单独驱动的驱动轴(例如，z
l
轴以及zr轴，在该情况下，狭缝式模具110不是水平状态而成为倾斜状态)，该点也同样适用于以下说明中。
65.(c)当为2d时(指定的驱动轴：x轴、z轴)，印刷对象基板模型相当于在平板基板印刷的类型，在开始涂布印刷时狭缝式模具110的喷嘴为了使喷出的印刷材料形成珠子(bead)而接近基板的操作和涂布印刷之后为了挤压(squeeze)而使狭缝式模具110的喷嘴复原的操作(即，喷嘴从基板隔开的操作)中需要z轴的驱动，在进行涂布印刷操作中，喷嘴和基板为了能够保持等间距而无需z轴的驱动。
66.(d)当为2.5d时(指定的驱动轴：x轴、z轴、θ轴)，印刷对象基板模型相当于向具有弯曲或者曲率半径的基板(即，curved substrate)进行印刷的类型。在进行涂布印刷时，狭缝式模具110的喷嘴改变θ轴角度以能够使喷嘴以相对基板的接触点或者接触线为基准，与基板保持垂直相交状态。在该情况下，z轴驱动以与θ轴驱动同步方式进行驱动以使设定的印刷速度不受θ轴的角度变化的影响，而且即便θ轴旋转角度发生变化，z轴驱动也以与θ轴
驱动同步方式进行驱动以保持狭缝式模具110的喷嘴和基板之间的间距设定值。更加具体为，当狭缝式模具110朝印刷进行方向旋转时，x轴以及z轴的运转速度以与θ轴同步方式减少，当朝与印刷进行方向相反的方向旋转时，x轴以及z轴的运转速度以与θ轴同步方式增加。
67.图7a是用于说明通过根据本发明的一实施例的用户输入而改变的参数值被反映到印刷路线的改变中的情况的图，图7b是示出在根据本发明的一实施例的用户界面中，用于改变图7a的印刷路线而改变参数值的情况的图。
68.一同参考图7a以及图7b，在本发明的一实施例中，图7b表中图示的数值相当于与由图7a中参考的文字k1-k6表示的点中的x轴、s轴(y1、y2)、p轴的驱动相关的示例性的参数。
69.观察对图7a的上端中图示的基板的k2至k5点，则在本发明的示例性的一实施例中，在k2点上，作为与狭缝式模具110的第一模具以及第二模具相关的驱动轴的y1轴、y2轴的位置为0mm，狭缝式模具110朝k3点移动(即，进行印刷)，由此作为与狭缝式模具110的第二模具相关的驱动轴的y2轴的位置变为30mm。如上所述，可以确认到，为了补偿因涂布宽度变小导致的喷出压力的增加，x轴速度变大。从k4点向k5点的涂布印刷中，y2轴的位置从30mm变为0mm，如上所述，为了补偿涂布宽度增加导致的喷出压力的减小，x轴速度变小。
70.在本发明的一实施例中，用户可以通过输入而将生成的参数值直接任意改变，如图7b所示，将k3以及k4点的y2轴的位置从30mm变为60mm时，可以如图7a的下端中图示的形状进行涂布印刷。
71.通过如上所述方法，用户可以对具有更深的缺口区(notch zone)的多边形形状更加方便地进行涂布印刷。所述图7a以及图7b中示出用户通过任意地改变参数值，改变多边形形状的涂布印刷路线的示例性的一实施例，然而除此之外，本发明领域的技术人员可以充分理解用户通过输入任意的参数值，也可以改变对各种形状或者围度的基板的涂布印刷路线。
72.图8是用户说明向根据本发明的一实施例的涂布的膜曝光紫外线的具体方法的流程图。
73.与图3一起参考图8，则根据本发明的一实施例的用于基板印刷的狭缝式模具(slot die)涂布方法300，其特征为，包括：填充印刷材料的步骤(310)；利用狭缝式模具，在基板上涂布印刷所述印刷材料，从而形成膜的步骤(320)；向所述涂布的膜曝光紫外线(uv)的步骤(330)；测定所述涂布的膜的厚度的步骤(340)；利用所述涂布的膜，贴合所述基板和另一基板的步骤(350)；以及对所述贴合的基板的所述涂布的膜执行检查的步骤(360)，向所述涂布的膜曝光紫外线(uv)的步骤(330)包括：对所述基板执行模型分析的步骤(810)；根据所述模型分析，指定与狭缝式模具涂布装置100的光源120的移动相关的驱动轴的步骤(820)；生成对所述指定的驱动轴的参数值的步骤(830)；基于所述生成的参数值，设定所述曝光的路线的步骤(840)；以及执行所述曝光的步骤(850)。
74.图9是示出向根据本发明的一实施例的涂布的膜曝光紫外线时，根据与基板弯曲相关的维度而制定的驱动轴的图。
75.参考图9，在本发明的一实施例中，对用于曝光工艺的基板的模型分析可以是根据基于基板的弯曲变化的维度进行区分来完成。更加具体为，基于基板弯曲变化的维度可以为2d以及2.5d。本发明领域的技术人员可以充分理解除了如上所述具体的维度之外的其他
可能的维度也可以包含在本发明的各种实施例中。
76.在本发明的一实施例中，在根据基板模型分析而指定与狭缝式模具的移动相关的驱动轴的步骤(820)中，根据对所述基板的模型的区分，(a)当为2d时，所述指定的驱动轴可以相当于水平方向轴以及垂直方向轴(即，x轴、z轴)，(b)当为2.5d时，所述指定的驱动轴可以相当于水平方向轴、垂直方向轴以及所述旋转方向的轴(即，x轴、z轴、θ轴)。
77.在本发明的一实施例中，如上所述，水平方向门架52包括可以单独完成y轴方向4以及z轴方向6的移动的第一移动部件53以及第二移动部件54时，光源120可以提供在第二移动部件54上，在该情况下，所述z轴相当于z2轴。
78.如前述，根据本发明的实施例的用于基板印刷的狭缝式模具涂布装置以及方法可以提供如下效果，即基于印刷对象基板的模型分析，指定驱动轴以及算出对指定的驱动轴的移动的参数值，基于此，决定涂布印刷路线，因此可以精密控制狭缝式模具涂布装置，从而可以提高涂布印刷的准确度，而且制造显示器时，可以快速应对涂布宽度的变化以及涂布面的弯曲变化，用户通过输入可以直接改变根据所述基板模型分析生成的参数值，从而可以缩短工艺时间，增加工艺方便性。
79.在不脱离本发明的范围的情况下，可以通过本说明书中叙述并示例的构成以及方法完成各种变形例，因此所述详细的说明中包含或者附图中图示的所有事项属于示例，而不用于限制本发明。因此，本发明的范围不受上述示例性实施例的限制，而仅由权利要求范围以及其均等物而定。