籽晶粘贴装置的制作方法

1.本发明涉及半导体技术领域，更具体地，涉及一种籽晶粘贴装置。


背景技术：

2.在例如碳化硅等晶体生长的相关技术中，需要将粘贴有籽晶的承载装置(例如石墨盖)置于晶体生长炉的顶部，原料粉体加热气化后沉积于籽晶表面，从而沿着籽晶生长出晶体。这其中籽晶与承载装置的粘贴质量直接影响晶体的生长质量，例如在碳化硅晶体生长过程中，由于籽晶与石墨盖在粘贴过程中施加压力的不均匀性，使得籽晶受到局部应力的影响，易造成籽晶与石墨盖错位和宏观缺陷产生，影响碳化硅晶体的生长质量。


技术实现要素：

3.本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种籽晶粘贴装置，所述籽晶粘贴装置解决了相关技术中粘贴籽晶时受压不均匀的问题，能够避免造成籽晶与石墨盖错位与宏观缺陷的情况。
4.根据本发明实施例的籽晶粘贴装置，包括：第一配合件，限定出适于安装第一石墨盖的第一安装位，所述第一石墨盖上设置第一籽晶，所述第一石墨盖与所述第一籽晶之间设有第一胶黏层；第二配合件，与所述第一配合件限定出密闭的空腔，并与所述第一籽晶抵接；抽真空装置，与所述空腔连通，向所述空腔施加负压，以使所述第一石墨盖与所述第一籽晶在所述第一胶黏层的粘接下紧密连接。
5.根据本发明实施例的籽晶粘贴装置，通过第二配合件与第一籽晶抵接，抽真空装置向第二配合件与第一配合件之间限定的密闭的空腔施加负压，使得第二配合件可以对第一籽晶均匀施加压力，确保第一石墨盖与第一籽晶在第一胶黏层的粘接下紧密连接，确保粘贴可靠，且第一籽晶与第一石墨盖受压均匀，解决了相关技术中粘贴籽晶时受压不均匀的问题，不易受局部应力的影响，避免造成第一籽晶与第一石墨盖错位与宏观缺陷的情况，有效改善第一籽晶的生长质量。
6.另外，根据本发明上述实施例的籽晶粘贴装置还可以具有如下附加的技术特征：
7.根据本发明一些实施例的籽晶粘贴装置，所述第一安装位处设有第一安装槽，所述第一石墨盖设于所述第一安装槽内，与所述第一安装槽螺纹连接。
8.根据本发明的一些实施例，所述第一安装槽的底壁上设有连通所述空腔以及所述第一安装槽的第一通道。
9.根据本发明的一些实施例，所述第一石墨盖在其厚度方向上贯穿地设有第二通道，所述第二通道与所述第一通道连通。
10.根据本发明的一些实施例，所述第一籽晶和所述第一石墨盖之间设有石墨纸。
11.根据本发明的一些实施例，籽晶粘贴装置还包括：压力检测装置，所述压力检测装置伸入所述空腔，用于检测所述空腔内的压力。
12.根据本发明的一些实施例，所述空腔的中心线与所述第一配合件的中心线重合，
所述第一配合件沿所述空腔的周向方向均匀地限定出多个所述第一安装位。
13.根据本发明的一些实施例，所述第一配合件的朝向所述第二配合件的表面上设有第一凹槽，所述第二配合件的朝向所述第一配合件的表面设有第二凹槽，所述第一凹槽和所述第二凹槽相对设置以共同限定出所述空腔。
14.根据本发明的一些实施例，所述第二凹槽的横截面面积大于所述第一凹槽的横截面面积。
15.根据本发明的一些实施例，籽晶粘贴装置还包括：锁紧组件，所述锁紧组件设置于所述第一配合件和所述第二配合件的外边缘，用于连接并固定所述第二配合件与所述第一配合件。
16.根据本发明的一些实施例，所述第二配合件与所述第一配合件上所述第一籽晶对应地设有压具，所述压具与所述第一籽晶抵接，且与所述第一籽晶的抵接面为光滑的平面。
17.根据本发明的一些实施例，所述第二配合件与所述第一籽晶对应地设有第二籽晶，所述第二籽晶与所述第一籽晶抵接，所述第二籽晶设置在第二石墨盖上，所述第二石墨盖设置在所述第二配合件限定出的第二安装位处，所述第二石墨盖与所述第二籽晶之间设有第二胶黏层，通过所述抽真空装置向所述空腔施加负压，使得所述第二石墨盖与所述第二籽晶在所述第二胶黏层的粘接下紧密连接。
18.本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
19.本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
20.图1是根据本发明第一实施例的籽晶粘贴装置的结构示意图；
21.图2是根据本发明第二实施例的籽晶粘贴装置的结构示意图；
22.图3是根据本发明第二实施例的籽晶粘贴装置的局部结构示意图；
23.图4是根据本发明实施例的第一配合件的俯视图；
24.图5是根据本发明第三实施例的第一配合件的俯视图；
25.图6是根据本发明实施例的石墨盖与籽晶的结构示意图；
26.图7是根据本发明实施例的锁紧组件的结构示意图。
27.附图标记：
28.籽晶粘贴装置100；第一石墨盖200；第一籽晶300；石墨纸400；第二石墨盖500；第二籽晶600；
29.第一配合件10；第一安装槽11；第一通道12；连通口13；第一凸缘14；
30.第二配合件20；压具21；密封圈22；第二凸缘23；第二安装槽24；第三通道25；
31.空腔30；凹槽31；第一凹槽301；第二凹槽302；
32.抽真空装置40；控制组件41；法兰盘42；连接管43；
33.第二通道50；第四通道51；
34.第一加热装置60；第二加热装置61；
35.压力检测装置70；卡扣71；
36.锁紧组件80；锁紧件81；紧固件82；锁紧槽811。
具体实施方式
37.下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
38.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
39.在本发明的描述中，“第一特征”、“第二特征”可以包括一个或者更多个该特征，“多个”的含义是两个或两个以上，第一特征在第二特征“之上”或“之下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。
40.下面参考附图描述根据本发明实施例的籽晶粘贴装置100。
41.参照图1与图2所示，根据本发明实施例的籽晶粘贴装置100可以包括：第一配合件10。
42.具体而言，第一配合件10限定出可以安装第一石墨盖200的第一安装位，便于对第一石墨盖200进行固定，确保第一石墨盖200位置准确，不易发生移动。第一石墨盖200上设置第一籽晶300，第一石墨盖200与第一籽晶300之间设有第一胶黏层，通过第一胶黏层可以对第一石墨盖200与第一籽晶300之间进行预定位，便于确保第一籽晶300与第一石墨盖200的相对位置，确保第一籽晶300进一步粘贴时位置准确。例如，第一籽晶300与第一石墨盖200可以通过类碳胶进行连接。
43.此外，如图1与图2所示，籽晶粘贴装置100还可以包括第二配合件20和抽真空装置40，第二配合件20与第一配合件10限定出密闭的空腔30，并且第二配合件20与第一籽晶300抵接，抽真空装置40与空腔30连通，可以向空腔30施加负压，由此，空腔30内形成为负压区，使得第二配合件20可以朝向第一配合件10移动，通过第二配合件20与第一配合件10的距离减小，可以使第一石墨盖200与第一籽晶300在第一胶黏层的粘接下紧密连接，确保第一籽晶300与第一石墨盖200粘贴可靠。
44.同时，通过抽真空装置40向空腔30施加负压，使得第二配合件20可以均匀施加压力，确保第一籽晶300与第一石墨盖200受压均匀，不易受局部应力的影响，解决了相关技术中粘贴籽晶时受压不均匀的问题，避免造成第一籽晶300与第一石墨盖200粘贴错位与宏观缺陷的情况，确保较好的平整度，有效改善第一籽晶300的生长质量。
45.根据本发明实施例的籽晶粘贴装置100，通过第二配合件20与第一籽晶300抵接，抽真空装置40向第二配合件20与第一配合件10之间限定的密闭的空腔30施加负压，使得第二配合件20可以对第一籽晶300均匀施加压力，确保第一石墨盖200与第一籽晶300在第一胶黏层的粘接下紧密连接，确保粘贴可靠，且第一籽晶300与第一石墨盖200受压均匀，解决
了相关技术中粘贴籽晶时受压不均匀的问题，不易受局部应力的影响，避免造成第一籽晶300与第一石墨盖200错位与宏观缺陷的情况，有效改善第一籽晶300的生长质量。
46.根据本发明的一些实施例，如图1-图3所示，第一配合件10上设有第一安装槽11，第一石墨盖200可以设于第一安装槽11内，便于将第一石墨盖200固定在第一配合件10上，确保第一石墨盖200安装稳固，避免第一石墨盖200在粘贴时发生偏移而造成第一籽晶300与第一石墨盖200粘贴位置不准确或者受压不均匀等问题，确保第一籽晶300与第一石墨盖200粘贴可靠，有效提高第一籽晶300的生长质量。
47.此外，第一安装槽11与第一石墨盖200可以通过螺纹连接，确保第一石墨盖200稳固安装在第一安装槽11内，不易发生移动，避免向第一籽晶300加压后造成第一石墨盖200下落等问题，且第一石墨盖200通过螺纹固定在第一安装槽11内便于对第一石墨盖200进行放置与取出，使用更方便，有利于提高生产效率。同时，第一石墨盖200可以通过螺纹在第一安装槽11内移动，使得第一石墨盖200可以选择合适的安装位置，便于第二配合件20与第一配合件10配合。
48.在一些具体实施例中，第一安装槽11的内壁可以设有内螺纹，第一石墨盖200的周壁上可以设有外螺纹，通过内螺纹与外螺纹配合，能够将第一石墨盖200安装在第一安装槽11内，确保第一石墨盖200安装稳固，且便于第一石墨盖200安装与拆卸。
49.在本发明的一些实施例中，如图1-图3所示，空腔30的中心线与第一配合件10的中心线重合，第一配合件10沿空腔30的周向方向均匀地限定出多个第一安装位，通过多个第一安装位能够安装多个第一石墨盖200，在籽晶粘贴装置100使用一次时，能够实现对多个第一籽晶300进行粘贴，有利于提高生产效率。同时，空腔30能够位于第一配合件10的中心位置，确保位于多个第一安装位上的第一石墨盖200与第一籽晶300均匀受压，确保粘贴可靠，有效提高第一籽晶300的生长质量。
50.在本发明的实施例中，第一安装位的数量可以根据实际情况进行灵活的设置，例如，第一安装位可以如图3所示为四个，也可以为两个、三个、五个、六个或者更多个，这都在本发明的保护范围之内。
51.在相关技术中，籽晶进行粘贴时，籽晶与石墨盖之间易产生气孔，气孔易在籽晶上造成生长缺陷，导致晶体生长过程中穿透晶体。
52.因此，在本发明的一些实施例中，如图1与图2所示，第一安装槽11的底壁上设有第一通道12，第一通道12连通空腔30和第一安装槽11，抽真空装置40还可以通过第一通道12向第一石墨盖200和第一籽晶300之间施加负压，使得第一籽晶300与第一石墨盖200之间的气体可以通过第一通道12排出，有效避免了第一石墨盖200与第一籽晶300之间产生气孔，确保第一籽晶300与第一石墨盖200的粘贴效果好，有利于保证后续的高质量的长晶。
53.在一些实施例中，如图1与图2所示，第一通道12与第一安装槽11的连通口13可以位于第一安装槽11底壁的中心位置，能够便于使抽真空装置40通过第一通道12向第一石墨盖200和第一籽晶300之间施加负压；或者，连通口13可以位于第一安装槽11底壁的外边缘，使抽真空装置40向第一石墨盖200和第一籽晶300之间施加负压更均匀，且能够避免第一石墨盖200和第一籽晶300之间的胶黏层受负压影响而流出。
54.需要说明的是，为便于描述，本发明中“下”、“上”、“前”和“后”等方位是基于附图中所示方位关系，而并非对实际应用过程中方位的限定。
55.在一些实施例中，第一石墨盖200可以为多孔石墨件，使得第一籽晶300与第一石墨盖200之间的气体可以便于从第一石墨盖200中穿出，使得气体的流出更方便，有利于避免第一石墨盖200和第一籽晶300之间产生气孔，确保第一籽晶300与第一石墨盖200的粘贴效果好，保证后续的高质量的长晶。
56.根据本发明的一些实施例，如图6所示，第一石墨盖200可以设有第二通道50，在第一石墨盖200的厚度方向(例如图1所示的上下方向)上，第二通道50可以贯穿第一石墨盖200，且第二通道50与第一通道12连通，使得抽真空装置40可以通过第一通道12与第二通道50向第一石墨盖200和第一籽晶300之间施加负压，第一籽晶300与第一石墨盖200之间的气体便于通过第二通道50流出，有效避免第一籽晶300与第一石墨盖200之间产生气孔，确保第一籽晶300与第一石墨盖200的粘贴效果更好、更平整，有利于保证后续的高质量的长晶。
57.在一些实施例中，第一石墨盖200和第一籽晶300之间的第一胶黏层可以进行加热，确保第一石墨盖200和第一籽晶300连接可靠。
58.在本发明的实施例中，第一胶黏层的具体加热方式可以根据实际情况设置。例如，第一胶黏层可以进行外加热，将第一胶黏层加热后，再放置在籽晶粘贴装置100内。
59.例如，在一些实施例中，如图1与图2所示，籽晶粘贴装置100还包括第一加热装置60，第一加热装置60设于第一配合件10，且第一加热装置60位于第一石墨盖200的远离第一籽晶300的一侧(例如图1所示的下侧)，第一加热装置60可以用于加热第一石墨盖200和第一籽晶300之间的第一胶黏层，便于实现第一籽晶300与第一石墨盖200之间的固化，使得第一籽晶300可以稳固粘贴在第一石墨盖200上，确保第一籽晶300与第一石墨盖200连接可靠，且能够实现第一籽晶300粘贴、固化和烧结过程的连续性，有利于提高粘贴效率。
60.在一些实施例中，第一加热装置60可以为热电阻，热电阻的机械强度高，具有较好的耐高温耐压性能，且体积小，有利于减少占用空间，成本较低。
61.在一些实施例中，如图1与图2所示，第一加热装置60可以为多个，多个第一加热装置60设于第一配合件10，便于实现第一籽晶300与第一石墨盖200之间固化，使得第一籽晶300与第一石墨盖200之间固化更高效。
62.在本发明的实施例中，第一加热装置60的数量可以根据实际情况进行灵活的设置，例如，第一加热装置60可以如图1所示为四个，也可以为两个、三个、五个、六个或者更多个，这都在本发明的保护范围之内。
63.在第一配合件10上设有第一安装槽11的一些实施例中，如图1与图2所示，第一加热装置60可以位于第一安装槽11的槽底壁，便于对第一加热装置60进行安装，且第一加热装置60对第一石墨盖200和第一籽晶300之间的第一胶黏层的加热效果更好，有利于实现第一籽晶300与第一石墨盖200之间的固化。
64.在本发明的一些实施例中，如图1-图3所示，籽晶粘贴装置100还包括压力检测装置70，压力检测装置70伸入空腔30，使得压力检测装置70可以检测空腔30内的压力，便于对空腔30内的压力进行检测，能够准确获取空腔30内的压力，且通过对空腔30内的压力进行检测，便于对空腔30内的压力进行控制，能够计算第一籽晶300的表面的受压情况，从而控制第一籽晶300的表面的作用力，避免第一籽晶300受压不均匀的问题，能够满足空腔30所需的压力要求。
65.在一些实施例中，如图1-图3所示，压力检测装置70可以包括检测端和压力表，检
测端的一端与压力表连接，检测端的另一端伸入空腔30，压力表通过检测端对空腔30内的压力进行检测，且压力表与检测端通过卡扣71连接，便于压力表与检测端进行拆卸、更换等。
66.在一些实施例中，如图2与图3所示，第二配合件20设有第二籽晶600，第二籽晶600与第一籽晶300对应，且第二籽晶600与第一籽晶300抵接，第二籽晶600设置在第二石墨盖500上，第二石墨盖500设置在第二配合件20限定出的第二安装位处，便于对第二石墨盖500进行固定，确保第二石墨盖500位置准确，不易发生移动。第二石墨盖500与第二籽晶600之间设有第二胶黏层，通过第二胶黏层可以对第二石墨盖500与第二籽晶600之间进行预定位，便于确保第二石墨盖500与第二籽晶600的相对位置，确保第二籽晶600进一步粘贴时位置准确。
67.此外，通过抽真空装置40向空腔30施加负压，由此，空腔30内形成为负压区，使得第二配合件20可以朝向第一配合件10移动，通过第二配合件20与第一配合件10的距离减小，可以使第一石墨盖200与第一籽晶300在第一胶黏层的粘接下紧密连接，使第二石墨盖500与第二籽晶600在第二胶黏层的粘接下紧密连接，确保第一籽晶300与第一石墨盖200、第二石墨盖500与第二籽晶600粘贴可靠，由此，籽晶粘贴装置100能够同时在第二配合件20和第一配合件10上实现对第二籽晶600与第一籽晶300粘贴，有效提高了粘贴效率。
68.根据本发明的一些实施例，如图2与图3所示，第一配合件10和第二配合件20的结构可以相同，第二配合件20上的第二石墨盖500和第一配合件10上的第一石墨盖200结构可以相同，便于对第一配合件10、第二配合件20、第二石墨盖500与第一石墨盖200进行生产制造，有利于降低生产成本，且有利于保证第一配合件10与第二配合件20的相对位置，确保第二配合件20的第二石墨盖500和第一配合件10的第一石墨盖200相对设置，使得第一籽晶300与第二籽晶600粘贴效果好。
69.在一些实施例中，如图1-图3所示，第二配合件20上设有第二安装槽24，第二石墨盖500可以设于第二安装槽24内，便于将第二石墨盖500固定在第二配合件20上，确保第二石墨盖500安装稳固，避免第二石墨盖500在粘贴时发生偏移而造成第二籽晶600与第二石墨盖500粘贴位置不准确或者受压不均匀等问题，确保第二籽晶600与第二石墨盖500粘贴可靠，有效提高第二籽晶600的生长质量。
70.此外，第二安装槽24与第二石墨盖500可以通过螺纹连接，确保第二石墨盖500稳固安装在第二安装槽24内，不易发生移动，避免向第二籽晶600加压后造成第二石墨盖500下落等问题，且第二石墨盖500通过螺纹固定在第二安装槽24内便于对第二石墨盖500进行放置与取出，使用更方便，有利于提高生产效率。同时，第二石墨盖500可以通过螺纹在第二安装槽24内移动，使得第二石墨盖500可以选择合适的安装位置，便于第二配合件20与第一配合件10配合。
71.根据本发明的一些实施例，如图1-图3所示，空腔30的中心线与第二配合件20的中心线重合，第二配合件20沿空腔30的周向方向均匀地限定出多个第二安装位，通过多个第二安装位能够安装多个第二石墨盖500，在籽晶粘贴装置100使用一次时，能够实现对多个第二籽晶600进行粘贴，有利于提高生产效率。同时，空腔30能够位于第二配合件20的中心位置，确保位于多个第二安装位上的第二石墨盖500与第二籽晶600均匀受压，确保粘贴可靠，有效提高第二籽晶600的生长质量。
72.在本发明的实施例中，第二安装位的数量可以根据实际情况进行灵活的设置，例如，第二安装位可以如图3所示为四个，也可以为两个、三个、五个、六个或者更多个，这都在本发明的保护范围之内。
73.在一些实施例中，如图2所示，第二安装槽24的底壁上设有第三通道25，第三通道25连通空腔30和第二安装槽24，抽真空装置40还可以通过第三通道25向第二石墨盖500与第二籽晶600之间施加负压，使得第二石墨盖500与第二籽晶600之间的气体可以通过第三通道25排出，有效避免了第二石墨盖500与第二籽晶600之间产生气孔，确保第二石墨盖500与第二籽晶600的粘贴效果好，有利于保证后续的高质量的长晶。
74.在本发明的一些实施例中，如图6所示，第二石墨盖500可以设有第四通道51，在第二石墨盖500的厚度方向(例如图1所示的上下方向)上，第四通道51可以贯穿第二石墨盖500，且第四通道51与第三通道25连通，使得抽真空装置40可以通过第三通道25与第四通道51向第二石墨盖500与第二籽晶600之间施加负压，第二石墨盖500与第二籽晶600之间的气体便于通过第四通道51流出，有效避免第二石墨盖500与第二籽晶600之间产生气孔，确保第二石墨盖500与第二籽晶600的粘贴效果更好、更平整，有利于保证后续的高质量的长晶。
75.在一些实施例中，如图2所示，籽晶粘贴装置100还包括第二加热装置61，第二加热装置61设于第二配合件20，且第二加热装置61位于第二石墨盖500的远离第二籽晶600的一侧(例如图1所示的上侧)，第二加热装置61可以用于加热第二石墨盖500与第二籽晶600之间的第二胶黏层，便于实现第二石墨盖500与第二籽晶600之间的固化，使得第二籽晶600可以稳固粘贴在第二石墨盖500上，确保第二石墨盖500与第二籽晶600连接可靠，且能够实现第二籽晶600粘贴、固化和烧结过程的连续性，有利于提高粘贴效率。
76.在一些实施例中，如图6所示，第二籽晶600和第二石墨盖500之间可以设有石墨纸400，石墨纸400能够防止第二籽晶600和第二石墨盖500之间的第二胶黏层从第二石墨盖500中渗出，且通过石墨纸400能够避免第二籽晶600造成污染与损伤，确保第二籽晶600的粘贴效果好。
77.在本发明的一些实施例中，如图1-图5所示，第一配合件10的朝向第二配合件20的表面(例如图1所示的上表面)上设有凹槽31，凹槽31的内壁和第二配合件20的朝向第一配合件10的表面(例如图1所示的下表面)可以共同限定出空腔30，便于抽真空装置40向空腔30施加负压，使得第二配合件20朝向第一配合件10移动，保证对第一籽晶300的粘贴可靠。
78.需要说明的是，第二配合件20的朝向第一配合件10的表面可以如图1所示的为第二配合件20的下表面，第二配合件20的下表面与第一配合件10的凹槽31的内壁可以共同限定出空腔30；或者，如图2所示，第二配合件20上也可以设有凹槽31，第二配合件20的凹槽31的内壁可以形成为第二配合件20的朝向第一配合件10的表面，第一配合件10的凹槽31的内壁和第二配合件20的凹槽31的内壁可以共同限定出空腔30，均可以根据实际情况灵活设置，满足不同的使用需求。
79.在一些具体实施例中，如图2与图3所示，第一配合件10的朝向第二配合件20的表面上可以设有第一凹槽301，第二配合件20的朝向第一配合件10的表面可以设有第二凹槽302，第一凹槽301和第二凹槽302相对设置，使得第一凹槽301和第二凹槽302可以共同限定出空腔30，能够使空腔30的范围更大，便于抽真空装置40向空腔30施加负压，有利于压力的提高，使得抽真空装置40抽真空效果更好，确保第一籽晶300受压更均匀。
80.根据本发明的一些实施例，如图2与图3所示，第二凹槽302的横截面面积大于第一凹槽301的横截面面积，使得第二配合件20的压力可以大于第一配合件10的压力，有利于第一凹槽301和第二凹槽302内的压力提高，使得抽真空装置40向空腔30施加负压更快捷，有利于提高抽真空装置40向空腔30施加负压的效率，第一籽晶300的粘贴效率更高效。
81.在一些实施例中，如图1与图2所示，籽晶粘贴装置100可以包括法兰盘42和连接管43，第一配合件10与抽真空装置40可以通过法兰盘42固定，确保第一配合件10与抽真空装置40连接可靠，且通过连接管43可以实现第一配合件10与抽真空装置40的远距离连接，能够便于对抽真空装置40的放置位置进行选择，连接结构简单，有利于降低生产成本。
82.在一些实施例中，如图1与图2所示，法兰盘42与连接管43可以通过卡扣71连接，确保法兰盘42与连接管43连接可靠，便于拆卸、维护等；或者连接管43与抽真空装置40可以通过卡扣71连接，确保连接管43与抽真空装置40连接可靠，便于拆卸、维护等；又或者，连接管43与抽真空装置40、法兰盘42可以通过卡扣71连接，确保连接管43与抽真空装置40、法兰盘42连接可靠，便于拆卸、维护等。
83.在一些实施例中，如图1与图2所示，卡扣71内可以设有密封圈22，有利于保证相互连接的结构连接可靠，密封效果好，有效避免外部气体通过连接处进入，保证抽真空装置40向空腔30施加负压效果好。
84.在一些实施例中，连接管43可以为波纹管，波纹管可以与第一配合件10、抽真空装置40柔性衔接，衔接方便，可靠性高，且波纹管的波纹在压力作用下可以相互彼此压缩，便于安装。
85.在本发明的一些实施例中，如图1所示，第一配合件10和第二配合件20的结构可以不相同。第二配合件20设有压具21，压具21与第一配合件10上第一籽晶300对应，压具21与第一籽晶300抵接，且压具21与第一籽晶300的抵接面为光滑的平面，第二配合件20通过压具21与第一籽晶300接触、施压，有利于保证第一籽晶300的表面的抛光，避免在粘贴过程中第一籽晶300的表面发生划痕，确保第一籽晶300的粘贴效果。
86.在第一安装槽11为多个的一些实施例中，如图1所示，压具21可以为多个，多个压具21与多个第一安装位一一对应，多个压具21能够与多个第一石墨盖200上的第一籽晶300接触、施压，有效提高了第一籽晶300的粘贴效率，且保证第一籽晶300的表面的抛光。
87.在一些实施例中，压具21可以为碳化硅件或者石墨件等，能够确保压具21的表面抛光，在压具21与第一籽晶300接触时，能够避免第一籽晶300表面发生划痕，确保第一籽晶300的表面保持高质量的抛光。例如，压具21可以为碳化硅板，或者压具21可以为抛光后的石墨环等。
88.在本发明的一些实施例中，压具21的朝向第一配合件10的表面(例如图1所示的下表面)可以包覆有石墨纸，压具21通过石墨纸与第一籽晶300接触，能够防止对第一籽晶300造成污染，且进一步避免对第一籽晶300的表面造成损伤，有效避免第一籽晶300的表面发生划痕，确保第一籽晶300的表面抛光，第一籽晶300的粘贴效果好。
89.根据本发明的一些实施例，如图1-图3所示，第二配合件20的朝向第一配合件10的表面的外边缘可以设有密封圈22，密封圈22用于密封第二配合件20和第一配合件10之间的间隙，确保第二配合件20与第一配合件10之间密封可靠，以限定出密闭的空腔30，确保籽晶粘贴装置100具有较好的密封性能，避免外部空气从第二配合件20与第一配合件10之间进
入空腔30内，确保抽真空装置40向空腔30施加负压更可靠，有利于提高抽真空装置40对空腔30施加负压的效果，有效避免能源损耗。此外，在第二配合件20与第一配合件10连接时，密封圈22能够发生变形，使得第二配合件20与第一配合件10连接的相对位置更可靠，便于保证第一籽晶300的受力均匀。
90.在一些实施例中，如图1-图5所示，第一配合件10的朝向第二配合件20的表面的外边缘也可以设有密封圈22，通过第二配合件20的密封圈22与第一配合件10的密封圈22相配合，能够进一步确保第二配合件20与第一配合件10连接可靠，保证第二配合件20与第一配合件10的密封效果更好。
91.在本发明的一些实施例中，如图7所示，籽晶粘贴装置100还包括锁紧组件80，锁紧组件80设置于第一配合件10和第二配合件20的外边缘，可以用于连接并固定第二配合件20与第一配合件10，确保第二配合件20与第一配合件10连接可靠，保证第二配合件20与第一配合件10之间的相对位置准确，第二配合件20与第一配合件10不易发生错位，确保第一籽晶300受压均匀，保证第一籽晶300的粘贴效果好。
92.在本发明的实施例中，锁紧组件80的具体结构可以根据实际情况设置。例如，锁紧组件80可以为螺栓等。
93.例如，在一些实施例中，如图1-图5、图7所示，第一配合件10的外周壁可以设有第一凸缘14，第二配合件20的外周壁可以设有第二凸缘23，锁紧组件80包括两个锁紧件81，两个锁紧件81的开口相对，每个锁紧件81的内壁均具有锁紧槽811，第一凸缘14和第二凸缘23均位于锁紧槽811内，通过两个锁紧槽811对第一凸缘14和第二凸缘23进行定位，能够确保第二配合件20与第一配合件10的位置准确，保证第二配合件20与第一配合件10之间的相对位置可靠，不易发生错位。同时，两个锁紧件81长度方向(例如图7所示的前后方向)的两端分别通过紧固件82连接，能够对两个锁紧件81进行连接固定，从而对第一凸缘14和第二凸缘23的位置进行固定，确保第二配合件20与第一配合件10连接可靠，相对位置准确，避免第二配合件20与第一配合件10之间发生错位，保证第一籽晶300的粘贴效果好。例如，紧固件82可以为螺钉、螺栓等。
94.根据本发明的一些实施例，如图6所示，第一籽晶300和第一石墨盖200之间可以设有石墨纸400，石墨纸400能够防止第一籽晶300和第一石墨盖200之间的第一胶黏层从第一石墨盖200中渗出，且通过石墨纸400能够避免第一籽晶300造成污染与损伤，确保第一籽晶300的粘贴效果好。
95.在一些实施例中，石墨纸400与第一石墨盖200粘贴连接，能够确保第一籽晶300、石墨纸400与第一石墨盖200的连接效果好，避免发生分离，从而确保第一籽晶300的粘贴可靠性。
96.在本发明的实施例中，第二配合件20与第一配合件10的外周壁的具体结构可以根据实际情况设置。例如，第二配合件20与第一配合件10的外周壁可以为圆形、四边形、六边形等。
97.例如，在第一安装位为多个的一些实施例中，如图5所示，第二配合件20与第一配合件10的外周壁可以形成为方形，第一安装位可以设于方形的对角线处；或者，如图3-图4所示，第二配合件20与第一配合件10的外周壁可以形成为圆形，多个第一安装位沿空腔30的周向方向均匀设置，圆形的第二配合件20与第一配合件10便于第一安装位进行设置，使
得第二配合件20与第一配合件10的利用率更高。
98.在一些实施例中，如图1与图2所示，抽真空装置40可以包括控制组件41，通过控制组件41可以对抽真空装置40进行启动和关闭，确保控制可靠，便于对空腔30内的压力进行控制。
99.根据本发明实施例的籽晶粘贴装置100的粘贴方法，籽晶粘贴装置100为根据本发明上述实施例的籽晶粘贴装置100。粘贴方法可以包括：
100.将第二配合件20和第一配合件10分离；
101.将第一籽晶300粘贴于第一石墨盖200上，便于确保第一籽晶300与第一石墨盖200的相对位置，确保第一籽晶300进一步粘贴时位置准确；
102.将第一石墨盖200固设于第一配合件10，换言之，第一石墨盖200可以直接放置于第一配合件10上，或者第一石墨盖200可以设于第一配合件10的第一安装槽11内以固定在第一配合件10上，或者第一石墨盖200可以与第一配合件10的第一安装槽11通过螺纹连接固定在第一配合件10上等，确保第一石墨盖200稳固安装在第一配合件10上，第一石墨盖200不易发生移动；
103.将第二配合件20和第一配合件10紧固连接，换言之，第二配合件20和第一配合件10可以通过锁紧组件80等进行连接，确保第二配合件20和第一配合件10连接可靠，保证第二配合件20和第一配合件10的相对位置可靠；
104.启动抽真空装置40，使抽真空装置40可以向空腔30施加负压，由此，空腔30内形成为负压区，使得第二配合件20可以朝向第一配合件10移动，通过第二配合件20与第一配合件10的距离减小，可以使第一石墨盖200与第一籽晶300在第一胶黏层的粘接下紧密连接，确保第一籽晶300与第一石墨盖200粘贴可靠，且第二配合件20可以均匀施加压力，确保第一籽晶300与第一石墨盖200受压均匀，不易受局部应力的影响，解决了相关技术中粘贴籽晶时受压不均匀的问题，避免造成第一籽晶300与第一石墨盖200错位与宏观缺陷的情况，确保较好的平整度，有效改善第一籽晶300的生长质量。
105.在籽晶粘贴装置100包括第一加热装置60的一些实施例中，粘贴方法还包括：
106.当施加压力保持一段时间后，开启第一加热装置60，同时保持一定压力，完成第一籽晶300的固化，确保第一籽晶300与第一石墨盖200连接可靠，能够实现第一籽晶300粘贴、固化和烧结过程的连续性，有利于提高第一籽晶300的粘贴效率。
107.在第一配合件20上设有第一通道12的一些实施例中，第一籽晶300可以通过第一加热装置60的烧结和抽真空装置40向第一石墨盖200和第一籽晶300之间施加负压，使得第一籽晶300与第一石墨盖200之间的气孔可以被排除，有利于后续高质量的长晶过程。
108.根据本发明实施例的籽晶粘贴装置100的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。
109.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
110.在本说明书的描述中，参考术语“实施例”、“具体实施例”、“示例”等的描述意指结
合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
111.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。