一种晶圆台蓝膜张紧方法及调整机构与流程

1.本发明涉及smt电子元器件生产技术领域，特别涉及一种晶圆台蓝膜张紧方法及调整机构。


背景技术：

2.在晶圆整体封装过程中，在整片的晶圆片的背面贴上蓝膜，后续需要对蓝膜进行处理，使蓝膜扩张。蓝膜扩张完毕后，还需旋转晶圆。因此需要一种能够使晶圆台既能旋转又能扩张的结构，现有技术中一般使用大型导轨，做上下移动的限位。但大型导轨的使用使晶圆台侧面加工不易，精度不容易保持；并且导轨的平行校正复杂，整体旋转与升降装置结构复杂，安装困难。


技术实现要素：

3.本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆台蓝膜张紧方法及调整机构。
4.为实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：一种晶圆台蓝膜张紧调整机构，所述调整机构包括底板、设置在底板上方的转盘、设置在底板内的调整块、连接底板以及转盘的导轮、设置在转盘上方的张紧座、与张紧座可拆卸连接的晶圆夹组件、环绕在转盘外侧的同步带、以及设置在所述底板上的晶圆台旋转驱动组件、张紧轮组件、传感器组件、拉伸弹簧、张紧驱动组件、传感器推送组件和总光电开关；所述拉伸弹簧连接所述传感器推送组件和张紧驱动组件；所述同步带依次缠绕过晶圆台旋转驱动组件、张紧轮组件、传感器组件、张紧驱动组件、传感器推送组件和总光电开关。
5.较佳的，所述转盘上设有挡圈、同步轮、弹性锁紧组件以及圆弧轨道；所述转盘呈“工”字形；所述挡圈设置在所述转盘的上下两侧；所述同步轮可旋转设置在所述转盘的中部；所述弹性锁紧组件设置在所述转盘的一端上；所述圆弧轨道设置在所述转盘的内侧。
6.较佳的，所述晶圆夹组件包括晶圆夹张紧螺栓、基座、压环、圆环到位检测片以及限位检测片；所述基座的下部上还设有杠杆机构；所述圆环到位检测片设置在所述杠杆机构上；所述限位检测片设置在所述圆环到位检测片的后端上；所述晶圆夹张紧螺栓设置在所述基座的下端上；所述压环设置在所述基座的上端面上。
7.较佳的，所述传感器组件包括传感器支架、气缸、固定板、连接板以及上光电开关、下光电开关和检测光电开关组成；所述气缸的底面与所述传感器支架固定连接；所述气缸的活塞杆与所述连接板固定连接；所述连接板通过螺钉可拆卸连接在所述固定板的右端面上；所述上光电开关、下光电开关和检测光电开关可拆卸连接在所述固定板的左端面上。
8.较佳的，所述传感器推送组件包括微动开关、底座、轴承、直线轴承、推杆以及推送连接板；所述推杆和所述气缸的活塞杆与所述推送连接板连接；所述微动开关设置在所述底座的前端；所述轴承与推杆连接在一起。
9.较佳的，所述张紧驱动组件上设有支架、连接轴、圆锥齿轮、推顶块以及锁紧钩；所
述圆锥齿轮设有两个，两个圆锥齿轮相互垂直设置在所述支架内；所述锁紧钩设置在所述支架的前端；所述推顶块设置在所述支架的上端；所述张紧驱动组件上还设有第二检测光电开关；；所述第二检测光电开关设置在所述张紧驱动组件的前端。
10.较佳的，所述张紧座上设有主动轮组件、锁紧套、卡扣、惰轮组件、从动轮组件以及张紧座底座；所述卡扣卡在弹性锁紧组件的弹性柱上；所述同步轮的上表面定位销与张紧座底座下部定位槽配合；所述主动轮组件上设有齿轮。
11.一种晶圆台蓝膜张紧方法，具体步骤下：s1：启动驱动组件上的电机，使得晶圆台启动旋转，同时总光电开关处于被遮挡输出信号状态；s2：将晶圆台旋转至预定角度；s3：传感器组件上的气缸伸出，将上光电开关、下光电开关以及检测光电开关推送至检测位置，此时检测光电开关处于遮挡输出信号状态；s4：推顶组件上的气缸缩回，将张紧驱动组件推出，使锁紧钩锁住锁紧套，将晶圆台锁定，此时张紧驱动组件上的齿轮与主动轮组件上的齿轮啮合；s5：电机继续旋转，晶圆夹组件向下运动张紧蓝膜，电机旋转预定转数，使蓝膜张紧到位；s6：推顶组件上的气缸伸出，拉伸弹簧将张紧驱动组件拉回原位；当微动开关闭合输出信号，说明张紧驱动组件已被拉回原位；传感器组件上的气缸缩回；s7：系统根据视觉系统反馈的晶圆角度偏差，电机再次启动晶圆台旋转补偿晶圆角度偏差，以达到精确的位置。
12.与现有技术相比，本发明的有益效果为：1、本发明实现全自动张紧蓝膜和晶圆角度调整。
13.2、本发明设有检测光电开关检测晶圆环是否安放到位，避免晶圆环安放位置不正确造成蓝膜张紧时损坏晶圆。
14.3、本发明设有上下光电开关检测晶圆夹的上限和下限，避免过度张紧蓝膜损坏晶圆。
15.4、本发明设有微动开关避免张紧驱动组件在未回位的情况下，晶圆台旋转补偿晶圆角度偏差时造成晶圆台的损坏。
16.5、张紧座由卡扣将张紧座固定在转盘上，更换张紧座更方便。
附图说明
17.图1为本发明整体结构示意图；图2为本发明中转盘的结构示意图；图3为本发明中晶圆夹组件的结构示意图；图4为本发明中传感器组件的结构示意图；图5为本发明中用来推送张紧驱动组件的安装示意图；图6为本发明中张紧驱动组件的结构示意图；图7为本发明中张紧座的结构示意图。
具体实施方式
18.为使对本发明的目的、构造、特征、及其功能有进一步的了解，兹配合实施例详细说明如下。
19.请结合参照图1，本发明提供了一种晶圆台蓝膜张紧调整机构，所述调整机构包括底板1、设置在底板上方的转盘2、设置在底板内的调整块3、连接底板1以及转盘2的导轮4、设置在转盘2上方的张紧座5、与张紧座5可拆卸连接的晶圆夹组件6、环绕在转盘2外侧的同步带7、以及设置在所述底板1上的晶圆台旋转驱动组件8、张紧轮组件9、传感器组件10、拉伸弹簧11、张紧驱动组件12、传感器推送组件13和总光电开关14；所述拉伸弹簧11连接所述传感器推送组件13和张紧驱动组件12；所述同步带7依次缠绕过晶圆台旋转驱动组件8、张紧轮组件9、传感器组件10、张紧驱动组件12、传感器推送组件14和总光电开关16。
20.较佳的，所述转盘2上设有挡圈2-1、同步轮2-2、弹性锁紧组件2-3以及圆弧轨道2-4；所述转盘2呈“工”字形；所述挡圈2-1设置在所述转盘2的上下两侧；所述同步轮2-2可旋转设置在所述转盘2的中部；所述弹性锁紧组件2-3设置在所述转盘2的一端上；所述圆弧轨道2-4设置在所述转盘2的内侧。
21.同步轮2-2上表面设有中心定位凸缘和定位销，用于固定以及定位。张紧轮组件9圆周方向均匀分布固定在底板1上，其中有两个张紧轮组件9固定在调整块3上，调整块3固定在底板1上；转盘2上的圆弧轨道2-4 的v型导轨面与导轮4上的导轮v型圆弧槽啮合；移动调整块3的位置可以使导轮4与圆弧轨道2-4 的v型导轨面紧密啮合，避免出现脱轨的情况。
22.较佳的，所述晶圆夹组件6包括晶圆夹张紧螺栓6-1、基座6-2、压环6-3、圆环到位检测片6-4以及限位检测片6-5；所述基座6-2的下部上还设有杠杆机构6-6；所述圆环到位检测片6-4设置在所述杠杆机构6-6上；所述限位检测片6-5设置在所述圆环到位检测片6-4的后端上；所述晶圆夹张紧螺栓6-1设置在所述基座6-2的下端上；所述压环6-3设置在所述基座6-2的上端面上。
23.其中晶圆环到位检测片6-4以及杠杆机构6-6均设有多组，每一组晶圆环到位检测片6-4分别安装在杠杆机构6-6上，当晶圆环安放到位，晶圆环到位检测片6-4会被杠杆机构6-6抬起到预设的位置。
24.晶圆夹组件6与张紧座5连接；晶圆夹组件6上的设置的多个张紧螺栓6-1分别与张紧座5上四个从动轮组件5-5的转轴螺纹孔配合。
25.较佳的，所述传感器组件10包括传感器支架10-1、气缸10-2、固定板10-3、连接板10-7以及上光电开关10-4、下光电开关10-5和检测光电开关10-6组成；所述气缸10-2的底面与所述传感器支架10-1固定连接；所述气缸10-2的活塞杆与所述连接板10-7固定连接；所述连接板10-7通过螺钉可拆卸连接在所述固定板10-3的右端面上；所述上光电开关10-4、下光电开关10-5和检测光电开关10-6可拆卸连接在所述固定板10-3的左端面上。
26.通过上光电开关10-4和下光电开关10-5分别检测晶圆夹组件6的上限和下限位置；通过检测光电开关10-6用于检测晶圆环是否安放到位，避免在安装的过程中，晶圆环的安装发生偏差。
27.较佳的，所述传感器推送组件13包括微动开关13-1、底座13-3、轴承13-2、直线轴承13-4、推杆13-5以及推送连接板13-6；所述推杆和所述气缸10-2的活塞杆与所述推送连接板13-6连接；所述微动开关13-1设置在所述底座13-3的前端；所述轴承13-2与推杆13-5
连接在一起。
28.较佳的，所述张紧驱动组件12上设有支架12-1、连接轴12-2、圆锥齿轮12-3、推顶块12-4以及锁紧钩12-5；所述圆锥齿轮12-3设有两个，两个圆锥齿轮12-3相互垂直设置在所述支架12-1内；所述锁紧钩12-5设置在所述支架12-1的前端；所述推顶块12-4设置在所述支架12-1的上端；所述张紧驱动组件12上还设有第二检测光电开关12-6；所述第二检测光电开关12-6设置在所述张紧驱动组件12的前端。
29.通过相互垂直设置圆锥齿轮12-3可以改变力和力矩的传递方向,同时能够产生侧压力抵消传入轴上由于圆锥轴承等元件产生的轴向力；使轴受力平衡,运行起来更加平稳；同时，通过锁紧钩12-5可以锁住锁紧套5-2，将晶圆台锁定；通过第二检测光电开关12-6与检测光电开关10-6两个的组合，确保晶圆安放在晶圆夹组件6的正确位置上，避免蓝膜张紧时损坏晶圆同时也会导致张紧机械装置的损坏；进一步的，第二检测光电开关12-6还具备检测张紧驱动组件12是否被推送到位的功能。
30.较佳的，所述张紧座5上设有主动轮组件5-1、锁紧套5-2、卡扣5-3、惰轮组件5-4、从动轮组件5-5以及张紧座底座5-6；所述卡扣5-3卡在弹性锁紧组件2-3的弹性柱上；所述同步轮2-2的上表面定位销与张紧座底座5-6下部定位槽配合；所述主动轮组件5-1上设有齿轮。
31.通过设置张紧座5，由卡扣5-3将张紧座5固定在转盘上，使得在更换张紧座5的时候更方便。
32.一种晶圆台蓝膜张紧方法，具体步骤下：s1：启动驱动组件上的电机，使得晶圆台启动旋转，同时总光电开关处于被遮挡输出信号状态；s2：将晶圆台旋转至预定角度；s3：传感器组件上的气缸伸出，将上光电开关、下光电开关以及检测光电开关推送至检测位置，此时检测光电开关处于遮挡输出信号状态；s4：推顶组件上的气缸缩回，将张紧驱动组件推出，使锁紧钩锁住锁紧套，将晶圆台锁定，此时张紧驱动组件上的齿轮与主动轮组件上的齿轮啮合；s5：电机继续旋转，晶圆夹组件向下运动张紧蓝膜，电机旋转预定转数，使蓝膜张紧到位；s6：推顶组件上的气缸伸出，拉伸弹簧将张紧驱动组件拉回原位；当微动开关闭合输出信号，说明张紧驱动组件已被拉回原位；传感器组件上的气缸缩回；s7：系统根据视觉系统反馈的晶圆角度偏差，电机再次启动晶圆台旋转补偿晶圆角度偏差，以达到精确的位置。
33.本发明已由上述相关实施例加以描述，然而上述实施例仅为实施本发明的范例。必需指出的是，已揭露的实施例并未限制本发明的范围。相反地，在不脱离本发明的精神和范围内所作的更动与润饰，均属本发明的专利保护范围。