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一种自动喷嘴清洗及检查管理系统的制作方法

2022-06-18 03:23:10 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型属于喷嘴清洗领域,尤其涉及一种自动喷嘴清洗及检查管理系统。


背景技术:

2.需要精确工艺的半导体或电子、电装等工艺,通常利用通过喷嘴的真空吸附方法来输送半导体芯片。
3.由于反复使用喷嘴,在其真空吸附喷嘴内部残存灰尘等异物,从而真空吸附变得不稳定,因此,用于上述工艺的喷嘴需要通过清洗液喷射的方法清洗喷嘴。
4.但是传统的喷嘴在清洗过后,需要人工对其清洗程度进行检测,从而导致了生产效率降低的问题。


技术实现要素:

5.本实用新型实施例的目的在于提供一种自动喷嘴清洗及检查管理系统,旨在解决传统的喷嘴在清洗过后,需要人工对其清洗程度进行检测,从而导致了生产效率降低的问题。
6.本实用新型实施例是这样实现的,一种自动喷嘴清洗及检查管理系统,包括机箱,所述机箱中设有直行轨道,所述直行轨道上间隔设有多个喷嘴放置盘,所述喷嘴放置盘与直行轨道滑动连接,且机箱中还沿喷嘴放置盘输送方向依次设有清洗室和检查室,所述清洗室中设有正对直行轨道设置的喷洗座,所述检查室中设有洁净检查模块,所述洁净检查模块通过返工模块与清洗模块连接,所述返工模块包括清洗返工轨道和清洗液压推杆,所述清洗返工轨道与喷嘴放置盘滑动连接,且清洗返工轨道的两端分别与检查室和清洗室连接,所述清洗返工轨道分别位于直行轨道一侧,且直行轨道远离清洗返工轨道的一侧设有清洗液压推杆,所述清洗液压推杆正对直行轨道与清洗返工轨道的连接处设置,所述清洗液压推杆与返工模块连接。
7.优选地,所述机箱中设有干燥室和中转室,所述干燥室和中转室依次设置,且位于清洗室和检查室之间,所述干燥室中设有干燥模块,所述检查室还设有干燥检查模块,所述洁净检查模块和干燥检查模块沿喷嘴放置盘输送方向依次设置,所述干燥检查模块通过返工模块与干燥模块连接,所述返工模块包括干燥返工轨道和干燥液压推杆,所述干燥返工轨道和清洗返工轨道半径相同,且干燥返工轨道与喷嘴放置盘滑动连接,所述干燥返工轨道的两端分别与检查室和干燥出风罩连接,所述干燥返工轨道和清洗返工轨道分别位于直行轨道两侧,且直行轨道在远离干燥返工轨道的一侧设有干燥液压推杆,所述干燥液压推杆正对直行轨道与干燥返工轨道的连接处设置,所述干燥液压推杆与返工模块连接。
8.优选地,还包括输送模块,所述输送模块包括同步带、同步轮和转轴,所述同步带设置在直行轨道底部,且同步带的两端分别与同步轮连接,两个所述同步轮分别与转轴转动连接。
9.优选地,所述同步带上间隔设有多个连接模块,所述连接模块包括连接限位杆、连
接座、弹簧和限位球,所述连接座与同步带的外壁固接,所述连接限位杆与喷嘴放置盘的底部固接,所述连接限位杆远离喷嘴放置盘的一端穿过直行轨道的滑槽插设到连接座中,所述连接座两端内壁均设有限位球,两个所述限位球相互远离的一侧分别通过弹簧与限位球连接,两个所述限位球之间的最小间距小于连接限位杆长度,两个所述限位球之间的最大间距大于连接限位杆长度。
10.优选地,所述返工模块还包括干燥返工摇杆和清洗返工摇杆,所述干燥返工摇杆和清洗返工摇杆的长度与清洗返工轨道和干燥返工轨道的半径相同,所述干燥返工摇杆和清洗返工摇杆的一端分别位于干燥返工轨道和清洗返工轨道的圆心处,另一端顶部均设有连接座,当位于初始位置时,两个所述连接座分别位于直行轨道与清洗返工轨道和直行轨道与干燥返工轨道的连接处。
11.1、本实用新型实施例提供的返工模块与洁净检查模块配合,能够在洁净度检查不合格时,将装有不合格喷嘴本体的喷嘴放置盘返送至清洗模块处,从而保证了最后送出的喷嘴放置盘中的喷嘴本体是干净的,解决了传统的喷嘴在清洗过后,需要人工对其清洗程度进行检测,从而导致了生产效率降低的问题。
12.2、本实用新型实施例提供的连接模块能够将同步带与喷嘴放置盘可拆卸连接,通过插抽的方式进行装拆,而且设置的限位球的位置,还能便于在检查到不合格时,液压推杆将喷嘴放置盘推入到清洗返工轨道或者干燥返工轨道中。
附图说明
13.图1为本实用新型实施例提供的一种自动喷嘴清洗及检查管理系统的剖视图;
14.图2为本实用新型实施例提供的一种自动喷嘴清洗及检查管理系统的第一中局部三维图;
15.图3为本实用新型实施例提供的一种自动喷嘴清洗及检查管理系统的第二中局部三维图;
16.图4为本实用新型实施例提供的一种自动喷嘴清洗及检查管理系统的第三中局部三维图;
17.图5为图1中a处局部放大图。
18.附图中:1、直行轨道;2、门帘;3、喷洗座;4、清洗室;5、干燥室;6、干燥出风罩;7、中转室;8、洁净检测器;9、检查室;10、干燥检测器;11、喷嘴放置盘;12、连接座;13、同步轮;14、同步带;15、干燥返工摇杆;16、清洗返工摇杆;17、清洗返工轨道;18、干燥返工轨道;19、液压杆;20、转轴;21、连接限位杆;22、限位球;23、弹簧;24、机箱;25、喷嘴本体。
具体实施方式
19.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
20.以下结合具体实施例对本实用新型的具体实现进行详细描述。
21.如图1-5所示,为本实用新型的一个实施例提供的一种自动喷嘴清洗及检查管理系统,包括机箱24,所述机箱24中设有直行轨道1,所述直行轨道1上间隔设有多个喷嘴放置
盘11,所述喷嘴放置盘11与直行轨道1滑动连接,且机箱24中还沿喷嘴放置盘11输送方向依次设有清洗室4和检查室9,所述清洗室4中设有正对直行轨道1设置的喷洗座3,所述检查室9中设有洁净检查模块,所述洁净检查模块通过返工模块与清洗模块连接,所述返工模块包括清洗返工轨道17和清洗液压推杆,所述清洗返工轨道17与喷嘴放置盘11滑动连接,且清洗返工轨道17的两端分别与检查室9和清洗室4连接,所述清洗返工轨道17分别位于直行轨道1一侧,且直行轨道1远离清洗返工轨道17的一侧设有清洗液压推杆,所述清洗液压推杆正对直行轨道1与清洗返工轨道17的连接处设置,所述清洗液压推杆与返工模块连接。
22.在本实施例中,所述机箱24中设有干燥室5和中转室7,所述干燥室5和中转室7依次设置,且位于清洗室4和检查室9之间,所述干燥室5中设有干燥模块,所述检查室9还设有干燥检查模块,所述洁净检查模块和干燥检查模块沿喷嘴放置盘11输送方向依次设置,所述干燥检查模块通过返工模块与干燥模块连接,所述返工模块包括干燥返工轨道18和干燥液压推杆,所述干燥返工轨道18和清洗返工轨道17半径相同,且干燥返工轨道18与喷嘴放置盘11滑动连接,所述干燥返工轨道18的两端分别与检查室9和干燥出风罩6连接,所述干燥返工轨道18和清洗返工轨道17分别位于直行轨道1两侧,且直行轨道1在远离干燥返工轨道18的一侧设有干燥液压推杆,所述干燥液压推杆正对直行轨道1与干燥返工轨道18的连接处设置,所述干燥液压推杆与返工模块连接。
23.在本实施例中,所述清洗液压推杆和干燥液压推杆均为液压杆19。
24.在本实施例中,所述清洗室4、干燥室5、中转室7和检查室9的两端均有门帘2。
25.在本实用新型的一个实施例中,所述洁净检查模块包括设置在检查室9顶部的干燥检测器10,所述干燥检查模块包括设置在检查室9顶部的洁净检测器8,所述洁净检测器8和干燥检测器10分别为现有技术中的红外检测镜头和湿度感应器,且所述洁净检测器8和干燥检测器10分别与清洗液压推杆和干燥液压推杆电性连接。
26.在本实用新型的一个实施例中,所述清洗模块包括喷洗座3,用于对清洗室4中的喷嘴放置盘11上的喷嘴本体25进行清洗;所述干燥模块包括设置在检查室9顶部的干燥出风罩6,所述干燥出风罩6用于对干燥室5中的直行轨道1上的喷嘴本体25进行干燥,所述喷洗座3和干燥出风罩6均为现有技术。
27.工作原理:随着喷嘴放置盘11在直行轨道1上的滑动,当喷嘴放置盘11先来到清洗室4中,通过喷洗座3对喷嘴放置盘11上的喷嘴本体25进行清洗,在清洗结束后,喷嘴放置盘11运动到干燥室5中,通过干燥出风罩6进行干燥,干燥后的喷嘴放置盘11依次通过中转室7至检查室9中,先通过洁净检测器8对其洁净程度进行检查,当洁净检查不合格时,通过清洗液压推杆抵住该处的喷嘴放置盘11至清洗返工轨道17中,然后通过清洗返工轨道17输送至清洗室4中,进行再次清洗的工作,当洁净检查合格时,喷嘴放置盘11来到干燥检测器10底部,通过干燥检测器10对干燥的程度进行检查,当干燥检查不合格时,通过干燥液压推杆抵住该处的喷嘴放置盘11至干燥返工轨道18中,然后通过干燥返工轨道18输送至干燥室5中,进行再次干燥的工作。
28.如图1-4所示,作为本实用新型的一种优选实施例,还包括输送模块,所述输送模块包括同步带14、同步轮13和转轴20,所述同步带14设置在直行轨道1底部,且同步带14的两端分别与同步轮13连接,两个所述同步轮13分别与转轴20转动连接,其中一个所述同步轮13通过电机驱动转动。
29.如图1和图3-5所示,作为本实用新型的一种优选实施例,所述同步带14上间隔设有多个连接模块,所述连接模块包括连接限位杆21、连接座12、弹簧23和限位球22,所述连接座12与同步带14的外壁固接,所述连接限位杆21与喷嘴放置盘11的底部固接,所述连接限位杆21远离喷嘴放置盘11的一端穿过直行轨道1的滑槽插设到连接座12中,所述连接座12两端内壁均设有限位球22,两个所述限位球22相互远离的一侧分别通过弹簧23与限位球22连接,两个所述限位球22之间的最小间距小于连接限位杆21长度,两个所述限位球22之间的最大间距大于连接限位杆21长度。
30.在本实施例的一种情况中,所述返工模块还包括干燥返工摇杆15和清洗返工摇杆16,所述干燥返工摇杆15和清洗返工摇杆16的长度与清洗返工轨道17和干燥返工轨道18的半径相同,所述干燥返工摇杆15和清洗返工摇杆16的一端分别位于干燥返工轨道18和清洗返工轨道17的圆心处,另一端顶部均设有连接座12,当位于初始位置时,两个所述连接座12分别位于直行轨道1与清洗返工轨道17和直行轨道1与干燥返工轨道18的连接处。
31.在本实施例的另一种情况中,先将需要清洗的喷嘴本体25放置到喷嘴放置盘11的放置槽中,然后将连接限位杆21通过喷嘴放置盘11的滑槽插入到连接座12中,在插入的过程中会通过两个限位球22压缩弹簧23,当插入到位后,两个限位球22因为弹簧23的作用分别抵住连接限位杆21两侧的限位槽,从而实现对连接限位杆21的限位作用,因为限位球22为连接限位杆21的两端,从而便于清洗液压推杆和干燥液压推杆将喷嘴放置盘11和连接限位杆21抵住至清洗返工摇杆16和干燥返工摇杆15上的连接座12中,当需要返工时,通过电机驱动干燥返工摇杆15或者清洗返工摇杆16摆动,从而能够实现将清洗返工轨道17或者干燥返工轨道18中的喷嘴放置盘11送至清洗室4或者干燥室5中。
32.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
再多了解一些

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