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一种芯片冲洗装置的制作方法

2021-11-22 22:35:00 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型属于芯片技术领域,具体涉及一种芯片冲洗装置。


背景技术:

2.芯片或称集成电路、微电路、微芯片,在电学中是一种把电路小型化的方式,并通常制造在半导体晶圆表面上。芯片以体积小、重量轻、引出线和焊接点少、寿命长、可靠性高、性能好、成本低且便于大规模生产等优点,使其不仅在工、民用电子设备等方面得到广泛的应用,同时在军事、通讯、遥控等方面也得到广泛的应用。用芯片来装配电子设备,其装配密度比晶体管可提高几十倍至几千倍,设备的稳定工作时间也可大大提高。
3.芯片在生产过程中,芯片表面常存在颗粒物、有机残留物、无机残留物等污染物,需要用去离子水经过冲洗,达到一定的洁净度,现有技术中,芯片冲洗后常人工采用毛刷进行刷洗,费时费力且清洗效率较低,同时清洗力度和洁净度无法保证。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的是提供一种芯片冲洗装置,采用机械化操作,提高冲洗效率且通过相同的清洗力度保证芯片的冲洗质量。
5.本实用新型提供了如下的技术方案:
6.一种芯片冲洗装置,包括基座,所述基座两侧垂直且相对设有侧板,所述侧板间平行于基座设有底板,所述侧板间设有冲洗机构和刷洗机构,所述冲洗机构包括安置板、积液槽、冲洗电机和至少一个空气缸,所述安置板包括多个呈矩阵排列的安置槽,所述安置槽两侧均设有橡胶环且橡胶环上等距设有多个导液孔,所述导液孔与安置槽连通,所述安置槽内穿插且平行设有穿插杆组,所述穿插杆组连接有连接杆,所述连接杆两侧分别连接一个空气缸,所述连接杆一端连接冲洗电机;所述刷洗机构包括至少一个底杆、至少一个支撑杆、驱动块、驱动组、减速箱和刷洗电机,所述底杆相对侧设有毛刷,所述驱动块间设有滑槽,所述驱动组一端连接驱动块且另一端连接减速箱,所述减速箱连接刷洗电机,所述底板上且位于刷洗电机相对侧设有控制器,所述冲洗电机、刷洗电机和空气缸均电性连接控制器。
7.优先地,所述支撑杆垂直设于底杆上,所述驱动组包括立板、驱动环、滑动块、转轴、驱动杆和侧滑块,所述立板靠近驱动块一侧设有凸块,所述驱动环设于凸块外侧,所述驱动环外侧设有固定块,所述固定块上设有凹槽,所述转轴一端连接减速箱且转轴另一端穿过立板,所述驱动杆一端连接凸块偏离圆心处且连接转轴另一端,所述驱动杆另一端连接滑动块,所述侧滑块设于滑动块上远离驱动杆一端且侧滑块插入滑槽内。
8.优先地,所述底板上设有升降台,所述减速箱和刷洗电机均设于升降台上。
9.优先地,所述空气缸分设于两侧的侧板上,所述空气缸下连接有真空吸盘,两端的连接杆上且与空气缸同竖直轴线上设有漏槽,所述真空吸盘设于漏槽内,所述连接杆靠近冲洗电机一侧设有角度传感器,所述角度传感器电性连接控制器。
10.优先地,两侧的侧板内均设有通槽,所述通槽靠近基座一端设有接近传感器,所述接近传感器电性连接控制器,所述连接杆插入两侧的通槽内。
11.优先地,所述积液槽靠近连接杆两侧设有容纳槽,所述容纳槽宽度大于连接杆直径。
12.优先地,所述容纳槽底部至积液槽底部的距离大于安置板宽度的二分之一,所述积液槽长度大于安置板长度。
13.本实用新型的有益效果是:
14.1.芯片卡设于安置槽内,并由两侧的橡胶环限位,冲洗时,空气缸通过连接杆推动安置板和芯片下移,连接杆与接近传感器接触时停止,积液槽内填充有去离子水或纯水,刷洗电机驱动连接杆携带安置板和芯片转动,去离子水或纯水通过安置槽和导液孔对芯片进行冲洗,保证芯片的洁净度;
15.2.芯片冲洗后,驱动电机通过角度传感器使安置板转动,使安置板与底座垂直,刷洗电机通过转轴带动驱动杆转动,驱动杆带动滑动块在凹槽内滑动,滑动块带动侧滑块在滑槽内滑动并带动驱动块竖直移动,驱动块带动支撑杆、底杆和毛刷移动,毛刷设于安置板两侧且竖直移动过程中对芯片进行刷洗,刷洗力度相同且保证冲洗质量。
附图说明
16.附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
17.图1是本实用新型的连接示意图;
18.图2是本实用新型的安置板俯视连接示意图;
19.图3是本实用新型的安置板侧视连接示意图;
20.图4是本实用新型的驱动组连接示意图;
21.图5是本实用新型的积液槽侧视连接示意图。
22.图中标记为:1.基座,2.侧板,21.底板,211.升降台,22.通槽,221.接近传感器,3.冲洗机构,31.安置板,311.安置槽,312.橡胶环,313.导液孔,314.穿插杆组,315.连接杆,316.角度传感器,32.积液槽,321.容纳槽,33.冲洗电机,34.空气缸,341.真空吸盘,4.刷洗机构,41.底杆,411.毛刷,42.支撑杆,43.驱动块,431.滑槽,44.减速箱,45.刷洗电机,5.驱动组,51.立板,511.凸块,52.驱动环,521.固定块,522.凹槽,53.滑动块,54.转轴,55.驱动杆,56.侧滑块,6.控制器。
具体实施方式
23.如图1所示,一种芯片冲洗装置,包括基座1,基座1两侧垂直且相对设有侧板2,侧板2间平行于基座1设有底板21,侧板2间设有冲洗机构3和刷洗机构4。
24.如图1、图2、图3和图5所示,冲洗机构3包括安置板31、积液槽32、冲洗电机33和至少一个空气缸34,安置板31包括多个呈矩阵排列的安置槽311,安置槽311两侧均设有橡胶环312且橡胶环312上等距设有多个导液孔313,导液孔313与安置槽311连通,安置槽311内穿插且平行设有穿插杆组314,穿插杆组314连接有连接杆315,连接杆315两侧分别连接一个空气缸34,连接杆315一端连接冲洗电机33,空气缸34分设于两侧的侧板2上,空气缸34下
连接有真空吸盘341,两端的连接杆315上且与空气缸34同竖直轴线上设有漏槽,真空吸盘341设于漏槽内,连接杆315靠近冲洗电机33一侧设有角度传感器316,角度传感器316电性连接控制器6,两侧的侧板2内均设有通槽22,通槽22靠近基座1一端设有接近传感器221,接近传感器221电性连接控制器6,连接杆315插入两侧的通槽22内,积液槽32靠近连接杆315两侧设有容纳槽321,容纳槽321宽度大于连接杆315直径,容纳槽321底部至积液槽32底部的距离大于安置板31宽度的二分之一,积液槽32长度大于安置板31长度;芯片卡设于安置槽311内,并由两侧的橡胶环312限位,冲洗时,空气缸34通过连接杆315推动安置板31和芯片下移,连接杆315与接近传感器221接触时停止,积液槽32内填充有去离子水或纯水,刷洗电机45驱动连接杆315携带安置板31和芯片转动,去离子水或纯水通过安置槽311和导液孔313对芯片进行冲洗,保证芯片的洁净度。
25.如图1和图4所示,刷洗机构4包括至少一个底杆41、至少一个支撑杆42、驱动块43、驱动组5、减速箱44和刷洗电机45,底杆41相对侧设有毛刷411,驱动块43间设有滑槽431,驱动组5一端连接驱动块43且另一端连接减速箱44,减速箱44连接刷洗电机45,底板21上且位于刷洗电机45相对侧设有控制器6,冲洗电机33、刷洗电机45和空气缸34均电性连接控制器6,支撑杆42垂直设于底杆41上,驱动组5包括立板51、驱动环52、滑动块53、转轴54、驱动杆55和侧滑块56,立板51靠近驱动块43一侧设有凸块511,驱动环52设于凸块511外侧,驱动环52外侧设有固定块521,固定块521上设有凹槽522,转轴54一端连接减速箱44且转轴54另一端穿过立板51,驱动杆55一端连接凸块511偏离圆心处且连接转轴54另一端,驱动杆55另一端连接滑动块53,侧滑块56设于滑动块53上远离驱动杆55一端且侧滑块56插入滑槽431内,底板21上设有升降台211,减速箱44和刷洗电机45均设于升降台211上;芯片冲洗后,驱动电机通过角度传感器316使安置板31转动,使安置板31与底座垂直,刷洗电机45通过转轴54带动驱动杆55转动,驱动杆55带动滑动块53在凹槽522内滑动,滑动块53带动侧滑块56在滑槽431内滑动并带动驱动块43竖直移动,驱动块43带动支撑杆42、底杆41和毛刷411移动,毛刷411设于安置板31两侧且竖直移动过程中对芯片进行刷洗,刷洗力度相同且保证冲洗质量。
26.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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