采用可转动触点对中机构的制作方法

1.本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体为采用可转动触点对中机构。


背景技术：

2.专利公开号为“cn112635380a”，名称为“晶圆对中装置”的发明专利中公开了一种晶圆对中装置，其包括：沿着预定方向间隔布置的第一对中调整构件和第二对中调整构件、分别形成于所述第一对中调整构件和所述第二对中调整构件的调整部和所述第一对中调整构件所包括的所述调整部和所述第二对中调整构件所包括的所述调整部分别对应形成的调整组；但是上述结构中存在如下缺陷：
3.定位晶圆中心点时需要调整构件触碰晶圆来限制其位移方向，如果没有相应的触点保护，则调整构件触碰晶圆时，容易造成晶圆损坏；而常用的软触点虽可在不伤害晶圆的前提下对中，但由于塑料的弹性变形也无法精确保证其圆心位置，对于半导体行业要求的这种高精密设备，其对中效果不是很好，因此我们需要提出采用可转动触点对中机构。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供采用可转动触点对中机构，通过陶瓷轴承形成可转动的触点，避免了晶圆圆心位置由于受微小径向力而移动的情况，也保护了晶圆不受伤害，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：采用可转动触点对中机构，包括：沿着预定方向滑动设置的第一对中调整构件和第二对中调整构件；调整部，分别形成于所述第一对中调整构件和所述第二对中调整构件；
6.所述调整部设置有多组，所述第一对中调整构件上的调整部和第二对中调整构件上的调整部分别对应，以形成调整组，所述调整部沿内侧壁转动设置有多组陶瓷轴承。
7.优选的，多组所述调整部形成为阶梯形状，所述调整部的内侧壁设置为弧形。
8.优选的，所述调整部的内侧壁上等距开设有安装槽，所述陶瓷轴承对应设置于安装槽内，且陶瓷轴承的一侧伸出安装槽形成触点。
9.优选的，所述采用可转动触点对中机构还包括第一驱动机构，所述第一对中调整构件和第二对中调整构件设置于第一驱动机构上。
10.优选的，所述第一驱动机构设置为双向伸缩气缸，所述第一对中调整构件和第二对中调整构件分别设置于双向伸缩气缸的两组活塞杆上。
11.优选的，所述双向伸缩气缸的两组活塞杆上均固定安装有连接杆，所述连接杆的一端可拆卸安装有装配座，所述第一对中调整构件和第二对中调整构件分别安装于两组装配座上。
12.优选的，所述采用可转动触点对中机构还包括：第二驱动机构，所述第二驱动机构活动端的活动方向与调整部所在平面呈垂直设置，所述第二驱动机构活动端连接有吸附构件，所述吸附构件设置于第一对中调整构件和第二对中调整构件之间。
13.优选的，所述第二驱动机构设置为单向气缸，所述单向气缸的活塞杆一端固定安装有延伸杆，所述延伸杆的一端可拆卸安装有承载板，所述吸附构件固定安装于承载板上。
14.优选的，所述吸附构件设置为真空吸盘，所述真空吸盘的上端面设置有定位靶线。
15.优选的，所述采用可转动触点对中机构还包括基台，所述第一驱动机构和第二驱动机构均固定安装于基台上。
16.优选的，所述连接杆(9)与装配座(10)之间通过螺栓固定连接。
17.优选的，所述延伸杆(7)与承载板(11)之间通过螺栓固定连接。
18.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
19.本实用新型通过调整部沿内侧壁转动设置有多组陶瓷轴承的设计，使得第一对中调整构件和第二对中调整构件对晶圆夹持时，靠近晶圆偏离部分时，晶圆会产生一个切向力从而使陶瓷轴承发生转动，同时使晶圆发生相对运动靠近圆心，最终当整个动作完成后真空吸盘将与晶圆中心重合，通过采用的陶瓷轴承可转动触点是硬性对中，避免了晶圆圆心位置由于受微小径向力而移动的情况，也保护了晶圆不受伤害。
附图说明
20.图1为本实用新型的结构示意图；
21.图2为本实用新型装配座的示意图。
22.图中：1、基台；2、双向伸缩气缸；3、第一对中调整构件；4、第二对中调整构件；5、吸附构件；6、单向气缸；7、延伸杆；8、陶瓷轴承；9、连接杆；10、装配座；11、承载板。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：采用可转动触点对中机构，包括基台1，基台1的上表面可以形成为平面，用作安装面以安装本实施例中的其它零件；
25.基台1上固定安装有第一驱动机构，第一对中调整构件3和第二对中调整构件4设置于第一驱动机构上，第一对中调整构件3和第二对中调整构件4沿着预定方向滑动设置；
26.第一对中调整构件3和第二对中调整构件4上分别形成有调整部；调整部设置有多组，第一对中调整构件3上的调整部和第二对中调整构件4上的调整部分别对应，以形成调整组；
27.在使用时，两组相对的调整部形成的调整组相对运动，用于触碰晶圆的外侧，以使晶圆的外侧均匀受力，使得晶圆受力向调整组的中心位置靠近，从而进行对中；
28.调整部沿内侧壁转动设置有多组陶瓷轴承8，具体的调整部的内侧壁上等距开设有安装槽，陶瓷轴承8对应设置于安装槽内，且陶瓷轴承8的一侧伸出安装槽形成触点。
29.多组调整部形成为阶梯形状，从而位于同一水平高度的第一对中调整构件3上的调整部和第二对中调整构件4上的调整部对应形成调整组；
30.在实际使用时，由于晶圆为圆形，因此将调整部的内侧壁设置为弧形，以适应晶圆
的外侧；
31.在本实用新型的一个实施例中，第一驱动机构设置为双向伸缩气缸2，第一对中调整构件3和第二对中调整构件4分别设置于双向伸缩气缸2的两组活塞杆上；在实际使用时也可以采用电动推杆或电动滑台来带动第一对中调整构件3和第二对中调整构件4滑动；
32.具体的，双向伸缩气缸2的两组活塞杆上均固定安装有连接杆9，连接杆9的一端可拆卸安装有装配座10，第一对中调整构件3和第二对中调整构件4分别安装于两组装配座10上；
33.连接杆9与装配座10采用螺栓连接，从而便于拆卸更换，便于日常维修保养；
34.基台1上固定安装有第二驱动机构，第二驱动机构活动端的活动方向与调整部所在平面呈垂直设置，第二驱动机构活动端连接有吸附构件5，吸附构件5设置于第一对中调整构件3和第二对中调整构件4之间；
35.在本实用新型的一个实施例中，第二驱动机构设置为单向气缸6，单向气缸6的活塞杆一端固定安装有延伸杆7，延伸杆7的一端可拆卸安装有承载板11，吸附构件5固定安装于承载板11上；
36.具体的，延伸杆7与承载板11采用螺栓连接，从而便于拆卸更换，便于日常维修保养；
37.在本实用新型的一个实施例中，吸附构件5设置为真空吸盘，真空吸盘的上端面设置有定位靶线，定位靶线便于观测定位。
38.使用时，初始状态如图1所示，当晶圆放置在真空吸盘上时，双向伸缩气缸2带动第一对中调整构件3和第二对中调整构件4相对运动，当第一对中调整构件3和第二对中调整构件4接触晶圆后，由于陶瓷轴承8的受力方向均指向夹具中心，当晶圆放置位置不在中心时，在晶圆偏离部分会产生一个切向力使陶瓷轴承8发生转动，同时使晶圆发生相对运动靠近圆心，最终当整个动作完成后真空吸盘将与晶圆中心重合，通过采用的陶瓷轴承8可转动触点是硬性对中，避免了晶圆圆心位置由于受微小径向力而移动的情况，也保护了晶圆不受伤害。
39.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。