带有碳基涂层的织物基材及其制造方法与流程

技术特征：
1.一种用于在织物基材上产生碳基涂层的方法，所述方法包括包含以下的阶段：
·
提供织物基材；
·
提供线性空心阴极类型的第一等离子体源，所述第一等离子体源包括连接到ac、dc或脉冲dc发生器的至少一对空心阴极等离子体生成电极，用于将所述碳基涂层沉积在所述织物基材上；
·
以每延米所述第一等离子体源的等离子体1500与4500sccm之间的流量将第一等离子体生成气体注入所述第一等离子体源的电极中；
·
向所述第一等离子体源施加第一电力，使得所述等离子体的第一功率密度在每延米所述第一等离子体源的等离子体4kw与15kw之间；
·
以每延米所述第一等离子体源的等离子体100与500sccm之间的流量注入碳的气态前体，所述气态前体被注入到至少在所述第一等离子体源的每个电极对的所述电极之间的等离子体中；
·
通过将所述织物基材暴露于所述第一等离子体源的所述等离子体将碳基涂层沉积在所述织物基材的表面上。2.根据权利要求1所述的用于在织物基材上产生碳基涂层的方法，所述方法进一步包括包含以下的阶段：
·
提供线性空心阴极类型的第二等离子体源，所述第二等离子体源包括连接到ac、dc或脉冲dc发生器的至少一对空心阴极等离子体生成电极，用于所述织物基材的表面活化；
·
以每延米所述第二等离子体源1500与4500sccm之间的流量将第二等离子体生成气体注入所述第二等离子体源的电极中；
·
向所述第二等离子体源供应第二电力，使得所述等离子体的第二功率密度在每延米所述第二等离子体源的等离子体10kw与20kw之间，以及
·
通过将所述织物基材暴露于所述第二等离子体源的所述等离子体来活化所述织物基材的表面，然后通过将所述织物基材暴露于所述第二等离子体源的所述等离子体将所述碳基涂层沉积在所述织物基材的表面上。3.根据任一项前述权利要求所述的用于在织物基材上产生碳基涂层的方法，其特征在于，所述碳前体气体选自ch4、c2h4、c2h2、c3h8和c4h
10
。4.根据任一项前述权利要求所述的用于在织物基材上产生碳基涂层的方法，其特征在于，在所述第一等离子体源的每个电极对的所述电极之间注入掺杂剂前体气体。5.根据权利要求4所述的用于在织物基材上产生碳基涂层的方法，其特征在于，掺杂剂前体气体选自含有w、ti、si、o、n、b的气体。6.根据权利要求4所述的用于在织物基材上产生碳基涂层的方法，其特征在于，掺杂剂前体气体选自sih4、1,1,3,3,-四甲基二硅氧烷(tmdso)或六甲基二硅氧烷(hmdso)。7.根据任一项前述权利要求所述的用于在织物基材上产生碳基涂层的方法，其特征在于，所述第二等离子体生成气体包括o2或o2和ar的混合物。8.根据任一项前述权利要求所述的用于在织物基材上产生碳基涂层的方法，其特征在于，所述第二等离子体生成气体包括he、ar或he和ar的混合物。9.根据权利要求8所述的用于在织物基材上产生碳基涂层的方法，其特征在于，所述第二等离子体生成气体包括具有包括在10与0.5之间、有利地在8与2之间、有利地在7与4之
间、有利地在4.5与5.5之间的he/ar原子比的he和ar的混合物。10.根据权利要求2至9中任一项所述的用于在织物基材上产生碳基涂层的方法，其特征在于，将所述织物基材在一段时间期间暴露于所述第二等离子体源的所述等离子体，所述时间有利地包括在4与12s之间，有利地包括在5与10s之间，有利地6与8s之间。11.根据任一项前述权利要求所述的用于在织物基材上产生碳基涂层的方法，其特征在于，所述第一等离子体生成气体流量与所述气态碳前体流量的比率为至少5，优选地包括在5与30之间，优选地在6与10之间。12.根据任一项前述权利要求所述的用于在织物基材上产生碳基涂层的方法，其中，所述织物基材的温度最高为40℃。13.一种在其表面中的至少一个上包含碳基涂层的织物基材，其特征在于，所述织物基材选自织造织物和非织造织物，并且在于，所述织物包含天然纤维和合成纤维中的一种或两种，其特征进一步在于，所述碳基涂层包含50原子％与100原子％之间的c，并且在于，所述碳基涂层中碳的杂化比sp3/(sp3 sp2)包括在5％与80％之间，优选地在10％与70％之间，更优选地在30％与60％之间。14.根据权利要求13所述的织物基材，其特征在于，所述碳基涂层包含一种或多种选自w、ti、si、o、n和b的掺杂剂，并且在于，原子掺杂剂/碳的比率包括在1原子％与20原子％之间。15.根据权利要求13至14中任一项所述的织物基材，其特征在于，所述碳基涂层的厚度包括在2与1500nm之间，优选地在20与800nm之间，最优选地在30与600nm之间。

技术总结
本发明涉及带有碳基涂层的织物基材并且涉及用于将疏水性碳基涂层沉积在织物基材上的空心阴极等离子体增强化学气相沉积方法。在某些实施例中，本发明在织物基材上提供了耐磨疏水性碳基涂层。疏水性碳基涂层。疏水性碳基涂层。


技术研发人员：G
受保护的技术使用者：旭硝子欧洲玻璃公司
技术研发日：2020.09.23
技术公布日：2022/6/10