膨胀阀的制作方法

1.本发明涉及一种能够进行流量控制的膨胀阀。


背景技术：

2.以往，空调等冷却装置具备由压缩机、冷凝器、蒸发器、膨胀机构成的制冷循环，通过设置于冷凝器与蒸发器之间的膨胀机进行减压，以使从冷凝器输出的液化的被密封流体即制冷剂容易蒸发，在该膨胀机中使用能够进行流量控制的膨胀阀。
3.例如，在专利文献1的膨胀阀中，其具备：主体部，其具有阀室和阀座；阀芯，其能够相对于阀座进退移动；有底圆筒状的壳体，其固定于主体部；励磁部，其配置于壳体的外侧；转子，其转动自如地支承于壳体的内侧，并被励磁部转动驱动；以及进退机构，其将转子的转动动作转换为直线动作以使阀芯进退移动。该进退机构具备：丝杠轴，其能够在随着转子的转动而转动的同时在轴向上进退移动；以及杆状的阀轴，其具有阀芯，其中，阀轴从动于丝杠轴的进退移动，阀芯与阀座接触或分离，由此能够调节阀开度。另外，进退机构配置在由阀芯和主体部上架设的波纹管和壳体密封的空间内，因此能够防止因粉尘、水分等从机外侧或者机内侧侵入而引起的误动作。
4.现有技术文献
5.专利文献
6.专利文献1：日本特开2006-226369号公报(第3～5页、图1)


技术实现要素：

7.发明要解决的课题
8.然而，在专利文献1的膨胀阀中，由于波纹管为波纹状，其表面积较大，因此，当波纹管因流入到阀室内的高温的制冷剂而受热时，密封空间内的气体的热膨胀阻碍波纹管的收缩，固定在该波纹管上的阀芯不移动与转子的转动量相称的量，有可能无法调节为所希望的阀开度。
9.本发明是着眼于这样的问题点而完成的，其目的在于提供一种能够高精度地调节阀开度的膨胀阀。
10.用于解决课题的手段
11.为了解决上述课题，本发明的膨胀阀具备：
12.主体部，其具有阀室和阀座；阀芯，其能够相对于所述阀座进退移动；壳体，其固定于所述主体部；励磁部；转子，其被所述励磁部转动驱动；以及进退机构，其将所述转子的转动动作转换为直线动作以使所述阀芯进退移动，
13.其中，在所述阀室中配置有波纹管，该波纹管外装在所述阀芯上并伴随该阀芯的进退移动而伸缩，
14.所述波纹管与所述阀芯之间的空间处于真空状态。
15.由此，由于波纹管与阀芯之间的空间处于真空状态，因此即使被密封流体处于高
温，在波纹管与阀芯之间也不易发生气体的热膨胀，并且由于波纹管不易受到被密封流体的影响，因此能够稳定地调节为所希望的阀开度。
16.也可以是，所述壳体以密封状态固定于所述主体部，
17.所述进退机构具有减速单元，该减速单元配置在所述壳体内，能够使所述阀芯相对于所述转子的转动速度的移动速度减速，
18.所述壳体内的空间与所述波纹管与所述阀芯之间的空间连通。
19.由此，由于配置有减速单元的壳体内的空间处于真空状态，所以减速单元不易受到壳体外部的热量的影响，因此能够在较宽的温度范围内使用。
20.也可以是，所述波纹管的一端以密封状态固定于所述阀芯，在所述波纹管的另一端以密封状态固定有固定环，该固定环通过密封部件以密封状态嵌装在所述主体部上形成的环状凹部中。
21.由此，通过将波纹管、阀芯、固定环单元化，并且使密封部件介入以将固定环嵌装在主体部的环状凹部中，不仅容易组装，而且容易使波纹管与阀芯之间的空间成为真空状态。
22.也可以是，所述固定环具有延伸设置部，该延伸设置部向所述波纹管的外径侧延伸设置。
23.由此，由于流入阀室的被密封流体的压力比处于真空状态的波纹管与阀芯之间的空间的压力相对高，因此能够通过作用于延伸设置部的被密封流体的压力来限制固定环向拔出方向移动。
24.也可以是，所述进退机构具备：丝杠轴，其具有外螺纹部；以及阀轴，其具有能够与该丝杠轴的外螺纹部螺合的内螺纹部和所述阀芯，其中，在所述进退机构中形成有一空间，该空间形成有供所述外螺纹部拧入的所述内螺纹部。
25.由此，不仅能够简化进退机构的结构，而且由于波纹管与阀芯之间的空间处于真空状态，所以即使由于丝杠轴与阀轴相对地进退动作而外螺纹部与内螺纹部之间的空间的容积发生变化，也不易产生气体的移动、压力变化，因此能够提高阀开度的调节的精度。
26.另外，本发明中的真空状态是指由日本工业标准(jisz8126)定义的“由比通常的大气压低的压力的气体充满的空间的状态”。
附图说明
27.图1是表示本发明的实施例1中的膨胀阀的剖视图；
28.图2是表示减速单元的俯视图；
29.图3是表示行星架和行星齿轮的剖视立体图；
30.图4是表示阀室周边的结构的放大剖视图；
31.图5是表示波纹管和固定环的图；
32.图6是表示丝杠轴和阀轴的动作的放大剖视图；
33.图7是表示本发明的实施例2中的膨胀阀的剖视图。
具体实施方式
34.以下，根据实施例对用于实施本发明的膨胀阀的方式进行说明。
35.实施例1
36.参照图1至图6对实施例1的膨胀阀进行说明。
37.图1所示的膨胀阀1在本实施例中作为构成制冷循环的膨胀阀被采用，通过在一次端口p1与二次端口p2之间调节阀开度，来进行作为被密封流体的制冷剂的流量控制。
38.如图1所示，膨胀阀1主要由作为励磁部的励磁机构2、壳体3、具有阀室15和阀座12b的主体部6、转子13以及进退机构c构成，进退机构c由减速单元7、丝杠轴8、作为阀芯的阀轴9、以及波纹管10构成。
39.励磁机构2主要由具备线圈的定子21和内装定子21的树脂制的模制件20构成。定子21具有引线21a，通过经由引线21a对线圈通电而被励磁。
40.模制件20由合成树脂形成为有底筒状并通过嵌件成型而将定子21一体化，壳体3、基础体4、减速单元7和转子13收纳于其内侧。
41.接着，对壳体3进行说明。壳体3由非磁性的金属形成为有底筒状，具有向外侧(图1中的纸面上方)圆弧化的底部3a和从底部3a的外径侧端部沿轴向延伸设置的环状壁部3b，在底部3a的中央部形成有向外侧凹陷的凹部3c。
42.接着，对构成主体部6的基础体4和外壳5进行说明。基础体4具有以下部分：圆筒部4a，其向模制件20侧开放；圆筒部4b，其向外壳5侧开放；承接部4c，其形成在模制件20侧的圆筒部4a与外壳5侧的圆筒部4b之间；以及环状的凸条4d，其在圆筒部4b的外周面上形成，承接部4c分别构成圆筒部4a、4b的底部。
43.在模制件20侧的圆筒部4a的内周面上遍及周向地形成有凹槽44。外壳5侧的圆筒部4b在延长方向的中央部具有向外径侧突出的大径部41。
44.承接部4c具有从中央部向阀室15内突出的筒状的凸条19(参照图4)，在凸条19上形成有沿轴向延伸的孔部40和向外壳5侧和外径方向开口的凹部43(参照图4)。孔部40具备：丝杠轴插入部40a，其具有比丝杠轴8的主干部8b的外径稍大的内径；以及阀轴插入部40b，其在比丝杠轴插入部40a靠外壳5侧具有比阀轴9的外径稍大的内径。
45.在基础体4中，在模制件20侧的圆筒部4a上外装有壳体3，壳体3的开口侧的端面以抵接的状态焊接于凸条4d，由此基础体4与壳体3之间以密封的状态连接。由此，作为壳体内的空间的壳体内空间m1以密封的状态形成。另外，关于基础体4与壳体3的密封，不限于焊接，也可以通过介入或压接密封部件来进行。
46.另外，在基础体4中，圆筒部4b的大径部41插入模制件20的开口侧的端部中，通过配置在大径部41的外周上形成的环状的槽部内的o型圈50将圆筒部4b与模制件20之间以密封的状态连接。
47.接着，对外壳5进行说明。外壳5具有一次端口p1、二次端口p2、以及与一次端口p1和二次端口p2连通且向外侧开放的中空部5a，中空部5a构成开放侧(纸面上方侧)形成得内径较大的台阶状的开口部5b，在一次端口p1侧形成有内径形成得较小的凹状的台阶部5c(参照图4)。
48.在台阶部5c上以密封状固定有节流部件12。节流部件12为具有沿阀轴9的轴心方向贯通的贯通孔12a的圆筒状，节流部件12的贯通孔12a的上端成为阀座12b。贯通孔12a的内径形成为比外壳5的一次端口p1的内径小。
49.主体部6构成为，在外壳5的开口部中5b插入基础体4的圆筒部4b的前端部，通过配
置在该圆筒部4b的前端部的外周上形成的环状的槽部内的o型圈49将壳体5与圆筒部4b之间以密封的状态连接。
50.另外，在主体部6中，由外壳5的中空部5a、基础体4的圆筒部4b和承接部4c划分出与一次端口p1和二次端口p2连通的阀室15，在阀室15中，由基础体4的凸条19的外周面19a、外壳5侧的圆筒部4b的内周面40c和承接部4c的底面42构成环状凹部30(参照图4)。
51.另外，在外壳5上，形成为向下l字形的保持金属件22的保持片外嵌于向模制件20的外侧突出的圆柱状的凸部，在从该凸部的端部抵接于沿外径方向延伸设置的端面的状态下，与保持金属件22的保持片大致正交地延伸设置的垂下片通过螺栓23紧固固定于外壳5。由此，能够防止励磁机构2、壳体3和基础体4从外壳5脱落、相对于外壳5倾动。
52.接着，对转子13进行说明。转子13形成为向基础体4侧开口的有底圆筒形状，并具有：圆筒状的环状壁部13a；圆盘状的底部13b，其与环状壁部13a的纸面上端大致正交；转动轴部13c，其在底部13b的中心部与环状壁部13a同轴地延伸设置；以及大径部13d，其形成于转动轴部13c的根部侧，在转动轴部13c的外周面上形成有构成太阳齿轮的齿轮部(参照图2)。
53.在转子13的转动轴部13c中插通固定有轴16，在轴16的一端部转动自如地保持于壳体3的凹部3c的状态下，环状壁部13a配置在壳体3的环状壁部3b与基础体4的模制件20侧的圆筒部4a之间。
54.另外，转子13的环状壁部13a成为永磁铁，通过定子21的励磁而转动，更详细而言，转子13和定子21构成所谓的步进电机。
55.接着，对进退机构c进行说明。减速单元7由转子13的太阳齿轮、行星架53、行星齿轮52、固定齿圈55和转动齿圈56构成，并能够使转动轴部13c的转动速度减速并传递给丝杠轴8。
56.如图3所示，行星架53通过由金属成型为圆盘状的盖圆盘53a、与盖圆盘53a平行地对置的圆盘状的支承圆盘53c、以及两端分别固定于这些盖圆盘53a和支承圆盘53c的三根支柱53b进行了单元化，并以被转子13的大径部13d的端面和基础体4的承接部4c夹持的方式保持(参照图1)。
57.在盖圆盘53a的中央部形成有能够供转子13的转动轴部13c插通的孔部53d。另外，在盖圆盘53a和支承圆盘53c的周向上，各支柱53b在盖圆盘53a和支承圆盘53c的周向上三等分地配置，在各支柱53b彼此之间分别配置有行星齿轮52。
58.行星齿轮52是在外周面上具有齿形的柱状体，具有从其长度方向的两端部分别突出的圆柱状的轴部52a，这些轴部52a分别插入盖圆盘53a和支承圆盘53c上形成的轴支承孔53e中，行星齿轮52分别以能够转动的方式轴支承在盖圆盘53a与支承圆盘53c之间。行星齿轮52与转子13的转动轴部13c的外周面上形成的齿轮部啮合。
59.参照图2，固定齿圈55由树脂一体成型为圆筒形状，具有形成于内周面并与行星齿轮52啮合的齿轮部、以及在外周面上遍及周向地向外径方向突出的凸条55a(参照图1)，配置于行星架53和行星齿轮52的外径侧且模制件20侧(参照图1)，并通过未图示的固定单元以不能转动的方式固定于基础体4。
60.如图1所示，固定齿圈55的凸条55a嵌入到基础体4的凹槽44中，由此将固定齿圈55和转动齿圈56保持在基础体4的模制件20侧的圆筒部4a内。
61.转动齿圈56由树脂一体成型为有底圆筒形状，具有配置于行星架53和行星齿轮52的外侧的环状壁部56a、以及与环状壁部56a的纸面下端部正交的圆盘状的底部56b，并配置于行星架53和行星齿轮52的外径侧且丝杠轴8侧。
62.在环状壁部56a的内周面上形成有与行星齿轮52啮合的齿轮部。
63.在底部56b的中心部形成有孔部56c，在孔部56c中插嵌固定有丝杠轴8的头部8a，且插通有以能够转动的方式固定于丝杠轴8的头部8a的轴16。另外，在此虽未图示，但底部56b具有与丝杠轴8的头部8a凹凸卡合的形状，限制与丝杠轴8的相对转动。另外，转动齿圈56和丝杠轴8也可以一体成型。
64.接着，基于图4对丝杠轴8和阀轴9进行说明。丝杠轴8具备头部8a和直径比头部8a大的主干部8b，在主干部8b的外周面上形成有具有螺纹牙的外螺纹部8c。
65.丝杠轴8插通于基础体4的丝杠轴插入部40a和阀轴插入部40b，通过丝杠轴插入部40a的内周面限制向径向的移动、倾动，因此转动稳定。
66.阀轴9形成为其轴长相对于其外径为长条，具备形成于图示上端的螺纹孔9a、在轴向上呈直线状的主干部9b、以及一体地形成于其图示下端的抵接部11，且在螺纹孔9a的内周面上形成有具有螺纹牙的内螺纹部9c。阀轴9插通于基础体4的阀轴插入部40b。
67.抵接部11在丝杠轴8侧具备比主干部9b向外径方向突出的环状的凸缘部11a，并呈从该凸缘部11a朝向前端逐渐变细的形状，贯通孔12a的内径形成为比阀轴9的抵接部11的外径的最小直径大且比阀轴9的抵接部11的外径的最大直径大。因此，成为在抵接部11落座于贯通孔12a的周缘的阀座12b时抵接部11的一部分插入贯通孔12a的内部的结构，并且根据抵接部11向贯通孔12a的插入深度，抵接部11与贯通孔12a之间的间隙即流路截面积会变动，能够进行流量控制。
68.丝杠轴8的外螺纹部8c与阀轴9的内螺纹部9c螺合而将丝杠轴8和阀轴9连接，由外螺纹部8c、内螺纹部9c和阀轴9的底孔划分出空间s。内螺纹部9c相对于外螺纹部8c相对移动，由此形成有供外螺纹部8c拧入的内螺纹部9c的空间s的容积发生变化。
69.另外，阀轴9的图示上端部以被插通于螺纹孔9a的丝杠轴8的主干部8b和插入有主干部9b的阀轴插入部40b的内周面在径向上夹持的方式被引导，因此，用于使抵接部11与阀座12b接触或分离的向直线方向的进退动作稳定。
70.接着，基于图4、图5对波纹管10进行说明。波纹管10是对金属板进行冲压加工而形成为俯视时呈正圆状且多个峰部100相连的波纹状的所谓的成型波纹管，其厚度恒定。
71.波纹管10外装于阀轴9，在长度方向的一端10b，遍及一端10b整周地焊接固定有抵接部11的凸缘部11a，在另一端10a，遍及另一端10a整周地焊接固定有环状的固定环18。另外，关于波纹管10和阀轴9、波纹管10和固定环18的密封，不限于焊接，也可以通过介入或压接密封部件来进行。
72.固定环18具有比波纹管10向外径侧突出的环状的延伸设置部18f(参照图5)和在内周面上形成的、向内径方向突出且沿轴向延伸的凸部18b(参照图4)，在延伸设置部18f上形成有遍及周向地形成的凹槽18a。
73.固定环18插入环状凹部30内，通过配置在凹槽18a内的环状密封单元即o型圈51将固定环18与基础体4之间以密封的状态连接。
74.另外，固定环18在嵌装在环状凹部30中时，凸部18b与基础体4的凹部43相互卡合，
即所谓的键卡合，能够限制基础体4与固定环18的相对转动。
75.由此，作为波纹管10与阀轴9之间的空间的波纹管内空间m2以密封的状态形成，波纹管10作为阀室15与波纹管内空间m2的隔壁发挥作用。
76.波纹管内空间m2通过基础体4的孔部40(参照图4)与壳体内空间m1连通，构成与孔部40和壳体内空间m1一起被密封的作为一个连接的空间的机械室m(参照图1)。另外，机械室m内成为真空状态。另外，在图1、图4、图6中，为了方便，用点状图案表示机械室m内的气体即真空区域。
77.在此，对使机械室m的空间成为真空状态的组装工序进行说明。首先，在室内将壳体3通过焊接以密封状固定于基础体4，将波纹管10的一端10b通过焊接以密封状固定于抵接部11的凸缘部11a，将波纹管10的另一端10a通过焊接以密封状固定于固定环18，并将o型圈51配置于固定环18的凹槽18a。之后，在处于真空状态的真空腔内，使o型圈51介入基础体4的环状凹部30内而嵌装固定环18。由此，例如不需要在真空腔内进行焊接，因此能够简单地使机械室m内成为真空状态。另外，关于使机械室m内成为真空状态的方法，并不限定于如下方法：将壳体3和波纹管10密封固定于基础体4后，使用真空泵将机械室m内的空气从设置在壳体等中的排气口抽真空后，将排气口密封。
78.关于机械室m内的真空状态，在本实施例中，机械室m内的压力是比标准气压即101325pa足够小的1pa，但只要是由日本工业标准(jisz8126)定义的“由比通常的大气压低的压力的气体充满的空间的状态”即可。另外，关于机械室m内的真空状态，也可以根据使用膨胀阀1的环境适当地变化。
79.这样，进退机构c为阀轴9与丝杠轴8直接螺合、通过波纹管10和固定环18限制阀轴9相对于主体部6的相对转动的结构，因此，如图6所示，与丝杠轴8螺合的阀轴9成为不会随着该丝杠轴8的转动动作而转动、而是在轴向上以直线状进行进退移动的结构，能够提高阀开度的调整的响应性。
80.另外，在进退机构c中，转子13的转动速度被减速单元7减速并传递给丝杠轴8，因此能够提高阀开度的调节的精度。
81.如上所述，在本实施例中的膨胀阀1中，由于波纹管10与阀轴9之间的空间处于真空状态，因此即使制冷剂处于高温，在波纹管10与阀轴9之间也不易发生气体的热膨胀，并且由于波纹管10不易受到制冷剂的影响，因此能够稳定地调节为所希望的阀开度。
82.另外，由于机械室m内处于真空状态，配置有减速单元7的壳体内空间m1也处于真空状态，所以壳体3外部的热量不易经由壳体内空间m1内的空气传递至减速单元7，并且减速单元7不易受到壳体3外部的热量的影响，因此能够在较宽的温度范围内使用。
83.另外，由于流入阀室15的制冷剂的压力比处于真空状态的机械室m内的压力相对高，因此能够通过作用于固定环18的延伸设置部18f的制冷剂的压力来限制固定环18向拔出方向移动。
84.而且，不仅是流入阀室15的制冷剂的压力，而且例如在膨胀阀1的组装过程中，在基础体4安装到外壳5之前的状态下，外部的大气压也比处于真空状态的机械室m内的压力相对较高，因此从波纹管10的外侧朝向波纹管内空间m2产生吸引压。通过由该吸引压将固定环18向基础体4吸引，能够限制固定环18向拔出方向移动。
85.此外，参照图4、图6，由于从波纹管10的外侧朝向波纹管内空间m2产生的吸引压，
配置于固定环18的凹槽18a的o型圈51也被吸引，因此不仅能够提高o型圈51相对于基础体4、固定环18的紧贴度，而且能够通过凹槽18a的沿壳体3侧的径向延伸的端面防止o型圈51从固定环18拔出，因此能够保持机械室m内的真空状态。
86.另外，通过使丝杠轴8的外螺纹部8c与阀轴9的内螺纹部9c直接螺合、通过波纹管10和固定环18限制阀轴9相对于主体部6的相对转动这样的简单的结构，不仅能够使阀轴9根据转子13的转动沿轴向进退移动，而且由于机械室m内处于真空状态，所以即使由于丝杠轴8与阀轴9相对地进退动作而外螺纹部8c与内螺纹部9c之间的空间s的容积发生变化，也不易产生气体的移动、压力变化，因此阀开度的调节的精度高。
87.另外，通过将波纹管10的长度方向的两端10a、10b分别固定于基础体4和阀轴9，将机械室m与阀室15之间密封，因此能够防止因粉尘、水分等从机外侧或者机内侧侵入机械室m而引起的误动作。此外，在机械室m中，在各齿轮彼此的啮合部位、轴16等可动部件处使用了润滑剂，但能够通过波纹管10防止润滑剂向制冷剂流动的阀室15侧漏出，不会对冷却效果带来不良影响。
88.另外，波纹管10为金属制，因此相对于扭转应力的刚性高，能够牢固地限制阀轴9相对于主体部6的相对转动。
89.另外，波纹管10通过对金属板进行冲压加工而形成为多个峰部100在轴向上相连的波纹状，其厚度恒定，因此能够遍及波纹管10的长度方向地均匀提高相对于扭转应力的刚性，能够防止局部变形而提高响应性。
90.进一步，由于机械室m内处于真空状态，制冷剂流入阀室15内，因此阀室15内的压力变得比机械室m内的压力相对高，但是遍及波纹管10的刚性长度方向地均匀提高，因此成为容易承受机械室m内与阀室15内的压力差的构造。
91.此外，波纹管10形成为俯视时正圆状，所以容易使沿径向作用于波纹管10的、流入到阀室15内的制冷剂的压力分散，因此成为容易承受机械室m内与阀室15内的压力差的构造。
92.另外，如图4和图5所示，波纹管10的另一端10a和一端10b为使构成峰部100的平坦面100a与固定环18和凸缘部11a面接触并遍及平坦面100a整周地焊接固定的结构，因此能够增大接触面积，并且在外径较大的峰部100确保焊接部较大，从而提高这些波纹管10与固定环18和凸缘部11a的固定强度，波纹管10能够有助于阀轴9的转动限制。
93.另外，阀轴9为如下结构：其外周面插通于基础体4的承接部4c上形成的孔部40，被孔部40中的阀轴插入部40b的内周面引导而进行进退动作，引导抵接部11的结构不配置于阀室15内的抵接部11的周边。因此，能够有效地利用抵接部11周边的空间，并能够提高二次端口p2的配置自由度。此外，通过不在阀室15内设置引导抵接部11的结构，能够确保阀室15的容量，因此也能够将阀室15的径向的尺寸设计得较小。
94.另外，在外壳5的中空部5a中插入基础体4的外壳5侧的圆筒部4b而划分出与一次端口p1和二次端口p2连通的阀室15。由此，能够在确保阀室15的容积的同时，减小从膨胀阀1中的外壳5向外侧突出的尺寸。
95.实施例2
96.接着，参照图7对实施例2中的膨胀阀进行说明。另外，省略与上述实施例1相同结构且重复的说明。
97.如图7所示，在阀轴9的外周面上形成有向减速单元7侧和外径方向开口的凹部45，在基础体4的凸条19的阀轴插入部40b上形成有向内径方向突出的凸部46。阀轴9的凹部45与基础体4的凸部46通过相互卡合来限制基础体4与阀轴9的相对转动。
98.在这样构成基础体4与阀轴9的转动限制的情况下，也可以省略形成于基础体4的凹部43(参照图4)和形成于固定环18的凸部18b(参照图4)。另外，阀轴9与基础体4的凸条19中的转动限制的结构不限于此，例如也可以在凸条19上形成沿径向贯通的孔，使用分别插入该孔和阀轴9的外周面上形成的凹部中的销来进行转动限制。
99.以上，通过附图对本发明的实施例进行了说明，但具体的结构不限于这些实施例，即便有在不脱离本发明主旨的范围内的变更、追加，也包含于本发明中。
100.例如，在上述实施例中，以波纹管内空间m2与壳体内空间m1连通的方式进行了说明，但不限于此，也可以是波纹管内空间m2不与壳体内空间m1连通而波纹管内空间m2内成为真空状态的方式，即使是这样的方式，波纹管也不易受到制冷剂的影响，因此能够稳定地调节为所希望的阀开度。
101.另外，以进退机构c具有减速单元7的方式进行了说明，但不限于此，可以是不具有减速单元7的方式，也可以是在机械室m外具有减速单元7的方式，只要是能够将转子的转动动作转换为直线动作的结构即可。
102.另外，以阀轴9和主体部6为通过使形成于基础体4的凹部43与形成于固定环18的凸部18b卡合而进行转动限制的结构进行了说明，但不限于此，例如也可以为如下结构：将固定环18压入或者通过铆接或焊接固定于主体部6上形成的环状凹部30中，从而使波纹管10为进行阀轴9与主体部6的转动限制的结构。
103.另外，为了确保阀轴9的行程并进行阀轴9的转动限制，波纹管10优选为具有波纹管10的内径的10倍以下的轴向尺寸的比例。
104.另外，也可以通过将固定环18遍及整周地焊接于环状凹部30，而省略形成于固定环18的凹槽18a和o型圈51。同样地，也可以是波纹管10以密封状态与主体部6直接连接的方式。
105.另外，波纹管10并不限于对金属板进行冲压加工而形成为峰和谷交替地相连的波纹状的成型波纹管，也可以是将被波纹压制的盘状的金属板层叠、焊接而构成的焊接波纹管。
106.另外，波纹管10不限于金属制，只要刚性高，则可以是任意的结构。例如也可以将螺旋状的结构件等内置或外装于由合成树脂构成的波纹状的筒状体而构成。在该情况下，优选将螺旋状的结构件焊接固定于基础体4和抵接部11。
107.另外，波纹管10也可以具有向伸长方向施力的按压弹簧等施力单元。如果是这样的结构，则能够通过施力单元减小波纹管10的伸长所需的力。即，波纹管10优选作用有向伸长方向的作用力，而与有无施力单元无关。
108.另外，波纹管10不限于俯视时呈正圆状的方式，例如通过形成为俯视时呈两面相对形状，能够进一步提高相对于扭转应力的刚性。
109.另外，关于减速单元7的结构，只要是使转子13的转动轴部13c的转动减速的结构即可，不限于上述实施例的结构。
110.另外，壳体3、基础体4、转子13等的结构只要是转子13的转动动作经由减速单元7
传递给丝杠轴8的结构即可，不限于上述实施例的结构。
111.另外，不限于丝杠轴8具有外螺纹部8c并且阀轴9具有内螺纹部9c的结构，也可以是丝杠轴8具有内螺纹部并且阀轴9具有外螺纹部。
112.符号说明
113.1：膨胀阀；2：励磁机构(励磁部)；3：壳体；6：主体部；7：减速单元；8：丝杠轴；8c：外螺纹部；9：阀轴(阀芯)；9c：内螺纹部；10：波纹管；10a：另一端；10b：一端；12b：阀座；13：转子；15：阀室；18：固定环；30：环状凹部；c：进退机构；m1：壳体内空间(壳体内的空间)；m2：波纹管内空间(波纹管与阀芯之间的空间)；p1：一次端口；p2：二次端口；s：空间(供外螺纹部拧入的空间)。