兰姆波谐振器及其制作方法与流程

技术特征：
1.一种兰姆波谐振器，其特征在于，包括：一压电材料层；一第一指状电极，设置于所述压电材料层的一侧，该第一指状电极包括一第一主干部与复数个第一分支部；一第二指状电极，设置于所述压电材料层的所述一侧，该第二指状电极包括一第二主干部与复数个第二分支部，其中各所述第一分支部与各所述第二分支部平行且交错排列；至少两个浮置电极，设置于各所述第一分支部和各所述第二分支部之间；以及至少两个间隙，分别设置于各所述浮置电极的两端。2.如权利要求1所述的兰姆波谐振器，其特征在于，各所述第一分支部的宽度相同于各所述浮置电极的宽度。3.如权利要求1所述的兰姆波谐振器，其特征在于，所述至少两个浮置电极包括至少两个第一浮置电极，各该第一浮置电极被设置于所述复数个第一分支部的其中相邻两者之间，且所述至少两个浮置电极的数目为偶数2n，其中n为正整数。4.如权利要求3所述的兰姆波谐振器，其特征在于，所述至少两个浮置电极还包括至少一第二浮置电极，且彼此相邻的各所述第一分支部和所述至少一第二浮置电极之间具有一间距，相邻的各所述第一分支部和各所述第二分支部之间具有一另一间距，所述间距和所述另一间距之间的比例为1:2n 1，其中n为正整数。5.如权利要求1所述的兰姆波谐振器，其特征在于，还包括：一介电层，覆盖所述第一指状电极、所述第二指状电极及所述至少两个浮置电极；以及，至少两个开口，设置于所述介电层中，且对应于各所述间隙而设置。6.如权利要求5所述的兰姆波谐振器，其特征在于，还包括：至少一绝缘区，设置于各所述浮置电极的至少一端且重叠所述至少两个间隙的至少其中之一。7.如权利要求6所述的兰姆波谐振器，其特征在于，还包括：一钝化层，覆盖所述至少一绝缘区，其中部分所述钝化层被暴露于各所述开口。8.如权利要求6所述的兰姆波谐振器，其特征在于，所述至少一绝缘区为一空腔。9.如权利要求6所述的兰姆波谐振器，其特征在于，所述至少两个浮置电极包括至少两个第一浮置电极，且所述至少一绝缘区被设置于各所述第一浮置电极和所述第一主干部之间。10.如权利要求1所述的兰姆波谐振器，其特征在于，所述至少两个浮置电极包括：至少一第一浮置电极；以及，至少一第二浮置电极，设置于各所述第一分支部和各所述第二分支部之间，且相邻于所述至少一第一浮置电极。11.如权利要求10所述的兰姆波谐振器，其特征在于，各所述第二分支部的宽度相同于所述至少一第二浮置电极的宽度。12.如权利要求10所述的兰姆波谐振器，其特征在于，所述至少一第二浮置电极被设置于所述复数个第一分支部的其中相邻两者之间，且所述至少一第二浮置电极的数目为偶数2n，其中n为正整数。
13.如权利要求10所述的兰姆波谐振器，其特征在于，在所述至少一第一浮置电极和相邻于所述至少一第一浮置电极的所述至少一第二浮置电极之间未设置任何的所述第一分支部及所述第二分支部。14.如权利要求10所述的兰姆波谐振器，其特征在于，所述至少一第一浮置电极和所述至少一第二浮置电极成对出现。15.如权利要求10所述的兰姆波谐振器，其特征在于，还包括：一介电层，覆盖所述至少两个浮置电极；至少一第一开口，设置于所述介电层中且对应于所述至少一第一浮置电极的一端而设置；以及，至少一第二开口，设置于所述介电层中且对应于所述至少一第二浮置电极的一端而设置，其中所述第二浮置电极的所述一端远离于所述第一浮置电极的所述一端。16.如权利要求1所述的兰姆波谐振器，其特征在于，还包括一底电极，设置于所述压电材料层的另一侧。17.如权利要求1所述的兰姆波谐振器，其特征在于：所述复数个第一分支部包括至少两个第一分支部，设置于所述压电材料层的一侧；所述复数个第二分支部包括至少一第二分支部，设置于所述压电材料层的所述一侧，且设置于所述复数个第一分支部之间；以及，所述至少两个浮置电极包括至少两个第一浮置电极，设置于所述压电材料层的所述一侧，其中所述至少两个第一浮置电极分别设置于所述至少一第二分支部的两侧，且设置于所述复数个第一分支部之间；其中，彼此相邻的各所述第一浮置电极和各所述第一分支部之间具有一第一间距，相邻的所述第一分支部之间具有一第二间距，所述第一间距和所述第二间距之间的比例为1:2n 1，其中n为正整数。18.如权利要求1所述的兰姆波谐振器，其特征在于，所述复数个第一分支部电连接至一电信号输入端，所述复数个第二分支部电连接至一电信号输出端。19.如权利要求1所述的兰姆波谐振器，其特征在于，所述至少两个浮置电极电绝缘于各所述第一分支部及各所述第二分支部。20.一种兰姆波谐振器的制作方法，其特征在于，包括：提供一压电材料层；形成一第一指状电极于所述压电材料层的一侧，其中该第一指状电极包括复数个第一分支部；形成一介电层，覆盖所述压电材料层及所述复数个第一分支部；形成至少一第一开口于所述介电层中，该至少一第一开口重叠所述复数个第一分支部的部分区域；以及移除重叠于所述至少一第一开口的所述复数个第一分支部的所述部分区域，以形成至少两个第一浮置电极。21.如权利要求20所述的兰姆波谐振器的制作方法，其特征在于，彼此相邻的各所述第一浮置电极和各所述第一分支部之间具有一第一间距，相邻的所述复数个第一分支部之间具有一第二间距，该第一间距和该第二间距之间的比例为1:2n 1，其中n为正整数。
22.如权利要求20所述的兰姆波谐振器的制作方法，其特征在于，在形成所述至少两个第一浮置电极时，同时形成至少两个第一绝缘区，各所述第一绝缘区分别设置于各所述第一浮置电极的一端。23.如权利要求20所述的兰姆波谐振器的制作方法，其特征在于，在形成所述至少两个第一浮置电极时，包括使用镭射熔烧重叠于所述至少一第一开口的所述复数个第一分支部的所述部分区域。

技术总结
本发明公开了一种兰姆波谐振器及其制作方法，该兰姆波谐振器包括：一压电材料层；一第一指状电极，设置于所述压电材料层的一侧，该第一指状电极包括一第一主干部与复数个第一分支部；一第二指状电极，设置于所述压电材料层的所述一侧，该第二指状电极包括一第二主干部与复数个第二分支部，其中各所述第一分支部与各所述第二分支部平行且交错排列；至少两个浮置电极，设置于各所述第一分支部和各所述第二分支部之间；以及至少两个间隙，分别设置于各所述浮置电极的两端。各所述浮置电极的两端。各所述浮置电极的两端。


技术研发人员：张晋瑜 陈延淋 李建辉 杨岱宜 陈永祥
受保护的技术使用者：世界先进积体电路股份有限公司
技术研发日：2020.12.08
技术公布日：2022/6/10