泵腔室结构、真空腔室及真空镀膜机的制作方法

1.本申请涉及真空镀膜机技术领域，特别是一种泵腔室结构、真空腔室及真空镀膜机。


背景技术：

2.在真空镀膜机中，镀膜机的真空腔室包括工作腔室和泵腔室，工作腔室用于镀膜，泵腔室用于安装高抽速真空泵进行抽气，以使工作腔室获得较高的真空度。
3.目前，市面上常见的真空镀膜机的泵腔室是设计于工作腔室的后部，这样的结构设计方面具有一定的成本优势，但是该设计也使得泵腔室设备深度较长，而且工作腔室抽真空时气体往一个抽气口的方向流动，工作腔室内自由粒子自由运动时运动到抽气口的概率降低，影响了抽气速率。


技术实现要素：

4.基于此，有必要针对上述技术缺陷之一，提供一种泵腔室结构、真空腔室及真空镀膜机，以提升真空镀膜机的抽真空的速率和抽气效率。
5.一种泵腔室结构，应用于真空镀膜机，包括：
6.分设在真空腔室的工作腔室外侧的多个泵腔室；其中，各个所述泵腔室分别内置有真空泵；所述真空泵用于同步对工作腔室进行抽真空。
7.在一个实施例中，所述泵腔室包括分设在工作腔室两侧的第一泵腔室和第二泵腔室；其中，所述第一泵腔室和第二泵腔室对称设计。
8.在一个实施例中，所述第一泵腔室内的第一真空泵和第二泵腔室内的第二真空泵分别连接至控制设备，在所述控制设备的控制下进行抽真空。
9.在一个实施例中，所述第一泵腔室和第二泵腔室与所述工作腔室为一体式设计，且分别以固定连接方式安装在所述工作腔室两侧对称的抽气口外部。
10.在一个实施例中，所述第一泵腔室和第二泵腔室为分体式设计，且分别以可拆卸方式安装在所述工作腔室两侧对称的抽气口外部。
11.在一个实施例中，所述真空泵为分子泵。
12.一种真空腔室，包括：工作腔室，以及上述的泵腔室结构。
13.在一个实施例中，所述第一泵腔室和第二泵腔室分别通过焊接方式与所述工作腔室密封连接。
14.在一个实施例中，所述第一泵腔室和第二泵腔室通过螺栓与所述工作腔室密封连接。
15.一种真空镀膜机，包括：上述的真空腔室。
16.本申请的技术方案具有如下有益效果：
17.基于多个泵腔室连接的真空泵同时抽气，提升了抽气口的面积，有效的增加了工作腔室内粒子到达泵室的机率，从而提升高真空状态的抽气速率。
18.利用两侧对称的第一泵腔室和第二泵腔室，同时在两侧进行抽气，使得工作腔室内的气体流动更合理，平衡性更好，进一步提升抽真空的效率。
附图说明
19.图1是一个示例的真空镀膜机结构俯视图；
20.图2是一个示例的真空镀膜机结构立体图；
21.图3是工作腔室立体示意图；
22.图4是泵腔室结构立体图；
23.图5是采用分子泵的真空镀膜机的结构示意图；
24.图6是控制系统结构示意图。
具体实施方式
25.为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
26.参考图1-5所示，图1是一个示例的真空镀膜机结构俯视图，图2是一个示例的真空镀膜机结构立体图，其真空腔室100包括工作腔室10和泵腔室结构20；如图所示其中泵腔室结构20，其包括分设在真空腔室100的工作腔室10外侧的多个泵腔室20；其中，各个泵腔室20分别内置有真空泵21；真空泵21用于同步对工作腔室进行抽真空。优选的，泵腔室20包括分设在工作腔室10两侧的第一泵腔室20a和第二泵腔室20b；其中，第一泵腔室20a和第二泵腔室20b对称设计。
27.如上的技术方案，全新设计的泵腔室结构20缩短了真空镀膜设备的深度，节省了纵向占地面积，更适合于深度受限的场景中使用；而且基于多个泵腔室连接的真空泵同时抽气，提升了抽气口的面积，有效的增加了工作腔室内粒子到达泵室的机率；利用两侧对称的第一泵腔室20a和第二泵腔室20b，同时在两侧进行对称抽气，使得工作腔室内的气体流动更合理，平衡性更好，从而提升高真空状态的抽气速率。
28.在一个实施例中，参考图3和4所示，图3是工作腔室立体示意图，图4是泵腔室结构立体图。第一泵腔室20a和第二泵腔室20b与工作腔室10为一体式设计，且分别以固定连接方式安装在工作腔室10两侧对称的抽气口10a和抽气口10b的外部。优选的，第一泵腔室20a和第二泵腔室20b分别通过焊接方式与工作腔室10密封连接。
29.如上实施例的技术方案，工作腔室与两个泵腔室焊接成一个整体，结构坚固稳定，降低了现场安装难度。
30.在另一个实施例中，第一泵腔室20a和第二泵腔室20b为分体式设计，且分别以可拆卸方式安装在工作腔室10两侧对称的抽气口10a和抽气口10b的外部。优选的，第一泵腔室20a和第二泵腔室20b通过螺栓与工作腔室10密封连接，安装时采用利用密封胶圈进行密封。
31.如上述实施例的方案，分体结构设计的工作腔室10和泵腔室结构20，可以大大的缩小的真空镀膜机的主体部分的尺寸，便于设备的搬运。
32.优选的，真空泵21采用分子泵，参考图5所示，图5是采用分子泵的真空镀膜机的结
构示意图，通过分别在泵腔室20设置的两个对称的分子泵进行抽真空，可以缩短抽气时间，获得清洁真空环境。
33.参考图6所示，图6是控制系统结构示意图，第一泵腔室20a内的第一真空泵21a和第二泵腔室20b内的第二真空泵21b分别连接至控制设备22，在控制设备22的控制下进行抽真空；在抽气过程中，第一泵腔室20a内的第一真空泵21a和第二泵腔室20b内的第二真空泵21b同步进行抽气，利用气体对流，减少了气体运动路径，显著提升抽真空的速率和抽气效率。
34.基于上述实施例，本申请的真空腔室100包括工作腔室10和泵腔室结构20；基于多个泵腔室连接的真空泵同时抽气，提升了抽气口的面积，有效的增加了工作腔室10内粒子到达泵室的机率，利用两侧对称的第一泵腔室20a和第二泵腔室20b，同时在两侧进行对称抽气，使得工作腔室内的气体流动更合理，平衡性更好，从而提升高真空状态的抽气速率。
35.以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。


技术特征：
1.一种泵腔室结构，应用于真空镀膜机，其特征在于，包括：分设在真空腔室的工作腔室外侧的多个泵腔室；其中，各个所述泵腔室分别内置有真空泵；所述真空泵用于同步对工作腔室进行抽真空。2.根据权利要求1所述的泵腔室结构，其特征在于，所述泵腔室包括分设在工作腔室两侧的第一泵腔室和第二泵腔室；其中，所述第一泵腔室和第二泵腔室对称设计。3.根据权利要求2所述的泵腔室结构，其特征在于，所述第一泵腔室内的第一真空泵和第二泵腔室内的第二真空泵分别连接至控制设备，在所述控制设备的控制下进行抽真空。4.根据权利要求2所述的泵腔室结构，其特征在于，所述第一泵腔室和第二泵腔室与所述工作腔室为一体式设计，且分别以固定连接方式安装在所述工作腔室两侧对称的抽气口外部。5.根据权利要求2所述的泵腔室结构，其特征在于，所述第一泵腔室和第二泵腔室为分体式设计，且分别以可拆卸方式安装在所述工作腔室两侧对称的抽气口外部。6.根据权利要求1所述的泵腔室结构，其特征在于，所述真空泵为分子泵。7.一种真空腔室，其特征在于，包括：工作腔室，以及权利要求1-6任一项所述的泵腔室结构。8.根据权利要求7所述的真空腔室，其特征在于，所述第一泵腔室和第二泵腔室分别通过焊接方式与所述工作腔室密封连接。9.根据权利要求7所述的真空腔室，其特征在于，所述第一泵腔室和第二泵腔室通过螺栓与所述工作腔室密封连接。10.一种真空镀膜机，其特征在于，包括：权利要求7-9任一项所述的真空腔室。

技术总结
本申请涉及一种泵腔室结构、真空腔室及真空镀膜机；所述泵腔室结构，应用于真空镀膜机，包括：分设在真空腔室的工作腔室外侧的多个泵腔室；其中，各个所述泵腔室分别内置有真空泵；所述真空泵用于同步对工作腔室进行抽真空；所述泵腔室包括分设在工作腔室两侧的第一泵腔室和第二泵腔室；其中，所述第一泵腔室和第二泵腔室对称设计；该技术方案，基于多个泵腔室连接的真空泵同时抽气，提升了抽气口的面积，有效的增加了工作腔室内粒子到达泵室的机率，从而提升高真空状态的抽气速率。从而提升高真空状态的抽气速率。从而提升高真空状态的抽气速率。


技术研发人员：蒋毅 刘伟基 冀鸣 易洪波 赵刚 李宏盛
受保护的技术使用者：佛山市博顿光电科技有限公司
技术研发日：2022.01.14
技术公布日：2022/6/9