一种具有旁通结构的真空泵

1.本发明涉及一种真空泵，特别涉及一种具有旁通结构的真空泵。


背景技术：

2.在现有的真空泵中，尤其是罗茨真空泵在和螺杆真空泵或爪子真空泵串联成机组运转过程中，在大气压力下，需要螺杆真空泵或爪式真空泵运转一段时间后，再开启罗茨真空泵，使抽气时间延长，降低了真空泵的工作效率。


技术实现要素：

3.针对上述问题，本发明的目的在于提供一种具有旁通结构的真空泵，以解决现有真空泵抽气时间长，工作效率低的问题。
4.为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：
5.一种具有旁通结构的真空泵，包括旁通阀结构、真空泵体及封板，其中旁通阀结构安装在真空泵体一侧的封板内，并且连接在真空泵体的排气腔和进气腔之间；所述旁通阀结构可通过排气腔压力打开，从而将排气腔内的气体返回至进气腔。
6.所述旁通阀结构包括旁通阀体、旁通阀芯、弹簧及旁通阀盖，其中旁通阀体内设有进气通道和阀芯安装孔，其中进气通道的一端与所述排气腔连通，所述旁通阀芯设置于阀芯安装孔内；所述旁通阀盖设置于所述阀芯安装孔的端部，并且与所述旁通阀芯滑动连接；所述弹簧套设于所述旁通阀芯上，并且两端分别与所述旁通阀芯的密封端和所述旁通阀盖抵接；所述旁通阀芯通过弹簧的作用下密封所述进气通道。
7.所述旁通阀芯为t型结构，并且头部为密封端，所述密封端的直径大于所述进气通道的直径。
8.所述旁通阀盖的中心设有与所述旁通阀芯滑动配合的滑槽。
9.所述弹簧为线性弹簧或波形弹簧。
10.所述旁通阀结构靠近所述排气腔设置。
11.本发明的优点及有益效果是：本发明将旁通结构安装在真空泵体和转子一侧的封板中，当旁通结构打开时，气体通过旁通结构由排气口返回到进气口，这样可以在大气压力下同时开启罗茨真空泵，使罗茨真空泵和前级泵(如螺杆真空泵或爪式真空泵)同时连续运转，可以缩短抽气时间，提高工作效率。
附图说明
12.图1为本发明一种具有旁通结构的真空泵的结构示意图；
13.图2为本发明中旁通结构的结构示意图。
14.图中：10为旁通阀结构，11为旁通阀体，12为旁通阀芯，13为弹簧，14为旁通阀盖，20为真空泵体，30为转子，40为封板，m为排气口。
具体实施方式
15.为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述。
16.如图1所示，本发明提供的一种具有旁通结构的真空泵，包括旁通阀结构10、真空泵体20及封板40，其中旁通阀结构10安装在真空泵体20和转子30一侧的封板40内，并且连接在真空泵体20的排气腔和进气腔之间；旁通阀结构10可通过排气腔压力打开，当旁通阀结构10打开时，气体通过旁通阀结构10由排气腔返回至进气腔，以平衡排气腔与进气腔的气压。
17.本发明的实施例中，旁通阀结构10靠近排气腔设置，排气腔的底部设有排气口m。
18.如图2所示，本发明的实施例中，旁通阀结构10包括旁通阀体11、旁通阀芯12、弹簧13及旁通阀盖14，其中旁通阀体11内设有进气通道和阀芯安装孔，其中进气通道的一端与排气腔连通，旁通阀芯12设置于阀芯安装孔内；旁通阀盖14设置于阀芯安装孔的端部，并且与旁通阀体11相对固定。旁通阀芯12的一端与旁通阀盖14滑动连接，弹簧13套设于旁通阀芯12上，并且两端分别与旁通阀芯12的另一端和旁通阀盖14抵接；旁通阀芯12通过弹簧13的作用下密封进气通道。
19.本实施例中，旁通阀芯12为t型结构，并且头部为密封端，密封端的直径大于进气通道的直径，通过密封端与进气通道的端口抵接，实现进气通道的密封。
20.本实施例中，旁通阀盖14为t型结构，且中心设有与旁通阀芯12滑动配合的滑槽。弹簧13为线性弹簧或波形弹簧，还可以是其它形式的弹簧。弹簧13的一端套设于旁通阀盖14的中心凸起上，另一端与旁通阀芯12的密封端抵接。旁通阀结构10关闭状态时，旁通阀芯12的密封端和进气通道端口紧贴在一起，并保持密封状态。
21.本发明提供的一种具有旁通结构的真空泵，使得真空泵在进气口和排气口压差过大时，旁通阀结构10通过气压自动打开，排气口的气体有部分返回到进气口，进而保护了真空泵。弹簧13在工作高度时的力值对应了旁通阀打开/关闭时的压力值。当旁通阀芯12两侧所受的气体压力差大于弹簧此时力值时，弹簧13就会被压缩，旁通阀芯12打开，气体会通过旁通阀进入到真空泵进气口处。
22.本发明在真空泵，尤其指罗茨真空泵中增加了旁通阀体，这样可以在大气压力下同时开启罗茨真空泵，使罗茨真空泵和前级泵(如螺杆真空泵或爪式真空泵)同时连续运转，可以缩短抽气时间。
23.以上所述仅为本发明的实施方式，并非用于限定本发明的保护范围。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进、扩展等，均包含在本发明的保护范围内。


技术特征：
1.一种具有旁通结构的真空泵，其特征在于，包括旁通阀结构(10)、真空泵体(20)及封板(40)，其中旁通阀结构(10)安装在真空泵体(20)一侧的封板(40)内，并且连接在真空泵体(20)的排气腔和进气腔之间；所述旁通阀结构(10)可通过排气腔压力打开，从而将排气腔内的气体返回至进气腔。2.根据权利要求1所述的具有旁通结构的真空泵，其特征在于，所述旁通阀结构(10)包括旁通阀体(11)、旁通阀芯(12)、弹簧(13)及旁通阀盖(14)，其中旁通阀体(11)内设有进气通道和阀芯安装孔，其中进气通道的一端与所述排气腔连通，所述旁通阀芯(12)设置于阀芯安装孔内；所述旁通阀盖(14)设置于所述阀芯安装孔的端部，并且与所述旁通阀芯(12)滑动连接；所述弹簧(13)套设于所述旁通阀芯(12)上，并且两端分别与所述旁通阀芯(12)的密封端和所述旁通阀盖(14)抵接；所述旁通阀芯(12)通过弹簧(13)的作用下密封所述进气通道。3.根据权利要求2所述的具有旁通结构的真空泵，其特征在于，所述旁通阀芯(12)为t型结构，并且头部为密封端，所述密封端的直径大于所述进气通道的直径。4.根据权利要求2所述的具有旁通结构的真空泵，其特征在于，所述旁通阀盖(14)的中心设有与所述旁通阀芯(12)滑动配合的滑槽。5.根据权利要求2所述的具有旁通结构的真空泵，其特征在于，所述弹簧(13)为线性弹簧或波形弹簧。6.根据权利要求2所述的具有旁通结构的真空泵，其特征在于，所述旁通阀结构(10)靠近所述排气腔设置。

技术总结
本发明涉及一种真空泵，特别涉及一种具有旁通结构的真空泵。包括旁通阀结构、真空泵体及封板，其中旁通阀结构安装在真空泵体一侧的封板内，并且连接在真空泵体的排气腔和进气腔之间；旁通阀结构可通过排气腔压力打开，从而将排气腔气体返回至进气腔。本发明将旁通结构安装在真空泵体和转子一侧的封板中，当旁通结构打开时，气体通过旁通结构由排气口返回到进气口，这样可以在大气压力下同时开启罗茨真空泵，使罗茨真空泵和前级泵同时连续运转，可以缩短抽气时间，提高工作效率。提高工作效率。提高工作效率。


技术研发人员：王光玉 孔祥玲 刘志东 刘在行 张佳崎 王璟
受保护的技术使用者：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
技术研发日：2020.12.04
技术公布日：2022/6/7