一种离子注入机辅助工具进行离子源阴极安装校准装置的制作方法

1.本实用新型涉及定位装配技术领域，具体为一种离子注入机辅助工具进行离子源阴极安装校准装置。


背景技术：

2.离子注入是用于将更改电导率的杂质引入或掺杂于半导体硅晶片中的标准ic芯片制造技术。典型的离子注入制程使用高能离子束，将杂质引入半导体硅晶片。
3.在离子注入机的现有设备中，通过定期的预维护，拆卸离子源组件，更换耗损的部件，清洁其它部件。在重新安装过程中所述离子源阴极与灯丝固定夹具之间要保持一个恰当的间隙。常规操作是，在安装离子源阴极之前，用欧姆表测量阴极安装板和灯丝固定夹具之间的电阻，显示为开路，把离子源阴极旋入阴极安装板，直到欧姆表测量的阴极安装板和灯丝固定夹具之间显示为短路。随后反向旋转一个固定的角度，同时确保欧姆表测量的阴极安装板和灯丝固定夹具之间显示为开路。在没有辅助工具的情况下，所述旋转的固定角度无法精确实现。在此情况下，可能缩短所述离子源组件的使用寿命。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种离子注入机辅助工具进行离子源阴极安装校准装置，以解决上述背景技术中所提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种离子注入机辅助工具进行离子源阴极安装校准装置，其特征在于：包括旋转盘、刻度盘、转动轴和轴套，所述轴套顶部设置有底盘，所述底盘顶部中间的位置设置有刻度盘，所述轴套穿过底盘并固定连接有刻度盘，所述刻度盘采用三百六十度刻度，所述刻度盘上方设置有旋转盘，所述旋转盘一侧设置有指针，所述旋转盘顶部连接有转动柱，所述转动柱两侧靠近顶部的位置对称固定连接有把手，所述轴套内部套设有转动轴，所述转动轴一端穿过刻度盘并连接有旋转盘，所述转动轴与轴套之间采用转动连接，所述刻度盘顶部于转动轴外侧固定连接有齿盘。
6.优选的，所述旋转盘底部靠近一侧的位置固定连接有活动槽，所述活动槽一侧设置有插杆，所述插杆穿过活动槽并连接有连接块，所述活动槽内套设有第一弹簧，所述第一弹簧两端分别连接有旋转盘和连接块，所述插杆另一端连接有插块，所述插块与齿盘之间相互啮合。
7.优选的，所述转动轴另一端穿过轴套并于轴套下方固定连接有旋转盘，旋转盘顶部设置有伸缩套，所述伸缩套与旋转盘之间采用转动连接，所述轴套插入伸缩套中并采用滑动连接，所述伸缩套内均匀分布设置有多个第二弹簧，所述第二弹簧两端分别连接有轴套和伸缩套。
8.优选的，所述转动轴底部中间的位置开设有固定槽，所述固定槽与离子源阴极的尺寸相互配合，所述转动轴一侧于伸缩套下方开设有螺纹孔，所述螺纹孔贯通至固定槽内，所述螺纹孔一侧设置有紧固螺栓，所述紧固螺栓插入螺纹孔。
9.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过将指针调整至特定的角度，调整指针时只需将轴套向下压即可转动转动柱对指针进行调整，然后利用紧固螺栓将转动轴与离子源阴极固定在一起，然后反向转动转动柱，使得转动轴将离子源阴极反向进行旋转，将指针转动至0度后便可实现固定角度旋转，同时确保欧姆表测量的阴极安装板和灯丝固定夹具之间显示为开路，本实用新型进行离子源阴极安装校准的方法简便易行，定位准确，避免了手工操作中由于人为因素造成的误差，重复性好，改善了相关部件的使用寿命和系统的整体性能。
附图说明
10.图1为本实用新型立体结构示意图；
11.图2为本实用新型正面剖视结构示意图；
12.图3为本实用新型内部结构示意图；
13.图4为本实用新型图2中a部放大结构示意图；
14.图5为本实用新型图3中b部放大结构示意图
15.图中：1、刻度盘；2、转动柱；3、把手；4、旋转盘；5、指针；6、转动轴；7、底盘；8、伸缩套；9、活动槽；10、轴套；11、插块；12、固定槽；13、第一弹簧；14、齿盘；15、第二弹簧；16、插杆；17、转动盘；18、紧固螺栓；19、连接块。
具体实施方式
16.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
17.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
18.在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
19.请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种离子注入机辅助工具进行离子源阴极安装校准装置，包括旋转盘4、刻度盘1、转动轴6和轴套10，所述轴套10顶部设置有底盘7，所述底盘7顶部中间的位置设置有刻度盘1，所述轴套10穿过底盘7并固定连接有刻度盘1，所述刻度盘1采用三百六十度刻度，所述刻度盘1上方设置有旋转盘4，所述旋转盘4一侧设置有指针5，所述旋转盘4顶部连接有转动柱2，所述转动柱2两侧靠近顶部的位置对称固定连接有把手3，所述轴套10内部套设有转动轴6，所述转动轴6一端穿过刻度盘1并连接有旋转盘4，所述转动轴6与轴套10之间采用转动连接，所述刻度盘1顶部于转动轴6外侧固
定连接有齿盘14。
20.进一步的，所述旋转盘4底部靠近一侧的位置固定连接有活动槽9，所述活动槽9一侧设置有插杆16，所述插杆16穿过活动槽9并连接有连接块19，所述活动槽9内套设有第一弹簧13，所述第一弹簧13两端分别连接有旋转盘4和连接块19，所述插杆16另一端连接有插块11，所述插块11与齿盘14之间相互啮合，所述插块11与齿盘14设置的齿块一侧均设置有90度平面。
21.进一步的，所述转动轴6另一端穿过轴套10并于轴套10下方固定连接有转动盘17，转动盘17顶部设置有伸缩套8，所述伸缩套8与转动盘17之间采用转动连接，所述轴套10插入伸缩套8中并采用滑动连接，所述伸缩套8内均匀分布设置有多个第二弹簧15，所述第二弹簧15两端分别连接有轴套10和伸缩套8。
22.进一步的，所述转动轴6底部中间的位置开设有固定槽12，所述固定槽12与离子源阴极的尺寸相互配合，所述转动轴6一侧于伸缩套8下方开设有螺纹孔，所述螺纹孔贯通至固定槽12内，所述螺纹孔一侧设置有紧固螺栓18，所述紧固螺栓18插入螺纹孔。
23.工作原理：在阴极安装板、阴极绝缘板、灯丝支撑夹具和灯丝安装完毕后，用欧姆表测量阴极安装板和灯丝固定夹具之间的电阻，显示为开路，把离子源阴极旋入阴极安装板，直到欧姆表测量的阴极安装板和灯丝固定夹具之间显示为短路，这时便可调整指针5的角度，由于插块11和齿盘14设置的齿块一侧为90度平面，所以当顺时针转动时插块将旋转盘4卡住，这时便可用手握住轴套10，这时然后向下压，使得轴套10向伸缩套8内收缩，使得轴套10将第二弹簧15向下压，使得第二弹簧15收缩，使得刻度盘1下降，这时齿盘14便会脱离插块11，这时便可转动转动柱2，使得转动柱2带动旋转盘4，使得旋转盘4带动指针5和转动轴6顺时针转动，使得转动轴6带动转动盘17转动，使得转动盘17在伸缩套8上转动，当转动至特定角度后松开轴套10，这时第二弹簧15因没有压力使得第二弹簧15回弹，第二弹簧15将轴套10向回顶，使得轴套10上升，使得刻度盘1上升，使得插块11与齿盘14齿合在一起，这时便可将转动轴6底部设置的固定槽12套入离子源阴极中，这时便可将紧固螺栓18旋入转动轴6上设置的螺纹孔中，利用紧固螺栓18将离子源阴极进行固定安装在一起，这时便可用手握住轴套10，这时便可反向转动转动柱2，使得转动柱2带动旋转盘4，使得旋转盘4带动转动轴6，利用转动轴6将离子源阴极进行反向旋转，这时因为另一只手将轴套10进行固定，使得插块11与齿盘14设置的齿块之间相互挤压，使得插块11上升，使得插块11将插杆16向上顶，使得插块11将连接块19向上顶，使得连接块19在活动槽9内移动，使得连接块19将第一弹簧13向上挤压，使得第一弹簧13收缩，当移动至下一个齿槽位置后弹簧因没有压力使得第一弹簧13回弹，使得第一弹簧13将连接块19向回压，使得连接块19将插杆16向下压，使得插杆16将插块11向下压，使得插块11插入齿盘14的齿槽中，然后继续转动，直至将指针5转动至0度即可，同时确保欧姆表测量的阴极安装板和灯丝固定夹具之间显示为开路，本实用新型进行离子源阴极安装校准的方法简便易行，定位准确，避免了手工操作中由于人为因素造成的误差，重复性好，改善了相关部件的使用寿命和系统的整体性能。
24.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。