校正用面板、面板检查用校正装置以及面板检查装置的校正方法与流程

1.本发明涉及一种自动检测板材表面、内部的凹槽或突起信息的装置，涉及一种为了防止设备的误差定期校正设备的装置，一种用于校正的校正用面板以及一种设备的校正方法。


背景技术：

2.专利发明001公开了一种检测晶片缺陷的晶片缺陷检测装置，其具有用于向所述晶片上照射光的光源部以及检测从所述晶片反射或散射的光的检测部。为与入射到所述检测单元的所述反射光或所述散射光的轴垂直，在所述晶片和检测部之间设置偏光板，来过滤所述反射光或散射光并转换成偏振光。调节部根据反射光或散射光的光成分，调节所述偏光过滤器的偏光轴角度，从而提高反射光或散射光的过滤效果。
3.专利发明002公开了一种检测晶片宏单元缺陷的方法，其获得被检测晶片的图像后，比较被检测图像和基准图像来检测缺陷。此时，被检测图像与基准图像整体上具有不同的色差，如果所述色差超出设定范围，则判定所述被检测图像存在缺陷。与此不同的情况下，将所述被检测图像转换为横截面信号，当所述横截面信号与基准横截面信号相同时，则将所述被检测图像用作新的基准图像，在其他的情况下，对所述被检查图像进行微缺陷检测。
4.专利发明003公开了一种晶片缺陷检测装置及其方法，该装置包括：激光发光部，其固定安装在晶片表面，相对晶片表面具有一定角度，在晶片上发射激光束；正常图像过滤部，其安装在晶片表面上部，设定晶片的正常图像；激光受光部，其通过正常图像过滤部接收晶片上的选定图像；比较部，其比较正常图像过滤部的正常图像以及激光受光部的受光图像；储存部，其储藏正常图像过滤部的正常图像数据，以及控制部，其控制激光发光部、正常图像过滤部、激光受光部和比较部。
5.专利发明004涉及一种包括照明部的晶片检查装置，其中公开的晶片检查装置包括：同轴照明部，其包括为了在晶片上成像图像而引入的相机、传输来自光源的光以提供同轴照明光的光纤、以内部全反射方式将从光纤传输来的光进行传递并射出的透明板、以及将从透明板射出的光路变更到晶片上方的镜子；光纤，其为了在晶片上提供侧面照明光而传输来自光源的光；侧面照明部，其包括将从光纤传输的光倾斜、可照明地发射到晶片上的透镜；以及控制部，其控制相机和照明部等。
6.(专利文献1)kr10-2006-0132081a(公开日期2006年12月21日)
7.(专利文献2)kr10-2007-0002249a(公开日期2007年01月05日)
8.(专利文献3)kr10-0952522b1(注册日期2010年04月05日)
9.(专利文献4)kr10-1124567b1(注册日期2012年02月29日)


技术实现要素：

10.技术课题
11.本发明涉及一种自动检测板材表面、内部的凹槽或突起信息的装置，涉及一种为了防止设备的误差定期校正设备的装置，一种用于校正的校正用面板以及一种设备的校正方法。
12.课题解决方案
13.本发明是一种关于校正用面板100的发明，具体地，包括：面板100，其为板材形状，且两面平行；基准标记110，其形成于所述面板的一面或两面；人工缺陷130，其形成于所述面板的内部或表面。
14.本发明是一种关于校正用面板100的发明，在上述发明中，所述基准标记包括一条或多条直线。
15.本发明是一种关于校正用面板100的发明，在上述发明中，所述基准标记包括图形120。
16.本发明是一种关于校正用面板100的发明，在上述发明中，所述人工缺陷形成于面板表面，包括由凹槽形状构成的第一人工缺陷131。
17.本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，具体地，包括：面板安装部200，其安装实施例1的校正用面板100；第一移送部300，其移送所述面板安装部；面板保管部400，其保管所述校正用面板；以及检查部500，其与所述移送部相邻设置，检查校正用面板。
18.本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，在上述发明中，包括：控制部700，其识别所述检查部的信号，控制所述移送部的操作。
19.本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，在上述发明中，包括：第二移送部800，其移动所述检查部和所述面板安装部，并移送所述校正用面板。
20.本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，在上述发明中，所述检查部位于所述面板的一面，并包括：相机510，其拍摄面板表面。
21.本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，在上述发明中，所述面板保管部一侧形成有门，并包括：箱体形状的保管箱410。
22.本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，在上述发明中，所述面板安装部形成有多个，并包括：夹具210，其固定面板的侧面。
23.本发明是一种关于面板检查装置的校正方法的发明，具体地，包括：安装步骤s100，在面板安装部安装校正用面板；识别步骤s200，在所述安装步骤之后，通过扫描相机扫描整个校正用面板，识别基准标记和人为缺陷的位置以及数量；拍摄步骤s300，在所述识别步骤之后，通过检查相机拍摄基准标记和人为缺陷；存储步骤s400，在所述拍摄步骤之后，存储基准标记和人为缺陷的影像信息；比较步骤s500，在所述存储步骤之后，比较影像信息和基准信息；偏移步骤s600，在所述比较步骤之后，偏移校正装置的致动器坐标。
24.发明效果
25.由于本发明的校正用面板具有多个基准标记和人工缺陷，因此在图像识别中，具有准确地进行位置和角度接收的校正的效果。
26.由于本发明的校正用面板具有针对厚度的多种人工缺陷，因此具有根据缺陷的高
度变化准确地提供校正值的效果。
27.由于本发明的面板检查用校正装置形成有单独的面板保管部，因此具有可以防止面板的损伤及变形的效果。
28.本发明的面板检查用校正装置通过使用多个相机，能够提高准确性。
29.本发明的面板检查用校正装置在面板或相机的移动过程中进行影像拍摄，同时对拍摄影像进行处理，因此可以快速地进行校正作业。
30.本发明的面板检查用校正装置在主壳体内部一体地容纳所有装置，由此可以将安装空间最小化。另外，由于具有恒温恒湿器、除尘器和减振器，因此具有单独的防错功能。
31.本发明的面板检查用校正装置的检查相机具有单独的焦点调节用致动器，因此可以确保准确的信息。
32.本发明的面板检查用校正装置具有通过控制器控制整个装置的效果。
附图说明
33.图1是本发明的校正用面板的正视图；
34.图2是本发明的缺陷测定示意图；
35.图3是本发明的面板检查设备立体图；
36.图4是本发明的面板检查设备的校正用面板和检查用面板的操作示意图；
37.图5是本发明的面板检查设备的整体示意图。
具体实施方式
38.以下，将详细描述本发明的最优选的实施例，以便本发明所属技术领域的普通技术人员可以容易地实施本发明。
39.以下实施例中引用的编号不仅限于引用对象，而是可以应用于所有实施例。与实施例中呈现的构造具有相同目的、发挥相同效果的对象相当于等效的替换对象。实施例中呈现的上位概念包括未描述的下位概念对象。
40.[实施例1-1]本发明是一种关于校正用面板100的发明，具体地，包括：面板100，其为板材形状，且两面平行；基准标记110，其形成于所述面板的一面或两面；人工缺陷130，其形成于所述面板的内部或表面。
[0041]
[实施例1-2]本发明是一种关于校正用面板100的发明，在实施例1-1中，所述面板形成为圆盘形或多边形。
[0042]
[实施例1-3]本发明是一种关于校正用面板100的发明，在实施例1-1中，所述面板由硅形成。
[0043]
[实施例1-4]本发明是一种关于校正用面板100的发明，在实施例1-1中，所述面板由锗形成。
[0044]
[实施例1-5]本发明是一种关于校正用面板100的发明，在实施例1-1中，所述面板由选自单晶、多晶或非晶中的任一种形成。
[0045]
[实施例1-6]本发明是一种关于校正用面板100的发明，在实施例1-1中，面板通过熔融固化的单晶硅切割和表面抛光形成。
[0046]
本发明的校正用面板用于平板的结合判断装置。在进行判断对象的结合判断之
前，预先识别本发明提供的校正用面板，然后以从校正用面板获得的数据的结果为基础，来准确地识别以后拍摄的对象物的大小和位置。本发明的校正用面板由两面平行的板材形状形成，板材的表面形成人为的基准标记。所述基准标记可以形成在板材的一面或者两面。另外，形成多种大小的人工缺陷。本发明使用的校正用面板可以采用圆盘形和多边形形状。本发明的校正用面板可以用于半导体工艺中使用的硅晶片、太阳能面板和显示面板。本发明的校正用面板可以由硅形成，并且可以由锗来代替。本发明的校正用面板可以由透明板、不透明板、半透明板材料代替。另外，所述面板可以由单晶、多晶或非晶材料形成。作为一个具体的实施例，半导体生产用晶片内部可能存在缺陷。上述缺陷可以是表面形成的凹槽、内部形成的气孔、表面突出的突起、纵向刻划的划痕以及表面沉积的细小灰尘。在半导体生产之前，需要先对整个晶片进行缺陷检查。通过所述缺陷检查的结果来判断晶片的缺陷。所述缺陷检查方法采用图像识别方法。即，通过相机拍摄的影像来确定缺陷。但是相机拍摄的结果物只能确认影像，而不能准确地识别影像物的大小和位置。为了准确地判断上述大小和位置，预先识别基准的校正用面板，并执行校正步骤，通过校正可以准确地判断影像物的大小和位置。
[0047]
[实施例2-1]本发明是一种关于校正用面板100的发明，在实施例1-1中，所述基准标记包括一条或多条直线。
[0048]
[实施例2-2]本发明是一种关于校正用面板100的发明，在实施例2-1中，所述线由选自直线、圆或椭圆中的任意一种形成。
[0049]
[实施例2-3]本发明是一种关于校正用面板100的发明，在实施例2-1中，所述线包括粗细均匀或粗细不同的多条。
[0050]
本发明的基准标记由特定距离和厚度的形态形成。由相机拍摄的基准标记的影像信息可以通过影像中出现的对象体(直线等)的大小来换算成实际的大小。基准标记的影像拍摄可以由动影像拍摄。可以根据动影像信息来获得固定影像信息。但是，动影像信息可能随着相机或面板的移动速度和角度产生失真的信息。为了防止这种情况，将多个线和多个图形进行组合，形成基准标记，由此来判断实时影像信息和准确性，校正失真信息。
[0051]
[实施例3-1]本发明是一种关于校正用面板100的发明，在实施例1-1中，所述基准标记包括图形120。
[0052]
[实施例3-2]本发明是一种关于校正用面板100的发明，在实施例2-1中，所述图形由边和/或曲线组合而成。
[0053]
所述基准标记可以使用图形。所述图形可以使用多边形、圆形、椭圆形，或者使用与直线一起构成的标记。
[0054]
[实施例4-1]本发明是一种关于校正用面板100的发明，在实施例1-1中，所述人工缺陷形成于面板表面，包括由凹槽形状构成的第一人工缺陷131。
[0055]
[实施例4-2]本发明是一种关于校正用面板100的发明，在实施例1-1中，所述人工缺陷形成于面板表面，包括由突起形状构成的第二人工缺陷132。
[0056]
[实施例4-3]本发明是一种关于校正用面板100的发明，在实施例1-1中，所述人工缺陷形成于面板内部，包括由气孔构成的第三人工缺陷133。
[0057]
由于由线等构成的基准标记形成在平面上，因此可以通过拍摄影像确定的焦点来识别明确的形态。即可以清楚地确定平面上的大小。然而，由于凹槽、气孔和突起是立体形
成的，因此难以从平面影像确定它们的大小和形态。由此，人为地形成了凹槽、气孔和突起，并且它们的大小不同地形成。以校正用面板的缺陷影像为基准，可以匹配检查对象面板的拍摄信息，从而确认检查对象面板的缺陷。
[0058]
*[实施例5-1]本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，具体地，包括：面板安装部200，其安装实施例1的校正用面板100；第一移送部300，其移送所述面板安装部；面板保管部400，其保管所述校正用面板；以及检查部500，其与所述移送部相邻设置，检查校正用面板。
[0059]
本发明涉及一种面板检查用的校正装置。本发明的装置具有用于检查面板的检查部，并且所述检查部形成有安装面板的面板安装部。第一传送部与面板安装部结合并控制面板的移动。另外，形成有用于保管面板的面板保管部。面板保管部分为两个。形成用于保管检查用面板的第一面板保管部401和用于保管校正用面板的第二面板保管部402。所述第二面板保管部保管校正用面板，并且校正用面板被周期性地取出并移动到检查部。通过校正用面板可以执行校正。插入到第二面板保管部中的检查用面板被顺序地移动到检查部以查找出缺陷。所述第一移送部使用机器人，优选为直角坐标机器人。面板安装部形成有三点支撑面板的外周的夹具。面板保管部形成为箱体形状。
[0060]
[实施例5-2]本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，在实施例5-1中，所述面板安装部、第一移送部、面板保管部和检查部容纳在密闭的主壳体610内部。
[0061]
[实施例5-3]本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，在实施例5-2中，所述主壳体安装有恒温恒湿器620和/或吸尘器630。
[0062]
[实施例5-4]本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，在实施例5-2中，所述主壳体设置于地面上，并安装在减振器640上。
[0063]
本发明的面板安装部、第一移送部、面板保管部和检查部容纳在一个主壳体中。优选地，所述主壳体安装有门以确保作业方便性，并且所述门和主壳体的一部分由透明窗形成。为了防止灰尘等异物与晶片接触，在主壳体上安装灰尘吸收装置，并且为了防止晶片变形，安装恒温恒湿器。此外，为了防止在检查过程中因外部振动而产生的错误，优选在主壳体的下部安装减振器。
[0064]
[实施例6-1]本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，在实施例5-1中，包括：控制部700，其识别上述检查部的信号，控制上述移送部的操作。
[0065]
根据本发明的第一移送部的操作，面板移动检查部的相机操作根据控制部的控制信号自动操作。此外，所述控制部形成存储装置，所述存储装置存储检查用面板检出的缺陷。所述存储装置存储校正用面板的信息，并与上述检查用面板的信息进行比较，存储缺陷的位置和大小。
[0066]
[实施例7-1]本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，在实施例5-1中，包括：第二移送部800，其移动所述检查部和所述面板安装部，并移送所述校正用面板。
[0067]
本发明是涉及第二移送部的发明，起到将检查用面板和校正用面板向面板安装部移动的作用。第二移送部根据上述控制部的信号进行操作。
[0068]
[实施例8-1]本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，在实施例5-1中，所述检查部位于所述面板的一面，并包括：相机510，其拍摄面板表面。
[0069]
[实施例8-2]本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，在实施例5-1中，所
述检查部位于所述面板的一面，并包括：磁力测定机520，其检测面板表面的磁力。
[0070]
本发明是一种关于检查面板缺陷的装置。通过相机拍摄面板表面，并通过拍摄信息来确认缺陷。在另一个实施例中，可以通过磁力来确认面板的缺陷。
[0071]
[实施例8-3]本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，在实施例8-1中，包括：发光器530，其位于所述面板的一面或另一面，并照射光。
[0072]
[实施例8-4]本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，在实施例8-3中，所述发光器由选自红外线、紫外线或激光中的任一种形成。
[0073]
[实施例8-5]本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，在实施例8-1中，所述相机包括：扫描相机511，其用于确认缺陷位置；以及检查相机512，其用于确认缺陷的种类和大小。
[0074]
[实施方式8-6]本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，在实施例8-5中，所述扫描相机包括排列成直线的多个相机。
[0075]
[实施例8-7]本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，在实施例8-5中，所述检查相机形成有焦点调节用致动器513。
[0076]
本发明的实施例是用于检查由透明或不透明材料制成的面板的缺陷的发明。面板的一面通过相机拍摄影像，面板的另一侧用发光器照射光。从所述发光器发射的光优选使用红外线。如果需要，也可以使用紫外线或x射线。所述发光器可以包括激光。激光在面板的一面发射线性光，激光的光扫描面板表面，由于外部表面的缺陷会引起光的折射，相机识别所述光的折射，从而可以确认缺陷的位置和大小。在所述红外线或紫外线的情况下，光在面板的另一面发射。在面板的一面上，缺陷会使光产生扩散或折射，相机可以拍摄到这种光的变化，从而可以确认缺陷的位置和大小。作为另一个实施例，在硅晶片的情况下，在面板的另一面发射近红外线，在面板的一面使用相机来确认缺陷。第一步，通过扫描相机扫描整个面板面积，并确认面板的缺陷。然后，检查相机定位在缺陷的位置并拍摄缺陷。在拍摄过程中执行焦点调节过程。在所述焦点调节过程中，可以通过焦点调节用致动器的操作来调节焦点。为了缩短扫描时间或确保扫描精度，线相机使用多个相机，优选将所述多个相机排列成一条直线。
[0077]
[实施例9-1]本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，在实施例5-1中，所述面板保管部在一侧形成有门，并包括箱体形状的保管箱410。
[0078]
[实施例9-2]本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，在实施例9-1中，包括：恒温恒湿器420，其形成在所述保管箱内部。
[0079]
[实施例9-3]本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，在实施例9-1中，包括：吸尘器430，其形成在所述保管箱内部。
[0080]
本发明涉及一种面板保管部，所述面板保管部内部放置校正用面板。必要时取出校正用面板并用于校正。因此，它被容纳在单独的保管箱内部。所述保管箱呈箱体形状，具有封闭结构，并形成有门。即，所述门具有仅在保管用面板放入取出时才开闭的特性。保管箱配有独立的恒温恒湿器和吸尘器。所述保管箱的校准用面板由于定期使用，很容易发生变形。变形的校正用面板可能会导致校正值出现错误。为了解决这个问题，可以在保管箱内部安装变形检测装置，以检测校正用面板的变形。
[0081]
[实施例10-1]本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，在实施例5-1中，所
述面板安装部形成有多个，并包括：夹具210，其用于固定面板的侧面。
[0082]
[实施例10-2]本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，在实施例10-1中，所述夹具形成为三个。
[0083]
[实施例10-3]本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，在实施例10-1中，所述夹具由聚合物材料制成。
[0084]
[实施例10-4]本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，在实施例10-1中，所述夹具随着致动器220沿直线操作。
[0085]
[实施例10-5]本发明是一种关于面板检查用校正装置的发明，在实施例10-4中，所述夹具包括：负荷传感器230，其用于测量操作过程和检查过程中的夹持力。
[0086]
本发明的面板安装部是用于安装检查用面板和校正用面板的装置。由于面板具有圆盘形状，所以夹持其外周。优选地，用三个夹具来固定，并且为了防止变形，优选由聚合物制成。所述夹具各自安装负荷传感器，由此分布到面板张力均一的位置，从而防止面板的局部变形。所述夹具自动地操作，并通过致动器固定。
[0087]
[实施例11-1]本发明是一种关于面板检查装置的校正方法的发明，具体地，包括：安装步骤s100，在面板安装部安装校正用面板；识别步骤s200，在所述安装步骤之后，通过扫描相机扫描整个校正用面板，识别基准标记和人为缺陷的位置以及数量；拍摄步骤s300，在所述识别步骤之后，通过检查相机拍摄基准标记和人为缺陷；存储步骤s400，在所述拍摄步骤之后，存储基准标记和人为缺陷的影像信息；比较步骤s500，在所述存储步骤之后，比较影像信息和基准信息；偏移步骤s600，在所述比较步骤之后，偏移校正装置的致动器坐标。
[0088]
[实施例11-2]本发明是一种关于面板检查装置的校正方法的发明，在实施例11-1中，包括：保管步骤s700，在上述排列的步骤之后，将所述校正用面板保管在保管箱中。
[0089]
[实施方式11-3]本发明是一种关于面板检查装置的校正方法的发明，在实施例11-2中，包括：检测步骤s800，在所述保管步骤中，检测校正用面板是否变形。
[0090]
[实施方式11-4]本发明是一种关于面板检查装置的校正方法的发明，在实施例11-1中，所述存储步骤包括：计算步骤s410，计算检查相机的移动量或校正用面板的移动量。所述拍摄步骤包括：焦点调节步骤s310，调节所述拍摄步骤中检查相机的焦点。
[0091]
附图标记说明
[0092]
100：面板
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110：基准标记
[0093]
120：图形
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130：人工缺陷
[0094]
131：第一人工缺陷
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132：第二人工缺陷
[0095]
133：第三人工缺陷
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200：面板安装部
[0096]
210：夹具
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220：致动器
[0097]
230：负荷传感器
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300：第一移送部
[0098]
400：面板保管部
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401：第一面板保管部
[0099]
402：第二面板保管部
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410：保管箱
[0100]
420：恒温恒湿器
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430：吸尘器
[0101]
500：检查部
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510：相机
[0102]
511：扫描相机
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512：检查相机
[0103]
513：焦点调节用致动器
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520：磁力测定机
[0104]
530：发光器
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610：主壳体
[0105]
620：恒温恒湿器
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
630：吸尘器
[0106]
640：减振器
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
700：控制部
[0107]
800：第二移送部