具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置的制作方法

1.本发明涉及具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置，更详细而言，涉及一种不仅能够捕集在工艺上发生的微尘，而且具备臭氧还原过滤器，能够去除在集尘过程中可能发生的臭氧的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置。


背景技术：

2.作为用于半导体或lcd(liquid crystal display devise：液晶显示装置)等显示装置制造工艺的捕集净室内极细颗粒的粉尘等悬浮物捕集的方式，正在活跃地使用电集尘器。所述电集尘器的原理是在电极发生电晕放电，使含有粉尘的气体流入该空间而使之离子化，并使离子化的粉尘聚集于各电极而捕捉、集尘。
3.最近，随着国内从事半导体产业的劳动者发生白血病、再生不良性贫血、淋巴造血系统癌症等疾病，尽管半导体制造环境是严格控制颗粒、温度、湿度、差压、酸、碱、有机物等污染因素的超洁净的净室，但从保健观点而言，对作业环境安全性或有害性与否的关注高涨，报告了对作业环境中诸如气体、化学物质的化学因素及诸如非电离辐射等的物理因素等的暴露评价及对流行病学调查的研究。
4.臭氧特别是在扩散工艺中，使自然氧化膜在晶片表面生长，对制品的收率、品质和可靠性造成巨大影响，因而在外部气体臭氧浓度升高的夏季尤其要求特别管理。
5.所述电集尘器在集尘过程中会产生臭氧，这种臭氧不仅导致制品的不良，而且存在有害于人体的问题。
6.【现有技术文献】
7.【专利文献】
8.(专利文献1)韩国授权专利第10-1183228号(2012年9月10日)


技术实现要素：

9.本发明目的旨在解决如上所述问题，提供一种具备使集尘过程中可能发生的臭氧还原的过滤器、能够使人体有害性最小化的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置。
10.本发明的目的不限于以上提及的目的，未提及的其他目的是本发明技术领域的技术人员可以从以下记载明确理解的。
11.技术方案
12.为了达成所述目的，根据本发明的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置包括：包括：罩外壳，所述罩外壳在内部形成有空间部，在一面形成有多个风扇插入孔；吸入组件，所述吸入组件包括吸入风扇，所述吸入风扇在与所述风扇插入孔对应的位置形成，将空气流诱导到后方；蜂巢组件，所述蜂巢组件具备集电极部和发射电极部，所述集电极部包括第一框架、板状电极，所述第一框架在所述吸入组件后方形成，是具有内部空间的框架，所述板状电极在所述第一框架内部配置成一列，打孔有多个孔，所述发射电极部包括
第二框架、多个丝状电极，所述第二框架是与所述第一框架对应的形状，所述多个丝状电极横穿所述第二框架内部而彼此平行地隔开配置，且以与所述孔的中心点对应的方式配置；电源供应部，所述电源供应部将相互相反极性的电源接入所述板状电极与所述丝状电极；及臭氧还原过滤器，所述臭氧还原过滤器在所述吸入风扇前方形成，能够去除臭氧。
13.另外，还包括：保护面板，所述保护面板为绝缘材质，在所述发射电极部后方形成，形成有引导空气流的多个通孔。
14.另外，其特征在于，所述臭氧还原过滤器包括移送以所述吸入风扇为媒介流入的空气的管道，使通过所述管道流入的臭氧还原而去除。
15.另外，其特征在于，还包括：臭氧还原过滤器罩，所述臭氧还原过滤器罩结合于形成有所述风扇插入孔的罩外壳外面，所述臭氧还原过滤器罩在与所述风扇插入孔对应的位置形成有第一空气流入孔，在内侧形成有用于容纳所述臭氧还原过滤器的容纳空间支架，且所述容纳空间支架在与所述风扇插入孔和所述第一空气流入孔对应的位置形成有第二空气流入孔。
16.发明效果
17.根据本发明的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置具备能够去除在电集尘过程中可能发生的臭氧的臭氧还原过滤器，从而可以防止电集尘过程中发生的臭氧随机释放到空气中，因而具有可以使臭氧引起的人体有害性最小化的效果。
附图说明
18.图1是示出根据本发明的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置的立体图。
19.图2是示出根据本发明的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置的后视图(a)和俯视图(b)。
20.图3是用于说明根据本发明的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置的罩外壳内部构成的分解立体图。
21.图4是用于说明构成根据本发明的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置的蜂巢组件的概念图。
22.图5是用于说明构成根据本发明的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置的臭氧还原过滤器罩的分解立体图。
23.图6是用于说明构成根据本发明的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置的臭氧还原过滤器的概念图。
24.附图标记说明
25.100：罩外壳
26.110：上侧罩部
27.120：后面罩部
28.121：风扇插入孔
29.130：侧面罩部
30.200：吸入组件
31.210：吸入风扇
32.220：风扇罩
33.300：蜂巢组件
34.310：集电极部
35.311：第一框架
36.312：板状电极
37.313：孔
38.320：发射电极部
39.321：第二框架
40.322：丝状电极
41.400：电源供应部
42.500：臭氧还原过滤器
43.600：保护面板
44.610：通孔
45.700：臭氧还原过滤器罩
46.710：过滤器罩上部面
47.711：第一空气流入孔
48.720：第一过滤器罩侧面部
49.730：第二过滤器罩侧面部
50.750：容纳空间支架
51.751：第二空气流入孔。
具体实施方式
52.参照下文中与附图一起详细说明的实施例，本发明的优点及特征以及实现它们的方法将会显而易见。但是，本发明并非限定于以下公开的实施例，可以以互不相同的多样形态体现，本实施例仅提供用于使本发明的公开完整，向本发明所属技术领域的技术人员完整地告知发明的范畴，本发明只由权利要求项的范畴所定义。
53.下面参照附图，详细说明实施本发明所需的具体内容。与附图无关，相同的构件标记指称相同的构成要素，“及/或”包括提及的各个项目及一个以上的所有组合。
54.虽然为了叙述多样构成要素而使用了“第一”“第二”等，但这些构成要素当然不由这些术语所限定。这些术语只用于将一个构成要素区别于其他构成要素。因此，下面提及的第一构成要素在本发明的技术思想内，当然也可以是第二构成要素。
55.本说明书中使用的术语用于说明实施例，并非要限制本发明。在本说明书中，只要在语句中未特别提及，单数型也包括复数型。说明书中使用的“包括(comprises)”及/或“包括的(comprising)”，不排除在提及的构成要素之外存在或添加一个以上的其他构成要素。
56.如果没有不同的定义，本说明书中使用的所有术语(包括技术及科学术语)可以用作本发明所属技术领域的技术人员可以共同理解的意义。另外，一般使用的字典定义的术语，只要未明确地特别定义，不得过于或过度地解释。
57.下面参照附图，详细说明本发明的优选实施例。
58.图1是示出根据本发明的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置的立
体图，图2是示出根据本发明的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置的后视图(a)和俯视图(b)，图3是用于说明根据本发明的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置的罩外壳内部构成的分解立体图。
59.参照图1至图3，对根据本发明的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置进行说明。
60.根据本发明的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置大致包括罩外壳100、吸入组件200、蜂巢组件300、电源供应部400、臭氧还原过滤器500。
61.首先，罩外壳100在内部形成有空间部(图上未示出)，在一面形成有多个风扇插入孔121。
62.如果对所述罩外壳100进行更具体说明，包括形成有所述多个风扇插入孔121的后面罩部120、与所述后面罩部隔开配置的前面罩部(图上未示出)、分别连接所述后面罩部120和所述前面罩部的下部与侧部角的下侧罩部(图上未示出)、侧面罩部130及在所述后面罩部120与所述前面罩部的上部形成的上侧罩部110。
63.所述前面罩部可以以形成有中空部(图上未示出)的诸如相框的形状构成，以使外部空气能够流入后述蜂巢组件300。
64.所述上侧罩部110或下侧罩部(图上未示出)可以以能够选择性地开闭的方式构成，并非限定于此，当然也可以以包括修理及更换所述罩外壳100内形成的各构成要素的易于维护的任意结合结构构成。
65.另外，在所述罩外壳100内部可以形成有结合部、支撑部等，以便能够固定或结合各构成要素。
66.另外，在所述侧面罩部130的一侧形成有能够分别向后述集电极部310和发射电极部320提供高电压的高电压输入端子131。
67.所述高电压输入端子131是分别与集电极部310及发射电极部320连接且能够从后述电源供应部接受输入高电压的电源并传输给蜂巢组件300的媒介。
68.然后，吸入组件200基本上是形成既定的气流，使后述蜂巢组件300的集尘过程可以更高效地实现。
69.所述吸入组件200在所述罩外壳100内部形成，且在所述后面罩部120后面形成。
70.所述吸入组件200包括吸入风扇210，所述吸入风扇210在与所述风扇插入孔121对应的位置形成，将空气流诱导到后方。
71.另外，所述吸入组件200还包括风扇罩320，所述风扇罩320在所述后面罩部120与所述吸入风扇210之间以覆盖所述风扇插入孔121的方式形成。
72.所述风扇罩320基本上以覆盖所述风扇插入孔121的方式形成，盖住所述吸入风扇310的暴露，另外，以具有可以在一定水平上切断异物质排出外部的过滤器性能的方式形成。
73.图4是用于说明构成根据本发明的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置的蜂巢组件的概念图。
74.参照图4，对蜂巢组件300进行说明。
75.蜂巢组件300包括在所述吸入组件200后方形成的集电极部310和在所述集电极部310后方形成的发射电极部320。
76.所述集电极部310包括第一框架311、板状电极312，第一框架311是以在内部具有内部空间的方式而以相框形状形成的框架，所述板状电极312在所述第一框架311内部空间形成。
77.所述板状电极312打孔形成有配置成一列的多个孔313。
78.借助于所述孔313而形成周边空气的离子风，可以捕集空气中的悬浮物，为了能够高效带电，所述板状电极312以诸如不锈钢的金属、诸如导电性高分子物质等的导电性材质构成，优选所述孔313的形状由直径10mm左右的圆形构成，但也可以变更为其他形状。
79.在所述板状电极312，经由在外部配备的电源供应部(图上未示出)中形成的高压变压器(图上未示出)而施加( )电源，从而带电为 电极，特别是优选在所述棒状电极施加-5kv，在所述板状电极312施加 5kv，使得具有10kv的电位差。
80.所述发射电极部320在与所述板状电极312隔开既定间隔的后方地点形成，包括与所述第一框架311对应的形状的第二框架321、横穿所述第二框架321内部并相互平行地隔开配置的丝状电极322。
81.此时，所述丝状电极322如图4所示，当从正面观察时，以与所述孔313的中心点313-1对应的方式配置。
82.所述丝状电极322分别为诸如不锈钢的金属、诸如导电性高分子物质等的导电性材质，特别优选为厚度薄、容易使电场集中的直径0.15mm的sus丝，经由在外部形成的高压变压器(图上未示出)而施加(-)电源，从而带电为(-)电极。
83.由此，所述丝状电极322的放电集中于作为电场集中点的图4上的p地点，电荷实现向板状电极312内孔313尖端部分的移动，借助于库仑力，丝状电极322周边的空气形成朝向板状电极312的孔313侧的离子风。
84.此时，借助于发挥发射体(emitter)功能的丝状电极322与发挥集电极(collector)功能的板状电极312间的电位差(10kv)而实现电晕放电，基本上使中性的悬浮物带电，从而借助于库仑力，(-)极性的丝状电极322吸引( )极性的悬浮物，( )极性的板状电极122吸引(-)极性的悬浮物，捕集空气中的诸如灰尘等的悬浮物。
85.这种集电极部310和发射电极部320可以以所述第一框架311的后面与所述第二框架321的前面相互接触的方式结合并以一体方式组装成一个结合体，其本身可以从所述罩外壳100拆卸。特别是此时，所述丝状电极322与所述板状电极312需保障彼此小幅隔开的间隔，因而优选在以向前后方具有既定厚度的方式形成所述第一、第二框架311,321的状态下，以附图为基准，板状电极312在第一框架311的内周向最后方侧配置，丝状电极322在第二框架321的内周配置于最前方侧，使得能够最大限度地利用所述第一、第二框架的厚度，确保电极间隔开间隔。
86.然后，电源供应部(图上未示出)基本上向所述板状电极312与所述丝状电极322接入相互相反极性的电源，为此，在所述电源供应部配备有输入端子，输入的电源经由阻断过载的保险丝及主电源开关而供应到直流转换器。另外，在所述输入端子的一侧可以连接配备有输出端子。
87.然后，臭氧还原过滤器500在所述吸入风扇210前方形成，以去除在所述蜂巢组件300的集尘过程中发生的臭氧为基本。
88.下面对所述臭氧还原过滤器500进行更详细说明。
89.所述臭氧还原过滤器500可以包括于所述吸入组件200而构成，但由于还形成有臭氧还原过滤器罩700，因而所述臭氧还原过滤器500在所述臭氧还原过滤器罩700内侧形成，所述臭氧还原过滤器罩700结合于形成有所述风扇插入孔121的罩外壳100的外面，即，结合于后面罩部120。
90.图5是用于说明构成根据本发明的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置的臭氧还原过滤器罩的分解立体图。
91.再参照图5，对臭氧还原过滤器罩700进行说明。
92.所述臭氧还原过滤器罩700的过滤器罩上部面710在与所述风扇插入孔121对应的位置形成有第一空气流入孔711，并与所述后面罩部120隔开配置。
93.在所述过滤器罩上部面710的两侧端部形成有第一过滤器罩侧面部720，所述第一过滤器罩侧面部720具有与所述隔开配置相应的高度。
94.此时，所述第一过滤器罩侧面部720如图5所示，可以以能够与所述后面罩部120结合的结构形成，并非限定于此。
95.在所述过滤器罩上部面710内侧形成有用于容纳所述臭氧还原过滤器500的容纳空间支架750。
96.所述容纳空间支架750在与所述风扇插入孔121和所述第一空气流入孔711对位的位置形成有第二空气流入孔751。
97.所述容纳空间支架750优选以与所述风扇插入孔121对应的个数形成。
98.所述臭氧还原过滤器罩700将所述臭氧还原过滤器500容纳于所述容纳空间支架750内部，形成有用于防止所述臭氧还原过滤器500脱离的第二过滤器罩侧面部730。
99.图6是用于说明构成根据本发明的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置的臭氧还原过滤器的概念图。
100.参照图6，再次对具有如上所述构成的臭氧还原过滤器500进行说明。
101.所述臭氧还原过滤器500用于去除以所述容纳空间支架750为媒介而流入的空气中包含的臭氧，可以是为了自然的还原消灭而提供既定水平的高温及高压条件的空间，或者是通过过渡金属氧化物的催化作用而使臭氧分解成氧气的催化过滤器。另外，在所述臭氧还原过滤器500与所述吸入风扇310之间可以还具备管道(图上未示出)，以使内部空气能够被所述臭氧还原过滤器500捕集而不流出。
102.如果从所述蜂巢组件300的丝状电极322流出的电子作用于大气中的氧气，则氧气因冲击而分离并与其他氧气结合而发生臭氧的可能性很高。由于这种过程而发生的臭氧随机释放到空气中，如果将空气中臭氧浓度提高到既定水平以上，则会发挥有害健康的作用。
103.由于具备所述臭氧还原过滤器罩700及臭氧还原过滤器340，本发明的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置可以使人体有害性最小化，不仅是工业用，也可以稳定地用作家庭用。
104.另一方面，根据本发明的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置为了提前防止安全事故然，还包括使得能够切断接入高电压的蜂巢组件300与外部接触的保护面板600。
105.所述保护面板600在所述发射电极部320后方形成，是绝缘材料的面板，形成有多个通孔610，以便能够保障空气的流动。
106.所述保护面板600为了容易维护，可以以在所述前面罩部配备另外的支架并结合于所述支架的方式构成。此时，在为了清洗而将蜂巢组件300从罩外壳100分离的过程中，保护面板600结合于所述前面罩部，从而无需对所述保护面板600施加另外的操作，维护过程简便。
107.所述支架优选设计成丝状电极322与保护面板600间的距离与所述支架厚度相应地隔开，使得也不制约空气的流动。
108.另外，根据本发明的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置为了不仅对利用上述蜂巢组件300的中性的一般有机物质进行集尘，而且用于对金属漂浮物质进行集尘，可以还包括即使不从外部接受电能供应也稳定地产生、维持磁场的永磁铁(图上未示出)。
109.所述永磁铁可以在所述前面罩部沿着外周部位附着形成有多个，以便随着因所述吸入风扇210而发生的气流流入的金属漂浮物质可以附着。
110.以上参照附图，说明了本发明的实施例，但本发明所属技术领域的技术人员可以理解，本发明在不变更其技术思想或必需特征的情况下，可以以其他具体形态实施。因此，以上记述的实施例在所有方面应理解为只是示例而非限定。