一种压电元件、压电振动器及其制作方法、电子设备与流程

1.本发明涉及压电技术领域，特别是涉及一种压电元件、压电振动器及其制作方法、电子设备。


背景技术：

2.随着电子技术的急速进步，人们对电子设备的使用体验的要求越来越高，目前的电子设备大多数只能提供视觉和听觉上的体验，无法给用户带来触觉体验，因此，触觉再现技术应运而生。
3.现有的触觉再现技术是在电子设备中设置压电元件，通过压电元件的振动来提供触觉反馈。然而，现有的压电元件中，在第一电极上生长的压电结构对应的膜层不具有取向性，导致压电结构对应的膜层的薄膜强度较低，因此，在对压电结构对应的膜层进行图案化处理得到压电结构的过程中，容易在压电结构的边缘位置出现缺陷，进而导致压电元件在使用时，缺陷位置容易因振动出现破损，造成压电元件失效。


技术实现要素：

4.本发明提供一种压电元件、压电振动器及其制作方法、电子设备，以解决现有的压电元件中的压电结构对应的膜层不具有取向性，在制作时容易在压电结构的边缘位置出现缺陷，缺陷位置容易因振动出现破损的问题。
5.为了解决上述问题，本发明公开了一种压电元件，包括：第一电极和设置在所述第一电极上的第二电极，所述第二电极具有暴露出所述第一电极的开口；
6.所述压电元件还包括压电结构，所述压电结构包括第一压电部和围绕所述第一压电部设置的第二压电部，所述第一压电部设置在所述开口内并与所述第一电极接触，所述第二压电部设置在所述第二电极远离所述第一电极的一侧；其中，所述第二压电部具有取向性。
7.可选的，沿着所述第二压电部指向所述第一压电部的方向上，所述第一压电部的宽度是所述第二压电部的宽度的10倍至20倍。
8.可选的，所述第一电极的材料为氧化铟锡，所述第二电极的材料为铂。
9.可选的，在沿着垂直于所述第一电极所在平面的方向上，所述第一电极的厚度为100nm至500nm，所述第二电极的厚度小于100nm。
10.可选的，在沿着垂直于所述第一电极所在平面的方向上，所述第一压电部的厚度大于所述第二电极的厚度。
11.可选的，在沿着垂直于所述第一电极所在平面的方向上，所述第二电极的厚度与所述第二压电部的厚度之和等于所述第一压电部的厚度。
12.可选的，所述第一压电部和所述第二压电部的材料均为压电陶瓷。
13.可选的，所述压电元件还包括设置在所述压电结构远离所述第一电极一侧的第三电极。
14.为了解决上述问题，本发明还公开了一种压电振动器，包括：衬底以及设置在所述衬底上的多个上述的压电元件。
15.可选的，所述压电振动器还包括覆盖所述衬底和各个所述压电元件的绝缘层，所述绝缘层具有与每个所述压电元件对应的第一过孔和第二过孔；
16.所述压电振动器还包括设置在所述绝缘层远离所述压电元件一侧的走线层，所述走线层包括与每个所述压电元件对应的第一信号线和第二信号线，每条所述第一信号线通过所述第一过孔与对应的所述压电元件中的所述第一电极连接，每条所述第二信号线通过所述第二过孔与对应的所述压电元件中的所述第三电极连接。
17.为了解决上述问题，本发明还公开了一种压电振动器的制作方法，包括：
18.在衬底上形成多个第一电极；
19.在每个所述第一电极上形成第二电极；每个所述第二电极具有暴露出所述第一电极的开口；
20.在每个所述第一电极和对应的所述第二电极上形成压电结构；
21.其中，所述压电结构包括第一压电部和围绕所述第一压电部设置的第二压电部，所述第一压电部设置在所述开口内并与所述第一电极接触，所述第二压电部设置在所述第二电极远离所述第一电极的一侧；所述第二压电部具有取向性。
22.可选的，在所述在每个所述第一电极和对应的所述第二电极上形成压电结构的步骤之后，还包括：
23.在每个所述压电结构远离所述第一电极的一侧形成第三电极，以得到多个压电元件；
24.形成覆盖所述衬底和各个所述压电元件的绝缘层；所述绝缘层具有与每个所述压电元件对应的第一过孔和第二过孔；
25.在所述绝缘层远离所述压电元件的一侧形成走线层；所述走线层包括与每个所述压电元件对应的第一信号线和第二信号线，每条所述第一信号线通过所述第一过孔与对应的所述压电元件中的所述第一电极连接，每条所述第二信号线通过所述第二过孔与对应的所述压电元件中的所述第三电极连接。
26.为了解决上述问题，本发明还公开了一种电子设备，包括上述的压电振动器。
27.与现有技术相比，本发明包括以下优点：
28.通过在压电元件中设置第一电极以及位于第一电极上的第二电极，第二电极具有暴露出第一电极的开口，并在压电元件中设置压电结构，该压电结构包括第一压电部和围绕第一压电部设置的第二压电部，第一压电部设置在开口内并与第一电极接触，第二压电部设置在第二电极远离第一电极的一侧，第二压电部具有取向性。通过在第一电极上增加第二电极，并且在第一电极上生长第一压电部，在第二电极上生长第二压电部，使得围绕第一压电部的第二压电部具有取向性，有取向性的第二压电部的薄膜强度较高，则提高压电结构边缘的薄膜强度，避免压电结构的边缘位置出现缺陷，因此，在使用压电元件的过程中，进而避免了缺陷位置因振动出现破损，提高压电元件的可靠性。
附图说明
29.图1示出了相关技术的一种压电元件的结构示意图；
30.图2示出了本发明实施例的一种压电元件的结构示意图；
31.图3示出了本发明实施例中的第一压电部的xrd图谱；
32.图4示出了本发明实施例中的第二压电部的xrd图谱；
33.图5示出了本发明实施例的另一种压电元件的结构示意图；
34.图6示出了本发明实施例的一种压电振动器的平面示意图；
35.图7示出了本发明实施例的一种压电振动器的结构示意图；
36.图8示出了本发明实施例的一种压电振动器的制作方法的流程图。
具体实施方式
37.为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
38.在相关技术中，如图1所示，压电元件包括第一电极111和设置在第一电极111上的压电结构112，压电结构112不具有取向性。其具体制作过程为：在形成第一电极111之后，在第一电极111上形成压电薄膜(即压电结构112对应的膜层)，对压电薄膜进行退火，退火后对压电薄膜进行图案化处理，形成所需的压电结构112。
39.然而，由于第一电极111的材料为ito(indium tin oxides，氧化铟锡)，因此，在第一电极111上形成的压电薄膜不具有取向性，则导致压电薄膜的薄膜强度较低，因此，在对压电薄膜进行图案化处理得到压电结构112的过程中，会导致形成的压电结构112的边缘位置出现缺陷，在采用压电元件进行振动以实现触觉反馈的过程中，缺陷位置容易因振动出现破损，造成压电元件失效。
40.因此，本发明实施例通过在第一电极上增加第二电极，并且在第一电极上生长第一压电部，在第二电极上生长第二压电部，使得围绕第一压电部的第二压电部具有取向性，有取向性的第二压电部的薄膜强度较高，则提高压电结构边缘的薄膜强度，避免压电结构的边缘位置出现缺陷，因此，在使用压电元件的过程中，进而避免了缺陷位置因振动出现破损，提高压电元件的可靠性。
41.实施例一
42.参照图2，示出了本发明实施例的一种压电元件的结构示意图。
43.本发明实施例提供了一种压电元件21，包括：第一电极211和设置在第一电极211上的第二电极212，第二电极212具有暴露出第一电极211的开口；压电元件21还包括压电结构，压电结构包括第一压电部213和围绕第一压电部213设置的第二压电部214，第一压电部213设置在开口内并与第一电极211接触，第二压电部214设置在第二电极212远离第一电极211的一侧；其中，第二压电部214具有取向性。
44.在实际产品中，第一电极211为面状电极，在第一电极211上增加第二电极212，第二电极212实际上为环状电极，其具有暴露出第一电极211的开口，第一电极211和第二电极212共同构成了压电元件21的底电极。
45.并且，在第一电极211和第二电极212上设置压电结构，压电结构包括第一压电部213和围绕第一压电部213设置的第二压电部214，且第一压电部213和第二压电部214为一体成型结构。
46.第一压电部213设置在开口内并与第一电极211接触，由于第一压电部213是直接
生长在第一电极211上的，因此，第一压电部213不具有取向性，即第一压电部213为无取向结构；而第二压电部214设置在第二电极212远离第一电极211的一侧，由于第二压电部214是直接生长在第二电极212上的，通过合理选取第二电极212的材料，可以使得生长在第二电极212上的第二压电部214具有取向性，即第二压电部214为取向结构。
47.取向结构指的是在某些外场作用下，大分子链、链段或微晶可以沿着外场方向择优有序排列。无取向结构的薄膜强度较低，而取向结构的薄膜强度较高，因此，第二压电部214的薄膜强度高于第一压电部213的薄膜强度。
48.由于第二压电部214围绕第一压电部213设置，且第一电压部213不具有取向性，第二压电部214具有取向性，因此，在无取向性的第一压电部213的边缘设置有取向性的第二压电部214，可提高压电结构21边缘的薄膜强度，避免压电结构21的边缘位置出现缺陷，因此，在使用压电元件21的过程中，进而避免了缺陷位置因振动出现破损，提高压电元件21的可靠性。
49.需要说明的是，第一压电部213在第一电极211上的正投影与第二电极212在第一电极211上的正投影不存在重合区域，而第二压电部214在第一电极211上的正投影位于第二电极212在第一电极211上的正投影之内。
50.在本发明实施例中，第一电极211的材料为氧化铟锡，第二电极212的材料为铂。
51.第一电极211的材料与相关技术中采取的材料相同，均为氧化铟锡，使得在氧化铟锡上形成的第一压电结构213不具有取向性；在第一电极211上增加第二电极212，并且第二电极212的材料为铂(pt)，使得在金属铂上形成的第二压电结构214具有取向性。
52.在本发明实施例中，第一压电部213和第二压电部214的材料均为压电陶瓷(piezoelectric ceramic，pzt)，例如，压电陶瓷的材料可以为锆钛酸铅二元系压电陶瓷，化学式为pb(zr
1-x
ti
x
)o3，属abo3钙钛矿结构。
53.经实验检测，对第一压电部213对应的位置处进行x射线衍射，可得到如图3所示的xrd图谱，对第二压电部214对应的位置处进行x射线衍射，可得到如图4所示的xrd图谱。在图3和图4中，其横坐标为x射线衍射角2θ，纵坐标为衍射强度。
54.如图3所示，在对第一压电部213对应的位置处进行x射线衍射后，可发现两个衍射峰，其分别为101pzt的衍射峰和111pzt的衍射峰，101pzt指的是第一压电部213沿晶面(101)的衍射峰，111pzt指的是第一压电部213沿晶面(111)的衍射峰，将图3所示的第一压电部213对应位置处的xrd图谱与pzt标准xrd图谱进行对比，发现图3所示的xrd图谱中的各个衍射峰的峰值与pzt标准xrd图谱中的各个衍射峰的峰值基本相等，因此，可确定第一压电部213不具有取向性。
55.如图4所示，而在对第二压电部214对应的位置处进行x射线衍射后，可发现三个衍射峰，其分别为001pzt的衍射峰、111pt的衍射峰和002pzt的衍射峰，001pzt指的是第二压电部214沿晶面(001)的衍射峰，111pt指的是第二电极212沿晶面(111)的衍射峰，002pzt指的是第二压电部214沿晶面(002)的衍射峰，将图4所示的第二压电部214对应位置处的xrd图谱与pzt标准xrd图谱进行对比，发现图4所示的xrd图谱中，001pzt的衍射峰的峰值大于pzt标准xrd图谱中对应的衍射峰的峰值，因此，可确定第二压电部214沿(001)晶面的择优取向。
56.需要说明的是，因为在对第二压电部214进行x射线衍射时，x射线会照射到第二压
电部214下方的第二电极212上，因此，在图4中会有第二电极212沿晶面(111)的衍射峰。
57.进一步的，沿着第二压电部214指向第一压电部213的方向上，第一压电部213的宽度d2是第二压电部214的宽度d1的10倍至20倍。
58.在相关技术中，是直接在第一电极上形成压电结构的，且第一电极的材料为氧化铟锡，由于在实际制作过程中，在第一电极上形成压电薄膜之后，需要对压电薄膜在空气环境中进行高温退火处理，在对压电薄膜进行高温退火处理时，是将制作的整个结构处于高温环境下，此时，也会对第一电极进行高温退火，使得采用氧化铟锡的第一电极的阻值上升，导致第一电极的电荷分布不均，则在第一电极会发生电荷积累，导致压电结构被击穿而烧毁。而本发明实施例在第一电极211上增加第二电极212，且第一电极211的材料为氧化铟锡，第二电极212的材料为铂，由于铂的电导率大于氧化铟锡的电导率，因此，通过增加第二电极212可以降低整个底电极(其包括第一电极211和第二电极212)的阻值，并增加电荷分布区域，减少电荷因分布不均而造成积累，进而避免压电结构被击穿，提高压电元件21的可靠性。
59.并且，由于第二压电部214的宽度d1与第二电极212的宽度基本相等，因此，将第一压电部213的宽度d2设置成第二压电部214的宽度d1的10倍至20倍，可以有效控制第二电极212的宽度，进而通过第二电极212有效降低底电极的电阻，更有效地避免压电结构被击穿。
60.在本发明实施例中，在沿着垂直于第一电极211所在平面的方向上，第一电极211的厚度为100nm至500nm，第二电极212的厚度小于100nm。例如，第一电极211的厚度可以为200nm、300nm、400nm等，第二电极212的厚度可以为30nm、50nm、80nm等。
61.通过合理设置第一电极211和第二电极212的厚度，在使得压电元件21可以正常工作的同时，降低压电元件21的厚度。
62.在本发明实施例中，在沿着垂直于第一电极211所在平面的方向上，第一压电部213的厚度大于第二电极212的厚度。
63.由于后续还需要在压电结构远离第一电极211的一侧设置第三电极，即在压电结构远离第一电极211的一侧设置压电元件21的顶电极，因此，需要将第一压电部213的厚度设置成大于第二电极212的厚度，避免第三电极与第二电极212直接接触，而造成压电元件21无法正常工作。
64.进一步的，在沿着垂直于第一电极211所在平面的方向上，第二电极212的厚度与第二压电部214的厚度之和等于第一压电部213的厚度。
65.也就是说，第一压电部213远离第一电极211一侧的表面与第二压电部214远离第一电极211一侧的表面位于同一平面，后续在制作第三电极时，可使得第三电极远离第一电极211一侧的表面也位于同一平面，保证压电元件21的平坦度。
66.如图5所示，压电元件21还包括设置在压电结构远离第一电极211一侧的第三电极215。第三电极215实际上是压电元件21的顶电极，第三电极215覆盖第一压电部213和第二压电部214。
67.其中，第三电极215的结构可以与第一电极211的结构相同，均为面状电极，第三电极215的材料也可以为氧化铟锡。并且，第一电极211和第三电极215的形状均为矩形，则第二电极212的形状为矩形环。
68.需要说明的是，本发明实施例是在第一电极211的边缘增加第二电极212，并且采
用氧化铟锡作为第一电极211和第三电极215的材料，采用铂作为第二电极212的材料，在降低底电极电阻以及提高压电结构边缘的薄膜强度的同时，可保证压电元件21的透过率，使得光线可以正常穿过压电元件21。因此，本发明实施例的压电元件21可应用在需要具有高透过率压电元件的电子设备中。
69.在本发明实施例中，通过在第一电极上增加第二电极，并且在第一电极上生长第一压电部，在第二电极上生长第二压电部，使得围绕第一压电部的第二压电部具有取向性，有取向性的第二压电部的薄膜强度较高，则提高压电结构边缘的薄膜强度，避免压电结构的边缘位置出现缺陷，因此，在使用压电元件的过程中，进而避免了缺陷位置因振动出现破损，提高压电元件的可靠性。
70.实施例二
71.参照图6示出了本发明实施例的一种压电振动器的平面示意图，图7示出了本发明实施例的一种压电振动器的结构示意图，图7为图6沿截面a-a’的剖视图。
72.本发明实施例提供了一种压电振动器，包括衬底22以及设置在衬底22上的多个上述的压电元件21。
73.其中，衬底22可以为柔性衬底，也可以为刚性衬底，例如，柔性衬底的材料可以为pi(polyimide，聚酰亚胺)、pet(polyethylene terephthalate，聚对苯二甲酸乙二醇酯)或者pdms(polydimethylsiloxane，聚二甲基硅氧烷)，刚性衬底实际上可以为玻璃衬底。
74.在衬底22上设置有多个压电元件21，具体的，衬底22设置在第一电极211远离压电结构的一侧，即衬底22直接与压电元件21中的第一电极211接触。
75.进一步的，压电振动器还包括覆盖衬底22和各个压电元件21的绝缘层23，绝缘层23具有与每个压电元件21对应的第一过孔和第二过孔；压电振动器还包括设置在绝缘层23远离压电元件21一侧的走线层，走线层包括与每个压电元件21对应的第一信号线(未在图7中示出)和第二信号线241，每条第一信号线通过第一过孔与对应的压电元件21中的第一电极211连接，每条第二信号线241通过第二过孔与对应的压电元件21中的第三电极215连接。
76.其中，绝缘层23的材料为氮化硅和氧化硅中的至少一者，且绝缘层23具有贯穿的多个第一过孔和多个第二过孔，每个压电元件21对应一个第一过孔和一个第二过孔，且第一过孔可使得压电元件21中的第一电极211暴露出来，第二过孔可使得压电元件21中的第三电极215暴露出来。
77.在绝缘层23上设置有多条第一信号线和多条第二信号线，每个压电元件21对应一条第一信号线和一条第二信号线，针对每个压电元件21，其对应的第一信号线通过第一过孔与其包括的第一电极211连接，用于向第一电极211和第二电极212提供第一电压，其对应的第二信号线通过第二过孔与其包括的第三电极215连接，用于向第三电极215提供第二电压。其中，第一信号线和第二信号线的材料为导电材料，例如，第一信号线和第二信号线的材料为金属或合金等。
78.在实际使用过程中，是向各条第一信号线输入第一电压信号，从而实现向各个压电元件21中的第一电极211和第二电极212提供第一电压，并且，向各条第二信号线输入第二电压信号，从而实现向各个压电元件21中的第三电极215提供第二电压，且第一电压和第二电压不相等，压电元件21中的压电结构在第一电压和第二电压的控制下进行振动，即使得各个压电元件21中的第一压电部213和第二压电部214进行振动，从而实现触觉再现。
79.在本发明实施例中，通过在第一电极上增加第二电极，并且在第一电极上生长第一压电部，在第二电极上生长第二压电部，使得围绕第一压电部的第二压电部具有取向性，有取向性的第二压电部的薄膜强度较高，则提高压电结构边缘的薄膜强度，避免压电结构的边缘位置出现缺陷，因此，在使用压电元件的过程中，进而避免了缺陷位置因振动出现破损，提高压电元件的可靠性。
80.实施例三
81.参照图8，示出了本发明实施例的一种压电振动器的制作方法的流程图，具体可以包括如下步骤：
82.步骤801，在衬底上形成多个第一电极。
83.在本发明实施例中，首先，提供一衬底22，该衬底22可以为柔性衬底，也可以为刚性衬底，然后，在衬底22上采用构图工艺形成多个第一电极211。
84.具体的，先在衬底22上沉积第一电极薄膜，对第一电极薄膜在氮气环境下进行高温退火处理，来降低第一电极薄膜的电阻率，然后，在第一电极薄膜上涂覆光刻胶，对光刻胶曝光显影，接着对光刻胶去除区域处的第一电极薄膜进行刻蚀，并去除残留的光刻胶，从而实现在衬底22上形成多个第一电极211，第一电极211的材料为氧化铟锡。
85.步骤802，在每个所述第一电极上形成第二电极；每个所述第二电极具有暴露出所述第一电极的开口。
86.在本发明实施例中，在衬底22上形成第一电极211之后，首先沉积第二电极薄膜，在第二电极薄膜上涂覆光刻胶，对光刻胶曝光显影，接着对光刻胶去除区域处的第二电极薄膜进行刻蚀，并去除残留的光刻胶，从而实现在每个第一电极211上形成第二电极212。
87.其中，第二电极212的材料为铂；第二电极212的形状为环形，例如，第二电极212的形状为矩形环状，其具有暴露出第一电极211的开口，开口位于第一电极211的中部位置，则第二电极212实际上位于第一电极211的边缘位置。
88.步骤803，在每个所述第一电极和对应的所述第二电极上形成压电结构；其中，所述压电结构包括第一压电部和围绕所述第一压电部设置的第二压电部，所述第一压电部设置在所述开口内并与所述第一电极接触，所述第二压电部设置在所述第二电极远离所述第一电极的一侧；所述第二压电部具有取向性。
89.在本发明实施例中，在每个第一电极211上形成第二电极212之后，在每个第一电极211和对应的第二电极212上形成压电结构。
90.具体的，先采用干法镀膜或溶胶凝胶法(sol-gel)形成压电薄膜，然后将形成有压电薄膜的结构放置在550℃至650℃空气环境下进行高温退火处理，实现pzt晶粒的生长，从而形成良好的固溶相，接着在压电薄膜上涂覆光刻胶，对光刻胶曝光显影，接着对光刻胶去除区域处的压电薄膜进行刻蚀，从而实现在每个第一电极211和对应的第二电极212上形成压电结构。
91.其中，压电结构包括第一压电部213和围绕第一压电部213设置的第二压电部214，第一压电部213设置在开口内并与第一电极211接触，第二压电部214设置在第二电极212远离第一电极211的一侧；其中，第二压电部214具有取向性。
92.也就是说，在开口内的第一电极211上形成不具有取向性的第一压电部213，在第二电极212上形成具有取向性的第二压电部214，且第一压电部213和第二压电部214采用同
一构图工艺同时形成；并且，与第一压电部213的距离越远的第二压电部214，其取向性越好。
93.可选的，在步骤803之后，还包括步骤s81、步骤s82和步骤s83：
94.步骤s81，在每个所述压电结构远离所述第一电极的一侧形成第三电极，以得到多个压电元件；
95.步骤s82，形成覆盖所述衬底和各个所述压电元件的绝缘层；所述绝缘层具有与每个所述压电元件对应的第一过孔和第二过孔；
96.步骤s83，在所述绝缘层远离所述压电元件的一侧形成走线层；所述走线层包括与每个所述压电元件对应的第一信号线和第二信号线，每条所述第一信号线通过所述第一过孔与对应的所述压电元件中的所述第一电极连接，每条所述第二信号线通过所述第二过孔与对应的所述压电元件中的所述第三电极连接。
97.在每个第一电极211和对应的第二电极212上形成压电结构之后，在每个压电结构远离第一电极211的一侧形成第三电极215，以得到多个压电元件21。具体的，先沉积第三电极薄膜，在第三电极薄膜上涂覆光刻胶，对光刻胶曝光显影，接着对光刻胶去除区域处的第三电极薄膜进行刻蚀，并去除残留的光刻胶，从而实现在每个压电结构远离第一电极211的一侧形成第三电极215。
98.在形成多个压电元件21之后，形成覆盖衬底22和各个压电元件21的绝缘层23，绝缘层23具有与每个压电元件21对应的第一过孔和第二过孔。具体的，是先沉积绝缘层23，在绝缘层23上涂覆光刻胶，对光刻胶曝光显影，接着对光刻胶去除区域处的绝缘层23进行刻蚀，并去除残留的光刻胶，从而形成贯穿绝缘层23的第一过孔和第二过孔。
99.在形成覆盖衬底22和各个压电元件21的绝缘层23之后，在绝缘层23上采用构图工艺形成走线层，走线层包括与每个压电元件21对应的第一信号线(未在图7中示出)和第二信号线241，每条第一信号线通过第一过孔与对应的压电元件21中的第一电极211连接，用于向第一电极211和第二电极212提供第一电压，每条第二信号线241通过第二过孔与对应的压电元件21中的第三电极215连接，用于向第三电极215提供第二电压。
100.此外，在衬底22上形成多个压电元件21之后，还需要对压电元件21进行极化处理，以提高第一压电部213和第二压电部214的压电常数，使得压电元件21具有良好的压电特性。经实验检测，对压电元件21进行极化处理后，第一压电部213和第二压电部214的压电常数均大于1000
×
10-12
m/v。
101.需要说明的是，可以在形成绝缘层23和走线层之前，对压电元件21进行极化处理，即在步骤s82之前对压电元件21进行极化处理；也可以在形成绝缘层23和走线层之后，对压电元件21进行极化处理，即在步骤s83之后对压电元件21进行极化处理，关于极化处理的具体步骤，本发明实施例对此不做限制。
102.在本发明实施例中，通过在第一电极上增加第二电极，并且在第一电极上生长第一压电部，在第二电极上生长第二压电部，使得围绕第一压电部的第二压电部具有取向性，有取向性的第二压电部的薄膜强度较高，则提高压电结构边缘的薄膜强度，避免压电结构的边缘位置出现缺陷，因此，在使用压电元件的过程中，进而避免了缺陷位置因振动出现破损，提高压电元件的可靠性。
103.实施例四
104.本发明实施例还提供了一种电子设备，包括上述的压电振动器。
105.关于压电振动器的具体描述可以参照实施例二和实施例三的描述，本发明实施例对此不再赘述。
106.在实际产品中，电子设备可以为显示装置，显示装置包括显示面板和上述的压电振动器，压电振动器可设置在显示面板的出光侧，使得该显示装置可同时实现显示功能和触觉再现功能。
107.当然，本发明实施例的电子设备不局限于显示装置，其还可以为任何具有触觉再现功能的产品或部件。
108.在本发明实施例中，通过在第一电极上增加第二电极，并且在第一电极上生长第一压电部，在第二电极上生长第二压电部，使得围绕第一压电部的第二压电部具有取向性，有取向性的第二压电部的薄膜强度较高，则提高压电结构边缘的薄膜强度，避免压电结构的边缘位置出现缺陷，因此，在使用压电元件的过程中，进而避免了缺陷位置因振动出现破损，提高压电元件的可靠性。
109.对于前述的各方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本发明并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本发明，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作和模块并不一定是本发明所必须的。
110.本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。
111.最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、商品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、商品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、商品或者设备中还存在另外的相同要素。
112.以上对本发明所提供的一种压电元件、压电振动器及其制作方法、电子设备，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。