射频谐振器及滤波器的制作方法

技术特征：
1.一种射频谐振器，其特征在于，包括衬底、位于所述衬底上的压电层以及位于所述压电层上的上电极；所述上电极包括第一电极阵列和与所述第一电极阵列电势相反的第二电极阵列，所述第一电极阵列和所述第二电极阵列分别包括多个并排设置的子电极，且所述第一电极阵列的子电极和所述第二电极阵列的子电极交替排布；其中，所述压电层包括位于其中心的第一区域和位于所述第一区域之外的第二区域，位于所述第一区域的子电极的平均宽度大于位于所述第二区域的子电极的平均宽度。2.根据权利要求1所述的射频谐振器，其特征在于，位于所述第一区域的每个子电极的宽度均大于位于所述第二区域的任意一个子电极的宽度。3.根据权利要求1所述的射频谐振器，其特征在于，在所述第一区域内，相邻两个所述子电极的宽度不同。4.根据权利要求1至3任意一项所述的射频谐振器，其特征在于，所述第一电极阵列和所述第二电极阵列分别为叉指状电极。5.根据权利要求1至3任意一项所述的射频谐振器，其特征在于，所述第一电极阵列和所述第二电极阵列分别为环形电极阵列。6.根据权利要求1至3任意一项所述的射频谐振器，其特征在于，每个所述子电极包括多个电极块，相邻两个所述电极块通过电桥或电连接线相连。7.根据权利要求6所述的射频谐振器，其特征在于，所述电极块的形状为圆形、椭圆形和多边形中的任意一种；和/或，所述电桥的形状为直线形，圆形，弧形和多边形中的任意一种。8.根据权利要求1所述的射频谐振器，其特征在于，所述压电层的材料为铌酸锂、钽酸锂、氮化铝、钛酸锶钡或掺杂氮化铝、锆钛酸铅系压电陶瓷中的任意一种或者至少两种的组合。9.根据权利要求1所述的射频谐振器，其特征在于，所述上电极的材料为铂、钼、金、钨、铜、铬、铝中的任意一种或者至少两种的组合。10.一种滤波器，其特征在于，包括权利要求1至9中任意一项所述的射频谐振器。

技术总结
一种射频谐振器及滤波器，涉及谐振器技术领域。该射频谐振器包括衬底、位于衬底上的压电层以及位于压电层上的上电极；上电极包括第一电极阵列和与第一电极阵列电势相反的第二电极阵列，第一电极阵列和第二电极阵列分别包括多个并排设置的子电极，且第一电极阵列的子电极和第二电极阵列的子电极交替排布；其中，压电层包括位于其中心的第一区域和位于第一区域之外的第二区域，位于第一区域的子电极的平均宽度大于位于第二区域的子电极的平均宽度。该射频谐振器能够有效减少能量泄露、进一步激励压电层压电效应，并有效抑制伪模态。并有效抑制伪模态。并有效抑制伪模态。


技术研发人员：童欣 孙博文 刘文娟 萧莉燕 孙成亮
受保护的技术使用者：武汉敏声新技术有限公司
技术研发日：2022.03.11
技术公布日：2022/6/4