一种清洁工具及二次加料器清洁装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种清洁工具及二次加料器清洁装置。


背景技术：

2.在晶棒生长过程中，需要采用二次加料器进行加料。二次加料器管道长两米，直径242毫米，在使用过程中硅料粉尘会粘在加料管内壁上，若不及时清理会导致其暴露污染，并随硅料进入炉内，造成晶棒产品污染。但是二次加料器管道为高纯石英，内壁直径仅有242毫米，人员清洁困难。
3.在相关技术中，是在一根长杆上绑上无尘布进行清洁。由于杆端缠绕无尘布，且长杆脚软，无法贴合管壁擦拭，端头难以向管壁施加径向挤压力，需要频繁转圈更换角度进行擦拭，清洁费力且难以擦拭干净。


技术实现要素：

4.本公开实施例提供了一种清洁工具及二次加料器清洁装置，结构简单，操作方便，且清洁干净有效。
5.本公开实施例所提供的技术方案如下：
6.一种清洁工具，包括：
7.操作杆，所述操作杆包括相对的手持端和操作端；及
8.连接至所述操作端的清洁组件，所述清洁组件包括第一擦拭部和第二擦拭部，所述第一擦拭部与所述第二擦拭部之间通过铰接轴连接成可张合的夹子状结构，且在铰接处设有扭簧。
9.示例性的，所述铰接轴与所述操作杆的轴向一致。
10.示例性的，所述第一擦拭部和所述第二擦拭部均为弧形块状，且在所述夹子状结构张开时，所述第一擦拭部与所述第二擦拭部配合形成环形或半环形。
11.示例性的，所述第一擦拭部和所述第二擦拭部均包括相背的内弧形面和外弧形面，其中所述外弧形面与待清洁管件管壁匹配。
12.示例性的，所述第一擦拭部的所述内弧形面上设有第一凹槽，所述第二擦拭部的所述内弧形面上设有第二凹槽，所述扭簧包括套设于所述铰接轴的螺旋簧体及由所述螺旋簧体的两端分别伸出形成的两个伸出端，其中一个所述伸出端固定在所述第一凹槽内，另一个所述伸出端固定在所述第二凹槽内。
13.示例性的，所述清洁组件还包括擦拭布，所述擦拭布可拆卸地连接在所述第一擦拭部和所述第二擦拭部上。
14.示例性的，所述擦拭布通过夹子可拆卸地连接至所述第一擦拭部和所述第二擦拭部上。
15.一种二次加料器清洁装置，包括本公开实施例提供的清洁工具。
16.本公开实施例所带来的有益效果如下：
17.本公开实施例提供的清洁工具及二次加料器清洁装置，包括操作杆和连接在操作杆的操作端的清洁组件，其中清洁组件包括由第一擦拭部和第二擦拭部铰接形成的可张合的夹子状结构，且在铰接处设有扭簧，这样可通过扭簧的张力将第一擦拭部与第二擦拭部撑开，结构简单。使用该清洁工具进行清洁时，操作人员仅需用力向内合并第一擦拭部和第二擦拭部，使该夹子状结构合上而便于放入待清洁管件内，然后再松开，此时由于扭簧的作用力第一擦拭部和第二擦拭部会被撑开，从而可有效地与待清洁间管壁接触，来回内外拉动所述操作杆即可完成清洁，而操作人员无需再向管壁施加径向挤压力，操作更简单，且整个过程中无需频繁更换角度，即可无死角完成擦拭，清洁干净有效。
附图说明
18.图1表示本公开实施例中提供的清洁工具的结构示意图；
19.图2表示本公开实施例中提供的清洁工具在清洁过程中的结构示意图。
20.图中，各部件标记如下：
21.待清洁管件10；操作杆100；清洁组件200；第一擦拭部210；第二擦拭部220；铰接轴230；内弧形面201；外弧形面202；第一凹槽211；第二凹槽221；扭簧240；螺旋簧体241；伸出端242。
具体实施方式
22.为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。
23.除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
24.为了解决相关技术中二次加料器等内径小且管道长的管件清洁问题，本公开实施例提供了一种清洁工具及二次加料器清洁装置，结构简单，操作方便，且清洁干净有效。
25.图所示为本公开实施例提供的一种清洁工具的结构示意图。如图所示，该清洁工具主要包括操作杆100及清洁组件200，所述操作杆100包括相对的手持端和操作端；所述清洁组件200连接至所述操作端。所述清洁组件200包括第一擦拭部210和第二擦拭部220，所述第一擦拭部210与所述第二擦拭部220之间通过铰接轴230连接成可张合的夹子状结构，且在铰接处设有扭簧240。
26.上述方案中，该清洁工具主要包括操作杆100和连接在操作杆100的操作端的清洁组件200，其中清洁组件200包括由第一擦拭部210和第二擦拭部220铰接形成的可张合的夹子状结构，且在铰接处设有扭簧240，这样可通过扭簧240的张力将第一擦拭部210与第二擦拭部220撑开，结构简单。使用该清洁工具进行清洁时，操作人员仅需用力向内合并第一擦拭部210和第二擦拭部220，使该夹子状结构合上而便于放入待清洁管件10内，然后再松开，此时由于扭簧240的作用力第一擦拭部210和第二擦拭部220会被撑开，从而可有效地与待清洁间管壁接触，来回内外拉动所述操作杆100即可完成清洁，而操作人员无需再向管壁施加径向挤压力，操作更简单，且整个过程中无需频繁更换角度，即可无死角完成擦拭，清洁干净有效，且清洁效率提升。
27.在一些示例性的实施例中，如图所示，所述铰接轴230与所述操作杆100的轴向一致。这样的设置，所述操作杆100可沿待清洁管件10的轴向伸入至管体内部，而所述铰接轴230与所述操作杆100的轴向一致，可以使得该第一擦拭部210与第二擦拭部220在该待清洁管件10的径向上张合。当然可以理解的是，在其他实施例中，所述铰接轴230与所述操作杆100的轴向也可以是有一些夹角。
28.在一些示例性的实施例中，如图所示，所述第一擦拭部210和所述第二擦拭部220均为弧形块状，且在所述夹子状结构张开时，所述第一擦拭部210与所述第二擦拭部220配合形成环形或半环形。这样的设置，在所述第一擦拭部210与所述第二擦拭部220被撑开时，可配合成环形或半环形，从而可以与待清洁管件10的管壁更有效地贴合，仅沿操作杆100轴向来回拉动操作杆100即可实现面擦拭，这样可以在擦拭时减少更换角度的次数，操作更方便。当然可以理解的是，在其他实施例中，所述第一擦拭部210和所述第二擦拭部220的具体形状可以不限于此，例如，所述第一擦拭部210和所述第二擦拭部220也可以是仅一部分呈弧形块状。
29.此外，在一些示例性的实施例中，如图1所示，所述第一擦拭部210和所述第二擦拭部220均包括相背的内弧形面201和外弧形面202，其中所述外弧形面202与待清洁管件10的管壁匹配。这样的设置，所述第一擦拭部210与所述第二擦拭部220可以与待清洁管件10更好的贴合。
30.在一些示例性的实施例中，如图所示，所述第一擦拭部210的所述内弧形面201上设有第一凹槽211，所述第二擦拭部220的所述内弧形面201上设有第二凹槽221，所述扭簧240包括套设于所述铰接轴230的螺旋簧体241及由所述螺旋簧体241的两端分别伸出形成的两个伸出端242，其中一个所述伸出端固定在所述第一凹槽211内，另一个所述伸出端固定在所述第二凹槽221内。采用上述方案，通过在第一擦拭部210和第二擦拭部220的内弧形面201上设置凹槽来固定扭簧240的两个伸出端。应当理解的是，在其他实施例中，所述扭簧240的固定方式不限于此。
31.在一些实施例中，所述第一擦拭部210和所述第二擦拭部220的材质可以选用ptfe(聚四氟乙烯)等，应用于石英管等对清洁环境要求较高的场合时，可避免对待清洁管件10的损伤。
32.此外，在一些示例性的实施例中，所述清洁组件200还包括擦拭布，所述擦拭布可拆卸地连接在所述第一擦拭部210和所述第二擦拭部220上。示例性的，所述擦拭布通过夹子可拆卸地连接至所述第一擦拭部210和所述第二擦拭部220上。
33.采用上述方案，所述擦拭布可采用塑料夹子固定在第一擦拭部210和第二擦拭部220上，方便拆卸。使用过程中，操作人员仅需将擦拭布用塑料夹子等方式固定在第一擦拭部210和第二擦拭部220上，再用力向内合并两个擦拭部之后放入待清洁管件10内松开，来回内外拉动操作杆100即可完成清洁。当然可以理解的是，所述擦拭布也可以通过其他方式设置在所述第一擦拭部210和所述第二擦拭部220上。
34.需要说明的是，本公开实施例中的清洁工具可以应用于各种管件清洁场合，尤其是，适用于硅片的二次加料器清洁。
35.本公开实施例还提供了一种二次加料器清洁装置，包括本公开实施例提供的清洁工具。显然，该二次加料器清洁装置也具有本公开实施例提供的清洁工具所带来的有益效果。
36.有以下几点需要说明：
37.(1)本公开实施例附图只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计。
38.(2)为了清晰起见，在用于描述本公开的实施例的附图中，层或区域的厚度被放大或缩小，即这些附图并非按照实际的比例绘制。可以理解，当诸如层、膜、区域或基板之类的元件被称作位于另一元件“上”或“下”时，该元件可以“直接”位于另一元件“上”或“下”或者可以存在中间元件。
39.(3)在不冲突的情况下，本公开的实施例及实施例中的特征可以相互组合以得到新的实施例。
40.以上，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，本公开的保护范围应以权利要求的保护范围为准。