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一种高纯四硼化硅粉末及其制备方法与流程

2022-06-01 14:59:39 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种高纯四硼化硅粉末,其特征在于,采用结晶度在40%-60%之间的硼粉,选择硼粉和硅粉以3.2∶1-4∶1的硼硅摩尔比例在气氛炉中高温反应合成。2.根据权利要求1所述的高纯四硼化硅粉末,其特征在于,所述硅粉平均粒度在4-8微米之间,纯度在99.99%以上,所述硼粉平均粒度在1-3微米之间,纯度在99%以上。3.一种权利要求1或2所述的高纯四硼化硅粉末的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)将硅粉和硼粉按比例称重;(2)将硅粉和硼粉放入混料机中混合均匀;(3)将混合均匀的粉末装入刚玉坩埚中,并将坩埚放入气氛烧结炉中,使用高纯氩气对气氛炉炉腔进行清洗,直至炉腔内氧含量低于30ppm;(4)在氩气气氛保护下以5℃/min的速率升温至1280-1350℃,保温2-3h,以5℃/min的速度降温至室温;(5)将烧结后的粉末使用行星球磨机球磨破碎。4.根据权利要求3所述的高纯四硼化硅的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中,向混料机中加入玛瑙球和酒精,球料比为2∶1,酒精与粉末的比例为2∶1,混合时间为2h,混合均匀后将粉末与酒精的混合物倒入托盘中,放入烘箱中70℃烘干。5.根据权利要求3所述的高纯四硼化硅的制备方法,其特征在于,所述步骤(5)中,球料比为2∶1,酒精与粉末的比例为2∶1,球磨时间为4h,球磨后在70℃烘干酒精,使用200目筛网过滤出玛瑙球。

技术总结
本发明公开了一种高纯四硼化硅粉末及其制备方法。该高纯四硼化硅粉末采用结晶度在40%-60%之间的硼粉,选择硼粉和硅粉以3.2∶1-4∶1的硼硅摩尔比例在气氛炉中高温反应合成,具体包括以下步骤:(1)将硅粉和硼粉按比例称重;(2)将硅粉和硼粉放入混料机中混合均匀;(3)将混合均匀的粉末装入刚玉坩埚中,并将坩埚放入气氛烧结炉中,使用高纯氩气对气氛炉炉腔进行清洗,直至炉腔内氧含量低于30ppm;(4)在氩气气氛保护下以5℃/min的速率升温至1280-1350℃,保温2-3h,以5℃/min的速度降温至室温;(5)将烧结后的粉末使用行星球磨机球磨破碎。本发明的高纯四硼化硅粉末经XRD测定全部物相为SiB4相,且除Si和B外其他杂质含量小于1%。小于1%。


技术研发人员:张庆猛 陈均优 周敏 杨志民 杨剑
受保护的技术使用者:有研工程技术研究院有限公司
技术研发日:2020.11.27
技术公布日:2022/5/31
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