一种探针台磨针设置的方法与流程

1.本发明涉及晶圆测试技术领域，具体为一种探针台磨针设置的方法。


背景技术：

2.晶圆测试过程中，针卡针尖会与芯片pad接触，构成测试回路，这一过程pad铝屑会在针尖上产生残留，prober空腔内颗粒也会产生电性吸附，这些杂质会附着在针尖上，造成针尖阻抗增加，导致测试机给到芯片pad上的信号值偏差，产生测试值偏差，当达到一定误差后，甚至会影响测试结果。
3.一般探针台内都含清针模块，会对针尖进行磨针处理，以清除掉针尖这些杂质，改善测试接触状况。当前行业通用做法为对应不同针卡类型和针卡材质，探针台厂商和测试工程人员评估设置固定清针频率，但这种清针逻辑，在实际量产过程中和针尖阻抗值实时相关性较弱，不能准确对应阻抗偏高节点，同时针对性做清理动作，也有可能因为频率设置太高，加速针卡磨损，降低针卡使用寿命。
4.因此需要设计一种探针台磨针设置的方法，解决上述提及的技术问题，通过动态分析针尖阻抗表征测试项iddq，最终达到精准磨针，有效提升测试质量，延长针卡资产寿命。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种探针台磨针设置的方法，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种探针台磨针设置的方法，测试机通过测试数据系统实时监测iddq值，在测试全过程中，利用统计学过程算法计算出过程标准差σ值，并和实时抓取到的测试值进行比对，当超出预先设定的spec值时，测试机通过gpib通讯线发送清针信号给探针台，探针台接收指令后触发相关清针动作。
7.测试数据系统单独为iddq采集和分析开辟一个通道，并定制开发过程分析功能。
8.分析在数据库后台独立运行。
9.测试机上接收数据库交互软件，与数据上传通道区分和区分时序。
10.测试机交互软件传输清针指令信号采用新地址位。
11.本发明同现有技术相比，实现了清针频率动态调整，减少了异常分析和人为干预，节约了人力成本；通过精准对照iddq表征参数值进行清针动作，可有效减少相关测试异常，提升测试质量，实时监测idd动态参数和数据库后台关联分析改进针卡使用相关设定，有效的较少了针卡磨损，提升了针卡寿命。
附图说明
12.图1是本发明的晶圆测试时针尖和pad针痕示意图一；
13.图2是本发明的晶圆测试时针尖和pad针痕示意图二；
14.图3是本发明的清针方案工作流程图；
具体实施方式
15.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
16.请参阅图1～3，本发明提供一种技术方案：一种探针台磨针设置的方法，测试机通过测试数据系统实时监测iddq值，在测试全过程中，利用统计学过程算法计算出过程标准差σ值，并和实时抓取到的测试值进行比对，当超出预先设定的spec值时，测试机通过gpib通讯线发送清针信号给探针台，探针台接收指令后触发相关清针动作。
17.测试数据系统单独为iddq采集和分析开辟一个通道，并定制开发过程分析功能，不影响日常测试结果分析。
18.分析在数据库后台独立运行，不会增加测试机&探针台运行压力。
19.测试机上接收数据库交互软件，与数据上传通道区分和区分时序，不影响测试数据上传数据库。
20.测试机交互软件传输清针指令信号采用新地址位，不影响测试机传输bin信号到探针台。
21.名词描述：
22.晶圆测试：使用测试设备测试在晶圆上的待测芯片。
23.探针台：用于固定探针卡并移动晶圆的装置
24.探针卡：测试设备与晶圆上待测芯片之间的接口，用于固定带探针的探针头，其中探针与芯片pad接触。
25.pad:晶圆待测芯片的管脚。
26.iddq:cmos集成电路中的所有管子都处于静止状态时的电源总电流。
27.工作原理：
28.测试机将测试数据采集后上传至测试管理数据库进行iddq测试值筛选，通过过程算法分析得出σ值，与针卡管理系统中的针卡参数和磨针记录做联动分析，经过和预先设定的spec值作对比后，返回清针flag值，将数据回传给测试机中的测试机和探针台交互软件，通过gpib通讯传递给探针台的清针模块进行清针，针卡管理系统会评估改进磨针方案并做对应调整后通知探针台的清针模块进行清针。
29.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种探针台磨针设置的方法，其特征在于，测试机通过测试数据系统实时监测iddq值，在测试全过程中，利用统计学过程算法计算出过程标准差σ值，并和实时抓取到的测试值进行比对，当超出预先设定的spec值时，测试机通过交互软件通讯线发送清针信号给探针台，探针台接收指令后触发相关清针动作。2.根据权利要求1所述的一种探针台磨针设置的方法，其特征在于，所述测试数据系统单独为iddq采集和分析开辟一个通道，并定制开发过程分析功能。3.根据权利要求2所述的一种探针台磨针设置的方法，其特征在于，所述分析在测试管理数据库后台独立运行。4.根据权利要求1所述的一种探针台磨针设置的方法，其特征在于，所述测试机上接收数据库交互软件，与数据上传通道区分和区分时序。5.根据权利要求1所述的一种探针台磨针设置的方法，其特征在于，所述测试机交互软件传输清针指令信号采用新地址位。

技术总结
本发明涉及晶圆测试技术领域，具体为一种探针台磨针设置的方法，测试机通过测试数据系统实时监测IDDQ值，在测试全过程中，利用统计学过程算法计算出过程标准差σ值，并和实时抓取到的测试值进行比对，当超出预先设定的spec值时，测试机通过GPIB通讯线发送清针信号给探针台，探针台接收指令后触发相关清针动作，本发明同现有技术相比，实现了清针频率动态调整，减少了异常分析和人为干预，节约了人力成本；通过精准对照IDDQ表征参数值进行清针动作，可有效减少相关测试异常，提升测试质量，实时监测IDD动态参数和数据库后台关联分析改进针卡使用相关设定，有效的较少了针卡磨损，提升了针卡寿命。升了针卡寿命。升了针卡寿命。


技术研发人员：熊忠应 祁建华
受保护的技术使用者：上海华岭集成电路技术股份有限公司
技术研发日：2022.02.28
技术公布日：2022/5/31