流体控制装置、流体控制装置的控制方法和程序存储介质与流程

技术特征：
1.一种流体控制装置，其特征在于包括：控制阀，设置在流道上，开度根据被施加的电压而变化；流体传感器，测定在所述流道中流动的流体的流量或压力；电压生成电路，将与输入的电压指令对应的电压向所述控制阀输出；以及阀控制器，以使所述流体传感器测定的测定量与设定量的偏差减小的方式控制所述控制阀，所述阀控制器具备：初期驱动电压设定部，在使所述控制阀从完全关闭状态向规定开度变化的情况下，向所述电压生成电路输入用于设定对所述控制阀施加的初期驱动电压的电压指令；以及驱动历史记录存储部，用于存储所述控制阀的驱动历史记录信息，所述初期驱动电压设定部根据所述驱动历史记录信息改变所述初期驱动电压的值。2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，所述控制阀是在未施加电压的状态下成为完全关闭状态的常闭型的阀，所述驱动历史记录信息包含所述控制阀的开关次数，所述初期驱动电压设定部根据所述控制阀的开关次数使所述初期驱动电压降低。3.根据权利要求2所述的流体控制装置，其特征在于，所述控制阀的开关次数在规定值以上的情况下，所述初期驱动电压设定部将所述初期驱动电压设定为预定的固定值。4.根据权利要求2所述的流体控制装置，其特征在于，所述初期驱动电压设定为低于打开起始电压的值，所述打开起始电压是所述控制阀从完全关闭状态开始打开的电压。5.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，所述控制阀是未施加电压的状态下成为完全打开状态的常开型的阀，所述驱动历史记录信息包含所述控制阀的开关次数，所述初期驱动电压设定部根据所述控制阀的开关次数使所述初期驱动电压上升。6.根据权利要求2所述的流体控制装置，其特征在于，所述控制阀具备通过切削加工或拉深加工中任意一方而形成的隔板，所述初期驱动电压设定部根据所述隔板的加工方法使相对于所述开关次数的所述初期驱动电压的变化量不同。7.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，所述阀控制器还具备反馈控制部，所述反馈控制部根据所述设定量与所述测定量的偏差，计算向所述电压生成电路输入的电压指令，在所述初期驱动电压输入所述控制阀之后，由所述反馈控制部计算的电压指令被输入所述电压生成电路。8.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，所述控制阀根据所述控制阀的使用环境温度改变可输出的电压的上限值。9.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，所述阀控制器还具备温度修正部，所述温度修正部根据所述控制阀的使用环境温度对所述初期驱动电压进行修正。10.一种流体控制装置的控制方法，所述流体控制装置包括：控制阀，设置在流道上，开度根据被施加的电压而变化；流体传感器，测定在所述流道中流动的流体的流量或压力；以及电压生成电路，将与输入的电压指令对应的电压向所述控制阀输出，所述流体控制装置
的控制方法的特征在于，包括：通过以使所述流体传感器测定的测定量与设定量的偏差减小的方式向所述控制阀输出电压来控制所述控制阀；以及在使所述控制阀从完全关闭状态向规定开度变化的情况下，向所述电压生成电路输入用于设定对所述控制阀施加的初期驱动电压的电压指令，根据所述控制阀的驱动历史记录信息改变所述初期驱动电压的值。11.一种程序存储介质，存储有流体控制装置用程序，所述流体控制装置包括：控制阀，设置在流道上，开度根据被施加的电压而变化；流体传感器，测定在所述流道中流动的流体的流量或压力；以及电压生成电路，将与输入的电压指令对应的电压向所述控制阀输出，所述程序存储介质的特征在于，计算机通过执行所述程序而发挥作为阀控制器的功能，所述阀控制器以使所述流体传感器测定的测定量与设定量的偏差减小的方式控制所述控制阀，所述阀控制器具备：初期驱动电压设定部，在使所述控制阀从完全关闭状态向规定开度变化的情况下，向所述电压生成电路输入用于设定对所述控制阀施加的初期驱动电压的电压指令；以及驱动历史记录存储部，用于存储所述控制阀的驱动历史记录信息，所述初期驱动电压设定部根据所述驱动历史记录信息改变所述初期驱动电压的值。

技术总结
本发明提供流体控制装置、流体控制装置的控制方法和程序存储介质，能够将在从完全关闭状态以使测定量成为设定量的方式控制控制阀时施加的初期施加电压尽可能设定为接近打开起始电压的值，能够提高响应速度的同时能够防止大幅逸出等的产生。所述流体控制装置的阀控制器(2)具备：初期驱动电压设定部(22)，在使控制阀(V)从完全关闭状态向规定开度变化的情况下，向电压生成电路输入用于设定对所述控制阀(V)施加的初期驱动电压的电压指令；以及驱动历史记录存储部(21)，用于存储所述控制阀的驱动历史记录信息，所述初期驱动电压设定部(22)根据所述驱动历史记录信息改变所述初期驱动电压的值。电压的值。电压的值。


技术研发人员：赤土和也
受保护的技术使用者：株式会社堀场STEC
技术研发日：2021.11.16
技术公布日：2022/5/31