一种芯片制造保护气体流量控制装置

1.本发明涉及金属加工装置技术领域，尤其涉及一种芯片制造保护气体流量控制装置。


背景技术：

2.焊接属于芯片制造过程的重要步骤之一，在焊接时，保护气体的流量也起着重要作用，在焊接过程中使用的保护气体的关键目的是保护熔融熔池，保护气体流量通过保护气体流量控制装置进行控制。
3.目前，现有技术(cn202571550u)公开了一种消声器焊接保护气体流量控制装置，包括第一流量计、调压阀、管路、电磁阀、焊接机器人和plc控制单元。管路上依次装设有第一流量计、调压阀和电磁阀，管路的出口和焊接机器人连接。电磁阀和plc控制单元对应信号连接。在焊接机器人的机器人焊枪上装设有第二流量计。本实用新型通过简易装置，检测机器人焊枪处气体流量，避免了不能准确检测工作站内部管路及控制元件造成的流量损失，从而保证了工件焊接处保护气体的质量，避免了焊接质量不合格消声器的产生。
4.采用上述方式，保护气体在管路内流动时所产生的震动会使得管路与焊接机器人的连接端断开。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种芯片制造保护气体流量控制装置，旨在解决保护气体在管路内流动时所产生的震动会使得管路与焊接机器人的连接端断开的问题。
6.为实现上述目的，本发明提供了一种芯片制造保护气体流量控制装置，包括流量控制机构和焊接机器人；
7.所述流量控制机构包括管路、控制组件、安装环、两个限位环、两个支杆、两个滑槽、两个抵持块、两个复位弹簧和两个滑动组件，所述控制组件设置于所述管路的内侧壁，所述安装环与所述管路滑动连接，并位于所述管路外侧壁，两个所述限位环分别与所述管路固定连接，均位于所述管路外侧壁，两个所述支杆分别与所述安装环固定连接，均位于安装环外侧壁，两个所述滑槽分别与两个所述支杆固定连接，均位于远离所述安装环的一侧，两个所述抵持块分别与两个所述滑槽滑动连接，均位于所述滑槽内侧壁，两个所述复位弹簧的一侧分别与两个所述滑槽固定连接，两个所述复位弹簧的另一侧分别与两个所述抵持块固定连接，均位于所述滑槽与所述抵持块之间，两个所述滑动组件分别设置于两个所述抵持块的内侧壁；
8.所述焊接机器人包括连接管和焊接组件，所述连接管与所述管路螺纹连接，并位于所述管路内侧壁，所述焊接组件与所述连接管固定连接，并位于远离所述管路的一侧，所述连接管具有两个卡槽，所述抵持块与所述卡槽契合。
9.其中，所述流量控制机构还包括两个拉杆，两个所述拉杆分别与两个所述抵持块固定连接，均贯穿所述滑槽。
10.其中，所述流量控制机构还包括两个拉环，两个所述拉环分别与两个所述拉杆固定连接，均位于远离所述抵持块的一侧。
11.其中，所述流量控制机构还包括密封圈，所述密封圈与所述管路固定连接，并位于靠近所述连接管的一侧。
12.其中，所述连接管具有两个滑轨，两个所述滑轨均位于所述连接管外侧壁。
13.其中，所述控制组件包括流量计和调压阀，所述流量计与所述管路固定连接，并位于所述管路内侧壁，所述调压阀与所述管路固定连接，并位于所述管路内侧壁。
14.其中，所述控制组件还包括电磁阀，所述电磁阀与所述管路固定连接，并位于所述管路外侧壁。
15.本发明的一种芯片制造保护气体流量控制装置，将所述连接管通过螺纹连接在所述管路内侧壁，将所述安装环在所述管路上滑动带动所述抵持块通过所述滑动组件在所述连接管外侧壁上滑动，直至所述滑动组件带动所述抵持块进入所述卡槽内，从而将所述连接管卡紧在所述管路上，解决了保护气体在管路内流动时所产生的震动会使得管路与焊接机器人的连接端断开的问题。
附图说明
16.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1是本发明提供的一种芯片制造保护气体流量控制装置的结构示意图。
18.图2是本发明提供的一种芯片制造保护气体流量控制装置的侧视图。
19.图3是图2沿a-a面的剖视图。
20.图4是图3细节b处的放大图。
21.图5是图3细节c处的放大图。
22.1-流量控制机构、2-焊接机器人、3-管路、4-控制组件、5-安装环、6-限位环、7-支杆、8-滑槽、9-抵持块、10-复位弹簧、11-滑动组件、12-连接管、13-焊接组件、14-卡槽、15-拉杆、16-拉环、17-密封圈、18-滑轨、19-流量计、20-调压阀、21-电磁阀、22-转轴、23-滚珠、24-保护套。
具体实施方式
23.下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
24.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
25.请参阅图1至图5，本发明提供一种芯片制造保护气体流量控制装置，包括流量控制机构1和焊接机器人2；
26.所述流量控制机构1包括管路3、控制组件4、安装环5、两个限位环6、两个支杆7、两个滑槽8、两个抵持块9、两个复位弹簧10和两个滑动组件11，所述控制组件4设置于所述管路3的内侧壁，所述安装环5与所述管路3滑动连接，并位于所述管路3外侧壁，两个所述限位环6分别与所述管路3固定连接，均位于所述管路3外侧壁，两个所述支杆7分别与所述安装环5固定连接，均位于安装环5外侧壁，两个所述滑槽8分别与两个所述支杆7固定连接，均位于远离所述安装环5的一侧，两个所述抵持块9分别与两个所述滑槽8滑动连接，均位于所述滑槽8内侧壁，两个所述复位弹簧10的一侧分别与两个所述滑槽8固定连接，两个所述复位弹簧10的另一侧分别与两个所述抵持块9固定连接，均位于所述滑槽8与所述抵持块9之间，两个所述滑动组件11分别设置于两个所述抵持块9的内侧壁；
27.所述焊接机器人2包括连接管12和焊接组件13，所述连接管12与所述管路3螺纹连接，并位于所述管路3内侧壁，所述焊接组件13与所述连接管12固定连接，并位于远离所述管路3的一侧，所述连接管12具有两个卡槽14，所述抵持块9与所述卡槽14契合。
28.在本实施方式中，所述流量控制机构1的所述管路3为所述安装环5、所述限位环6和所述焊接机器人2的所述连接管12提供安装条件，所述控制组件4用于控制所述管路3内的流向所述焊接组件13的保护气的流量，在将所述连接管12固定在所述管路3上时，首先将所述连接管12通过螺纹连接在所述管路3内侧壁，然后将所述安装环5在所述管路3上滑动带动所述支杆7上的所述滑槽8内的所述抵持块9通过所述滑动组件11在所述连接管12外侧壁上滑动，直至所述滑动组件11带动所述抵持块9与所述卡槽14重合，所述滑槽8内的所述复位弹簧10的回弹力推动所述抵持块9向所述卡槽14方向在所述滑槽8内侧壁上滑动，并带动所述滑动组件11进入所述卡槽14，从而将所述连接管12卡紧在所述管路3上，两个所述限位环6限制所述安装环5在所述管路3上的滑动范围，避免所述安装环5滑出所述管路3，解决了保护气体在管路3内流动时所产生的震动会使得管路3与焊接机器人2的连接端断开的问题。
29.进一步的，所述流量控制机构1还包括两个拉杆15，两个所述拉杆15分别与两个所述抵持块9固定连接，均贯穿所述滑槽8；所述流量控制机构1还包括两个拉环16，两个所述拉环16分别与两个所述拉杆15固定连接，均位于远离所述抵持块9的一侧；所述流量控制机构1还包括密封圈17，所述密封圈17与所述管路3固定连接，并位于靠近所述连接管12的一侧。
30.在本实施方式中，所述密封圈17增加了所述连接管12和所述管路3连接端的密封性，在将所述连接管12从所述管路3上拆除时，通过所述拉环16上的所述拉杆15向远离所述连接管12方向拉动所述抵持块9，直至所述抵持块9和所述滑动组件11与所述卡槽14分开，即可将所述连接管12从所述管路3上拆除。
31.进一步的，所述连接管12具有两个滑轨18，两个所述滑轨18均位于所述连接管12外侧壁；所述控制组件4包括流量计19和调压阀20，所述流量计19与所述管路3固定连接，并位于所述管路3内侧壁，所述调压阀20与所述管路3固定连接，并位于所述管路3内侧壁；所述控制组件4还包括电磁阀21，所述电磁阀21与所述管路3固定连接，并位于所述管路3外侧壁。
32.在本实施方式中，所述连接管12上的所述滑轨18对所述滑动组件11进行导向，使得所护抵持块9在所述滑动组件11的带动下，精准移动到所述卡槽14内，所述流量计19对所述管路3内的保护气的流量进行监测，所述调压阀20控制保护气在所述管路3内的流通速度，所述电磁阀21实现所述管路3的开和关。
33.进一步的，所述滑动组件11包括转轴22和滚珠23，所述转轴22与所述抵持块9固定连接，并位于所述抵持块9内侧壁，所述滚珠23与所述转轴22转动连接，并位于所述转轴22外侧壁；所述滑动组件11还包括保护套24，所述保护套24与所述滚珠23固定连接，均位于所述滚珠23外侧壁。
34.在本实施方式中，所述滑动组件11的所述滚珠23在所述连接管12上的所述滑轨18上滑动，并通过所述转轴22在所述抵持块9上转动，从而较小所述滚珠23与所述连接管12之间的摩擦力，所述保护套24壳避免所述滚珠23与所述连接管12接触摩擦造成损坏。
35.以上所揭露的仅为本发明一种芯片制造保护气体流量控制装置较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于发明所涵盖的范围。