一种大尺寸包装片盒清洗后的保护方法与流程

1.本发明涉及硅片生产技术领域，具体为一种大尺寸包装片盒清洗后的保护方法。


背景技术：

2.在进行硅片生产加工的过程中，随着硅片尺寸的增大，片盒清洗难度的增大，对包装产品的片盒需要做到颗粒和金属的保护措施，已有的片盒清洗后存放环境颗粒效果较差，片盒存在静电吸附颗粒粒子和金属离子，对片盒的保护措施不完善。


技术实现要素：

3.本发明的目的在于提供一种大尺寸包装片盒清洗后的保护方法，以解决上述背景技术中提出的在进行硅片生产加工过程中，随着硅片尺寸的增大，片盒清洗难度的增大，对包装产品的片盒需要做到颗粒和金属的保护措施，已有的片盒清洗后存放环境颗粒效果较差，片盒存在静电吸附颗粒粒子和金属离子，对片盒的保护措施不完善的问题。
4.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种大尺寸包装片盒清洗后的保护方法，其保护方法包括以下步骤：
5.s1、首先将待清洗片盒经过高温清洗、高温烘干清洗后，对清洁后的片盒内环境进行初步颗粒环境稳定和片盒降温，对清洁后片盒在设备内冷却一定时间，根据实际需求进行选择，员工需要更换新的手套，防止人员的二次沾污，取出设备上的清洁后的片盒。
6.s2、然后进行开盖模式：将清洗后的主体片盒放置在专用片盒架上，合盒盖虚掩盖在片盒主体上，保持未封闭状态，专用片盒架需要配置包括专门的离子棒辐射范围内，用于消除片盒的静电，防止静电导致的颗粒粒子和金属粒子的吸附，专门的氮气通气孔，作为保护气体，用于保护和净化片盒内环境，进行片盒的二次降温，防止片盒内部环境温度高，立即合上盒盖会提前导致片盒内外环境压强不一致，由于热胀冷缩会造成片盒盒盖的开启困难，也会对开启盒盖的设备造成损坏风险，此过程进行一定时间，根据实际需求进行选择。
7.s3、最后进行合盖模式：将盒盖轻柔的合在片盒主体上，防止暴力作业导致盒盖旋钮硬件损坏，及时合上盒盖防止环境颗粒对清洗后的片盒二次沾污，完成合盖动作后片盒可以放入流水线进行包装产品。
8.优选的，所述清洁后片盒需要单独放置在一个洁净的微环境中，且微环境需要配置单独的风机过滤单元。
9.优选的，所述片盒的二次降温的时间为5-15分钟，且对清洁后片盒在设备内冷却的时间为5-30分钟。
10.与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明在硅片生产加工的过程中，可以作为一种包装片盒清洗后的保护方法，使清洗后片盒的颗粒效果和金属离子效果维持良好的效果，防止放置不当造成的二次沾污，使得对片盒的保护措施更加完善。
附图说明
11.图1为本发明的片盒清洗后具体流程流程框图；
12.图2为本发明的待清洗片盒效果图。
具体实施方式
13.下面对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
14.实施例一：
15.参阅图1-2，本实施例的保护方法包括以下步骤：
16.s1、首先将待清洗片盒经过高温清洗、高温烘干清洗后，对清洁后的片盒内环境进行初步颗粒环境稳定和片盒降温，对清洁后片盒在设备内冷却一定时间，根据实际需求进行选择，员工需要更换新的手套，防止人员的二次沾污，取出设备上的清洁后的片盒。
17.s2、然后进行开盖模式：将清洗后的主体片盒放置在专用片盒架上，合盒盖虚掩盖在片盒主体上，保持未封闭状态，专用片盒架需要配置包括专门的离子棒辐射范围内，用于消除片盒的静电，防止静电导致的颗粒粒子和金属粒子的吸附，专门的氮气通气孔，作为保护气体，用于保护和净化片盒内环境，进行片盒的二次降温，防止片盒内部环境温度高，立即合上盒盖会提前导致片盒内外环境压强不一致，由于热胀冷缩会造成片盒盒盖的开启困难，也会对开启盒盖的设备造成损坏风险，此过程进行一定时间，根据实际需求进行选择。
18.s3、最后进行合盖模式：将盒盖轻柔的合在片盒主体上，防止暴力作业导致盒盖旋钮硬件损坏，及时合上盒盖防止环境颗粒对清洗后的片盒二次沾污，完成合盖动作后片盒可以放入流水线进行包装产品。
19.本实施例中，清洁后片盒需要单独放置在一个洁净的微环境中，且微环境需要配置单独的风机过滤单元。
20.本实施例中，片盒的二次降温的时间为5-15分钟，且对清洁后片盒在设备内冷却的时间为5-30分钟。
21.实验结果表明本发明相较于原工艺方法能够使清洗后片盒的颗粒效果和金属离子效果维持良好的效果，防止放置不当造成的二次沾污，使得对片盒的保护措施更加完善。
22.实施例二：
23.与实施例一的区别特征在于：
24.本实施例的保护方法包括以下步骤：
25.s1、首先将待清洗片盒经过高温清洗、高温烘干清洗后，对清洁后的片盒内环境进行初步颗粒环境稳定和片盒降温，对清洁后片盒在设备内冷却一定时间，根据实际需求进行选择，员工需要更换新的手套，防止人员的二次沾污，取出设备上的清洁后的片盒。
26.s2、然后进行开盖模式：将清洗后的主体片盒放置在专用片盒架上，合盒盖虚掩盖在片盒主体上，保持未封闭状态，专用片盒架需要配置包括专门的离子棒辐射范围内，用于消除片盒的静电，防止静电导致的颗粒粒子和金属粒子的吸附，专门的氮气通气孔，作为保护气体，用于保护和净化片盒内环境，进行片盒的二次降温，防止片盒内部环境温度高，立
即合上盒盖会提前导致片盒内外环境压强不一致，由于热胀冷缩会造成片盒盒盖的开启困难，也会对开启盒盖的设备造成损坏风险，此过程进行一定时间，根据实际需求进行选择。
27.s3、最后进行合盖模式：将盒盖轻柔的合在片盒主体上，防止暴力作业导致盒盖旋钮硬件损坏，及时合上盒盖防止环境颗粒对清洗后的片盒二次沾污，完成合盖动作后片盒可以放入流水线进行包装产品。
28.本实施例中，清洁后片盒需要单独放置在一个洁净的微环境中，且微环境需要配置单独的风机过滤单元。
29.本实施例中，片盒的二次降温的时间为20-30分钟，且对清洁后片盒在设备内冷却的时间为30-50分钟。
30.综上：本发明实施例一中的本发明实验结果表明，相比于实施例二中工艺实验结果，本发明可以使清洗后片盒的颗粒效果和金属离子效果维持更加良好的效果，更加有效的防止放置不当造成的二次沾污，使得对片盒的保护措施更加完善。
31.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、工艺、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、工艺、物品或者设备所固有的要素。
32.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。