一种全自动去胶机的制作方法

1.本发明涉及去胶机技术领域，具体为一种全自动去胶机。


背景技术：

2.去胶机是一种用于物理学、电子与通信技术领域的计量仪器，去胶机利用微波等离子将氧气或者其他反应气体进行电离，形成化学活性的自由基，然后与光刻胶反应，生成可挥发的物质，被真空泵抽离腔体，从而实现光刻胶刻蚀和去除的功能。
3.现有去胶机在使用时需要人工将待去胶产品放入真空去胶室内，去胶完成后再取出，但这样过于依赖人工操作，效率较低，且人工长时间的操作存在安全隐患，不便于推广使用。


技术实现要素：

4.本发明旨在解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。
5.为此，本发明所采用的技术方案为：
6.一种全自动去胶机，包括：机体、放置机构、机械手机构、去胶机构和冷却机构，所述机体上安装有风机过滤机组和控制电脑；所述放置机构设置于所述机体上，用于放置产品；所述机械手机构包括安装于所述机体且位于所述放置机构侧的驱动器、设置于所述驱动器内的立板、可调节地装配于所述立板上的连接台、铰接于所述连接台上的机械臂和连接于所述机械臂端部的电磁铁；所述去胶机构包括安装于所述机体且位于所述机械手机构侧的真空去胶室、开设于所述真空去胶室上的进出料口、铰接于所述真空去胶室且位于所述进出料口侧的开关门、铰接并驱动所述开关门开关的开关气缸、连接于所述真空去胶室与所述风机过滤机组之间的排气通道和连接于所述真空去胶室底部的控制阀组；其中，所述控制阀组的底部连接有等离子微波发生器和气体流量计组，所述气体流量计组的下方连接有微波电箱；所述冷却机构设置于所述机械手机构侧，用于产品散热。
7.通过采用上述技术方案，利用放置机构、机械手机构和去胶机构的搭配使用，只需将产品放置于放置机构，后续上下料均采用机械手机构的自动化操作，大大减少了人工作业量，提高了产品的清洗效率，且自动化操作不存在人工安全隐患，更为合理。
8.本发明在一较佳示例中可以进一步配置为：所述放置机构包括安装于所述机体内的台架、可调节地安装于所述台架上的定位块和放置于所述定位块之间的物料盒。
9.通过采用上述技术方案，可以将产品码放在物料盒的内部，再根据物料盒的规格调整定位块的位置，便于对产品定点放置。
10.本发明在一较佳示例中可以进一步配置为：所述冷却机构包括安装于所述机体且位于所述机械手机构侧的冷却盘、安装于所述冷却盘上的连接架和设置于所述连接架上的感应块。
11.通过采用上述技术方案，可以供清洗完成的产品快速散热。
12.本发明在一较佳示例中可以进一步配置为：所述驱动器的内部设有转动机和控制
器。
13.通过采用上述技术方案，转动机可以带动机械臂转向，进而完成对产品的转送，而控制器便于程序化控制。
14.本发明在一较佳示例中可以进一步配置为：所述机械臂的连接处和关节处分别设有旋转定位轴。
15.通过采用上述技术方案，可以按需调整电磁铁的位置，保证取放产品定位的准确性。
16.本发明在一较佳示例中可以进一步配置为：所述冷却盘上开设有散热槽，且所述散热槽的底部连接有用于导入制冷介质的输入管道。
17.通过采用上述技术方案，便于连接外界冷却设备，比如液氮罐、冷风机等制冷设备，可以向冷却机构导入液氮加速冷却降温的进行。
18.本发明在一较佳示例中可以进一步配置为：所述真空去胶室上设有进出料口，所述进出料口侧设有开关门，所述开关门与所述真空去胶室铰接，所述进出料口侧设有铰接并驱动所述开关门开关的开关气缸。
19.本发明的上述技术方案具有如下有益的技术效果：
20.本发明中，通过放置机构、机械手机构和去胶机构的搭配使用，只需将产品放置于放置机构，后续上下料均采用机械手机构的自动化操作，大大减少了人工作业量，提高了产品的清洗效率，且自动化操作不存在人工安全隐患，更为合理。
附图说明
21.图1为本发明的内部结构图；
22.图2为本发明的放置机构示意图；
23.图3为本发明的机械手机构示意图；
24.图4为本发明的去胶机构示意图；
25.图5为本发明的冷却机构示意图；
26.图6为本发明的等离子微波发生器示意图。
27.附图标记：
28.100、机体；110、风机过滤机组；120、控制电脑；
29.200、放置机构；210、台架；220、定位块；230、物料盒；
30.300、机械手机构；310、驱动器；320、立板；330、连接台；340、机械臂；350、电磁铁；
31.400、去胶机构；410、真空去胶室；420、进出料口；430、开关门；440、开关气缸；450、排气通道；460、控制阀组；470、等离子微波发生器；480、气体流量计组；490、微波电箱；
32.500、冷却机构；510、冷却盘；520、连接架；530、感应块。
具体实施方式
33.为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本发明进一步详细说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
34.该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本发明的范围。
35.下面结合附图描述本发明的一些实施例提供的一种全自动去胶机。
36.结合图1-6所示，本发明提供的一种全自动去胶机，包括：机体100、放置机构200、机械手机构300、去胶机构400和冷却机构500，机体100上安装有风机过滤机组110和控制电脑120，通过风机过滤机组110可以对去胶机构400清洗产生的气体进行净化，保证了作业环境的安全性，而控制电脑120电性连接整机仪器，便于集成化智能控制。
37.如图1和2所示，放置机构200设置于机体100上，用于放置产品，具体的，放置机构200包括安装于机体100内的台架210、可调节地安装于台架210上的定位块220和放置于定位块220之间的物料盒230，通过将产品码放在物料盒230的内部，再根据物料盒230的规格调整定位块220的位置，便于对产品定点放置。
38.如图1和3所示，机械手机构300包括安装于机体100且位于放置机构200侧的驱动器310、设置于驱动器310内的立板320、可调节地装配于立板320上的连接台330、铰接于连接台330上的机械臂340和连接于机械臂340端部的电磁铁350，通过机械手机构300可以将放置机构200上的产品吸取下来，然后移送至真空去胶室410的内部，自动化操作，清洗效率更高。
39.具体的，驱动器310的内部设有转动机和控制器，通过转动机可以带动机械臂340转向，进而完成对产品的转送，而控制器便于程序化控制，另外机械臂340的连接处和关节处分别设有旋转定位轴，可以按需调整电磁铁350的位置，保证取放产品定位的准确性。
40.如图1和4所示，去胶机构400包括安装于机体100且位于机械手机构300侧的真空去胶室410、开设于真空去胶室410上的进出料口420、铰接于真空去胶室410且位于进出料口420侧的开关门430、铰接并驱动开关门430开关的开关气缸440、连接于真空去胶室410与风机过滤机组110之间的排气通道450和连接于真空去胶室410底部的控制阀组460；其中，控制阀组460的底部连接有等离子微波发生器470和气体流量计组480，气体流量计组480的下方连接有微波电箱490，通过去胶机构400可以对产品进行等离子微波清洗，清洗效果较好。
41.如图1和5所示，冷却机构500设置于机械手机构300侧，用于产品散热，冷却机构500包括安装于机体100且位于机械手机构300侧的冷却盘510、安装于冷却盘510上的连接架520和设置于连接架520上的感应块530，通过冷却机构500可以供清洗完成的产品快速散热。
42.具体的，冷却盘510上开设有散热槽，且散热槽的底部连接有用于导入制冷介质的输入管道，便于连接外界冷却设备，比如液氮罐、冷风机等制冷设备，可以向冷却机构500导入液氮加速冷却降温的进行。
43.本发明的工作原理及使用流程：首先人工将分层叠放有待除胶产品的物料盒230放到台架210上，机械手机构300从物料盒230逐层吸取产品放到真空去胶室410内，真空去胶室410密封后抽真空，通过等离子微波发生器470产生等离子对腔体内的产品进行除胶，除胶完成后由机械手机构300取出放到冷却机构500进行冷却，冷却完成后由机械手机构300取出逐层放回物料盒230，待物料盒230上的产品都完成除胶后，人工取出，重新放新的物料盒230即可。
44.在本发明中，术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。术语“安装”、“相
连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
45.需要说明的是，当元件被称为“装配于”、“安装于”、“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
46.在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
47.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解，在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。