用于晶圆搬运的圆锅固定装置的制作方法

技术特征：
1.一种用于晶圆搬运的圆锅固定装置，包括工作台和连接于所述工作台圆锅(1)，其特征在于，所述工作台包括基板(4)和固定于所述基板(4)上的基座(3)，所述基座内设有一连接件，且所述连接件能够伸出所述基座的表面并与所述圆锅定位连接；且所述圆锅与所述连接件通过锁止件(5)固定；还设有驱动件(9)，所述驱动件能够驱动所述圆锅旋转。2.根据权利要求1所述的用于晶圆搬运的圆锅固定装置，其特征在于，所述圆锅(1)包括曲面板(110)，所述曲面板的轴线位置固定有将所述曲面板贯穿的固定杆(120)，所述固定杆与所述连接件卡接连接，以完成对圆锅的定位。3.根据权利要求2所述的用于晶圆搬运的圆锅固定装置，其特征在于，所述曲面板(110)的顶部沿着轴线的周向均匀设有多个放置口(130)，多个所述放置口(130)用以放置晶圆。4.根据权利要求1所述的用于晶圆搬运的圆锅固定装置，其特征在于，所述连接件包括锁紧套(8)以及与所述锁紧套相连接的卡接件(7)，所述卡接件的另一端与所述圆锅相连接，以完成对圆锅的定位。5.根据权利要求4所述的用于晶圆搬运的圆锅固定装置，其特征在于，所述卡接件(7)包括长杆(71)和固定于所述长杆端部的六瓣爪(72)，所述六瓣爪与所述圆锅相连接，并通过所述锁止件(5)进行固定。6.根据权利要求5所述的用于晶圆搬运的圆锅固定装置，其特征在于，所述锁止件(5)包括直线模块(51)和固定于所述直线模块上的卡套(6)，所述卡套套设于所述六瓣爪(72)表面，所述直线模块驱动所述卡套沿着所述六瓣爪的高度方向竖直上下运动，使得所述卡套对六瓣爪进行锁止或解锁。7.根据权利要求1所述的用于晶圆搬运的圆锅固定装置，其特征在于，所述基座(3)的侧壁滑动连接有一支撑组件(2)，所述支撑组件能够沿着所述基座的高度方向竖直上下运动，以对圆锅的边缘进行支撑。8.根据权利要求7所述的用于晶圆搬运的圆锅固定装置，其特征在于，所述支撑组件(2)包括支撑台和支撑件(23)，所述支撑件位于所述支撑台的外侧且位于所述圆锅的下方，以对圆锅的边缘进行支撑。9.根据权利要求8所述的用于晶圆搬运的圆锅固定装置，其特征在于，所述支撑件包括连杆(231)和辊套(233)，所述辊套套设于所述连杆的表面，并能够沿着所述连杆的轴向转动。

技术总结
本实用新型公开了一种用于晶圆搬运的圆锅固定装置，包括工作台和连接于所述工作台圆锅，所述工作台包括基板和固定于所述基板上的基座，所述基座内设有一连接件，且所述连接件能够伸出所述基座的表面并与所述圆锅定位连接；且所述圆锅与所述连接件通过锁止件固定；还设有驱动件，所述驱动件能够驱动所述圆锅旋转。以将晶圆均匀放置在圆锅上等待统一搬运，避免了人员单独运输晶圆时出现损坏，同时相比人工提高了工作效率。人工提高了工作效率。人工提高了工作效率。


技术研发人员：王琪 赵洪建 郑旭海
受保护的技术使用者：昆山铭驰自动化科技有限公司
技术研发日：2021.12.10
技术公布日：2022/5/25