基板传送装置的制作方法

1.本技术属于固晶技术领域，更具体地说，是涉及一种基板传送装置。


背景技术：

2.固晶机在固晶时，一般是固晶邦头将晶片吸取，以安装在基板上，这就需要将基板传送到固晶邦头处，以便将晶片安装在基板上。在固晶时，往往需要在基板上安装多个晶片，这就需要将基板上各固晶位分别与固晶邦头对位，以安装晶片。当前对于小型基板，一般是通过带传送结构接收并支撑基板，并通过平面移动台驱动带传送结构及基板整体移动，以使基板上各固晶位与固晶邦头对位，以固晶。对于大型基板来说，由于基板体积大，带传送结构由于存在支撑底板、电机、传送带、多个张紧轮、多个导轮和多个托轮，支撑基板后，整体重量大，基板距离支撑底板较高，导致基板重心高，在基板移动时，难以准确定位，因而当前在大型基板上固晶，一般是使用三轴移动平台来移动固晶邦头，使固晶邦头依次与基板上各固晶位进行对应固晶。然而，将固晶邦头从取晶位到固晶位来回移动，效率较低。


技术实现要素：

3.本技术实施例的目的在于提供一种基板传送装置，以解决相关技术中存在的大型基板固晶时，传送结构及基板整体重量大，重心高，难以准确定位，需要移动固晶邦头，导致效率较低的问题。
4.为实现上述目的，本技术实施例采用的技术方案是：提供一种基板传送装置，包括用于支撑并夹持基板的夹板机构和驱动所述夹板机构于平面上移动的平面移动台，所述夹板机构包括：
5.支撑底板，安装于所述平面移动台上；
6.两套滚轮组件，分别安装于所述支撑底板的相对两侧，用于配合支撑基板的相对两侧；以及，
7.两套夹持组件，分别安装于所述支撑底板的相对两侧，用于将所述基板的相对两侧抵压固定于对应所述滚轮组件上，以使各所述夹持组件与对应所述滚轮组件配合夹持固定所述基板的侧边。
8.在一个可选实施例中，所述滚轮组件包括支撑于所述支撑底板上的支撑座，所述支撑座上设有多个滚轮座，多个所述滚轮座沿所述支撑座的长度方向间隙设置，各所述滚轮座上转动安装有滚轮。
9.在一个可选实施例中，所述滚轮组件还包括：
10.定位座，安装于所述支撑底板上；
11.多个导轨组件，连接所述定位座与所述支撑座，用于引导所述支撑座于所述定位座上升降移动；以及，
12.升降推动器，用于推动所述支撑座升降移动，所述升降推动器安装于所述定位座
上。
13.在一个可选实施例中，所述定位座滑动安装于所述支撑底板上，所述支撑底板上开设有若干引导所述定位座移动的滑槽，各所述滑槽垂直于所述支撑座的长度方向设置。
14.在一个可选实施例中，所述夹持组件包括：
15.压板，用于将所述基板抵压于对应所述滚轮组件上；
16.支座，支撑所述压板；以及，
17.升降驱动器，驱动所述支座升降移动，所述升降驱动器支撑于所述支撑底板上。
18.在一个可选实施例中，所述夹持组件还包括安装于所述支撑底板上的挡板，所述支座滑动支撑于所述挡板上，所述升降驱动器安装于所述挡板上。
19.在一个可选实施例中，所述夹板机构还包括用于支撑所述基板的托板，所述托板支撑于所述支撑底板上。
20.在一个可选实施例中，所述托板上设有多个用于吸附固定所述基板的吸附孔。
21.在一个可选实施例中，所述平面移动台包括驱动所述支撑底板横向移动的横移机构和驱动所述横移机构纵向移动的纵移机构，所述支撑底板安装于所述横移机构上，所述横移机构安装于所述纵移机构上。
22.在一个可选实施例中，所述夹板机构还包括用于止挡定位支撑于所述滚轮组件上的基板的定位组件，所述定位组件包括用于止挡所述基板的挡块、驱动所述挡块升降移动的升降推行器和支撑所述升降推行器的支架，所述支架安装于所述支撑底板一端。
23.本技术实施例提供的基板传送装置的有益效果在于：与现有技术相比，本技术实施例基板传送装置，通过在支撑底板的两侧分别设置滚轮组件，通过滚轮组件来支撑基板，以降低基板相对支撑底板的重心高度，并设置夹持组件与滚轮组件配合夹持固定基板，进而便于平面移动台驱动夹板机构平稳且精准移动，进而带动基板平稳且精准移动。无需电机、传送带等结构，重量更轻，结构更为简化与轻巧，带动基板移动更平稳精准。
附图说明
24.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或示范性技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
25.图1为本技术实施例提供的基板传送装置的结构示意图；
26.图2为本技术实施例提供的基板传送装置的爆炸结构示意图；
27.图3为本技术实施例提供的夹板机构的结构示意图；
28.图4为图3所示的夹板机构的爆炸结构示意图；
29.图5为图3中滚轮组件与对应夹持组件的放大结构示意图；
30.图6为本技术实施例提供的纵移机构的结构示意图；
31.图7为本技术实施例提供的横移机构的结构示意图。
32.其中，图中各附图主要标记：
33.100-基板传送装置；
34.10-夹板机构；11-支撑底板；111-滑槽；12-滚轮组件；121-支撑座；1211-滚轮座；
122-滚轮；123-定位座；124-升降推动器；125-导轨组件；13-夹持组件；131-压板；132-支座；133-挡板；134-升降驱动器；14-托板；141-吸附孔；15-定位组件；151-挡块；152-升降推行器；153-滑动座；154-滑动轨；155-支架；
35.20-平面移动台；21-纵移机构；211-纵向底板；2111-纵向槽；212-纵向滑轨；213-纵向滑块；214-纵移驱动组件；2141-纵向丝杆；2142-纵移螺母；2143-旋转座；2144-纵移驱动电机；2145-纵移联轴器；22-横移机构；221-横向底板；2211-横向槽；222-横向滑轨；223-横向滑块；224-横移驱动组件；2241-横向丝杆；2242-横移螺母；2243-转动座；2244-横移驱动电机；2245-横移联轴器。
具体实施方式
36.为了使本技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
37.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
38.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。
39.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
40.在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
41.在本技术说明书中描述的参考“一个实施例”、“一些实施例”或“实施例”意味着在本技术的一个或多个实施例中包括结合该实施例描述的特定特征、结构或特点。由此，在本说明书中的不同之处出现的语句“在一个实施例中”、“在一些实施例中”、“在其他一些实施例中”、“在另外一些实施例中”等不是必然都参考相同的实施例，而是意味着“一个或多个但不是所有的实施例”，除非是以其他方式另外特别强调。此外，在一个或多个实施例中，可以以任何合适的方式组合特定的特征、结构或特性。
42.为了方便描述，定义空间上相互垂直的三个坐标轴分别为x轴、y轴和z轴，同时，沿x轴的方向为纵向，沿y轴的方向为横向，沿z轴方向为竖向；其中x轴与y轴为同一水平面相互垂直的两个坐标轴，z轴为竖直方向的坐标轴；x轴、y轴和z轴位于空间相互垂直有三个平
面分别为xy面、yz面和xz面，其中，xy面为水平面，xz面和yz面均为竖直面，且xz面与yz面垂直。空间中三轴为x轴、y轴和z轴，沿空间上三轴移动指沿空间上相互垂直的三轴移动，特指在空间上沿x轴、y轴和z轴移动；而平面移动，则为在xy面移动。
43.请参阅图1至图3，现对本技术提供的基板传送装置100进行说明。所述基板传送装置100，包括夹板机构10和平面移动台20，夹板机构10用于支撑并夹持基板，以定位并固定住基板。夹板机构10安装于平面移动台20上，通过平面移动台20驱动夹板机构10于平面上移动，进而带动基板移动。
44.夹板机构10包括支撑底板11、两套滚轮组件12和两套夹持组件13。其中，两套滚轮组件12分别安装于支撑底板11的相对两侧，两套夹持组件13与两套滚轮组件12一一对应，两套夹持组件13分别安装在支撑底板11的相对两侧。两套滚轮组件12用于配合支撑基板的相对两侧。两套夹持组件13用于将基板的相对两侧抵压固定于对应滚轮组件12上，以使各夹持组件13与对应滚轮组件12配合夹持固定基板的侧边。支撑底板11安装于平面移动台20上，进而将该夹板机构10安装在平面移动台20上。
45.在使用时，将基板传送至夹板机构10，并使基板的相对两侧分别支撑在两套滚轮组件12上，两套夹持组件13将基板的两侧抵压在对应的滚轮组件12上，以夹持固定住基板。以便平面移动台20驱动夹板机构10，以带动基板在平面上移动。
46.由于使用滚轮组件12来支撑住基板，可以将基板相对支撑底板11的高度设置较低，以降低基板的重心，并且使用夹持组件13与滚轮组件12配合夹持固定基板，重量更轻，结构更为简化与轻巧，平面移动台20可以更平稳与精确地驱动基板移动，便于基板的快速移动与定位。
47.本技术实施例提供的基板传送装置100，与现有技术相比，本技术实施例基板传送装置100，通过在支撑底板11的两侧分别设置滚轮组件12，通过滚轮组件12来支撑基板，以降低基板相对支撑底板11的重心高度，并设置夹持组件13与滚轮组件12配合夹持固定基板，进而便于平面移动台20驱动夹板机构10平稳且精准移动，进而带动基板平稳且精准移动。无需电机、传送带等结构，重量更轻，结构更为简化与轻巧，带动基板移动更平稳精准。当该基板传送装置100应用到固晶机中时，平台移动台可以驱动基板与固晶邦头精准对位，进而可以提升固晶效率。
48.在一个实施例中，请参阅图3至图5，滚轮组件12包括支撑座121和多个滚轮122，多个滚轮122分别安装在支撑座121上，支撑座121上设有多个滚轮座1211，以支撑滚轮122，而支撑座121支撑于支撑底板11上，进而将多个滚轮122支撑在支撑底板11上。多个滚轮座1211沿支撑座121的长度方向间隙设置，而各滚轮座1211上转动安装有滚轮122，从而将多个滚轮122呈排设置在支撑座121上，以更好地支撑住基板的侧边。在支撑座121上设置滚轮座1211，以支撑滚轮122，结构简单，组装方便，而且安装支撑座121安装在支撑底板11上，即可以将多个滚轮122支撑在支撑底板11上，安装方便。
49.在一个实施例中，滚轮组件12还包括定位座123、多个导轨组件125和升降推动器124，各导轨组件125连接定位座123与支撑座121，导轨组件125用于引导支撑座121于定位座123上升降移动，设置多个导轨组件125，可以更平稳引导支撑座121于定位座123上升降移动。升降推动器124安装于定位座123上，升降推动器124用于推动支撑座121升降移动。定位座123安装于支撑底板11上。通过升降推动器124驱动定位座123升降移动，进而可以带动
各滚轮122升降移动，以便与夹持组件13配合夹持基板，以保证基板夹持更稳定。
50.在一个实施例中，升降推动器124为气缸，使用气缸，体积小，重量轻，控制方便。可以理解地，升降推动器124也可以为直线电机等线性模块。
51.在一个实施例中，升降推动器124为多个，以配合推动支撑座121升降，这样可以使用体积尺寸更小的升降推动器124，以减小夹板机构10的厚度，进而降低基板高度，以将基板的重心高度降低。
52.在一个实施例中，导轨组件125可以为滑轨滑块组件。当然，导轨组件125也可以为交叉导轨等。
53.在一个实施例中，定位座123滑动安装于支撑底板11上，支撑底板11上开设有若干滑槽111，滑槽111用于引导定位座123在支撑底板11上移动，各滑槽111垂直于支撑座121的长度方向设置，这样可以调节定位座123在支撑底板11上的位置，进而调节两个滚轮组件12的距离，以适应不同尺寸的基板。
54.在一个实施例中，夹持组件13包括压板131、支座132和升降驱动器134。压板131用于将基板抵压于对应滚轮组件12上。支座132支撑压板131，也就是说，压板131安装在支座132上，通过支座132来支撑住压板131。升降驱动器134支撑于支撑底板11上。升降驱动器134驱动支座132升降移动，以带动压板131升降移动，从而升降驱动器134驱动压板131上升，以离开对应滚轮组件12时，可以向滚轮组件12上供给基板，或将滚轮组件12上的基板取出；而向滚轮组件12上供给基板后，升降驱动器134驱动压板131下降，以将基板的侧边抵压在对应的滚轮组件12上，以固定基板。
55.在一个实施例中，升降驱动器134为气缸，使用气缸，体积小，重量轻，控制方便。可以理解地，升降驱动器134也可以为直线电机等线性模块。
56.在一个实施例中，升降驱动器134为多个，以配合推动支撑座121升降，这样可以使用体积尺寸更小的升降驱动器134，以减小夹板机构10的厚度，进而降低基板高度，以将基板的重心高度降低。
57.在一个实施例中，压板131为多个，多个压板131间隔设置，以便抵压基板。设置多个压板131，可以将各压板131制作较小，减轻重量，而且覆盖面积更大。
58.在一个实施例中，各压板131设置呈u型，以便安装固定。
59.在一个实施例中，夹持组件13还包括挡板133，安装于支撑底板11上的挡板133，支座132滑动支撑于挡板133上，升降驱动器134安装于挡板133上。设置挡板133，以支撑升降驱动器134与支座132，并且可以引导支座132升降移动，并且将挡板133安装在支撑底板11上，即可将夹持组件13安装在支撑底板11上，组装方便。
60.在一个实施例中，定位座123滑动安装于支撑底板11上时，挡板133也滑动安装在支撑底板11上，滑槽111也用于引导挡板133在支撑底板11上移动，这样可以调节定位座123及对应挡板133在支撑底板11上的位置，进而调节两个滚轮组件12间的距离及调节两个夹持组件13的距离，以适应不同尺寸的基板。
61.在一个实施例中，请参阅图1和图2，夹板机构10还包括托板14，托板14支撑于支撑底板11上，托板14用于支撑基板。设置托板14，当基板的两侧支撑在滚轮组件12上时，托板14可以拖住基板，以更稳定支撑基板，并且可以便于向基板上固晶。
62.在一个实施例中，托板14上设有多个吸附孔141，在托板14上设置吸附孔141，当基
板支撑在托板14上时，可以通过吸附孔141吸附固定住基板，以更平稳带动基板移动，并精确定位基板。
63.在一个实施例中，托板14的相对两侧可以支撑在两个定位座123上，以便更好的与滚轮122持平对位，以平稳支撑基板。
64.在一个实施例中，请参阅图2至图4，夹板机构10还包括定位组件15，定位组件15用于止挡定位支撑于滚轮组件12上的基板，也就是说，当将基板传送至夹板机构10的两套滚轮组件12上时，定位组件15止挡基板，以对基板定位在滚轮组件12。
65.在一个实施例中，定位组件15包括挡块151、升降推行器152和支架155，升降推行器152安装在支架155上，以通过支架155支撑住升降推行器152，挡块151与升降推行器152相连，通过升降推行器152驱动挡块151升降移动，从而当挡块151上升时，可以止挡定位基板，而挡块151下降时，基板可以从挡块151上方移动，以移出滚轮组件12。支架155安装于支撑底板11一端，以将该定位组件15安装在支撑底板11的一端。
66.在一个实施例中，升降推行器152为气缸，使用气缸，体积小，重量轻，控制方便。可以理解地，升降推行器152也可以为直线电机等线性模块。
67.在一个实施例中，定位组件15还包括滑动轨154和滑动座153，滑动轨154竖直设置，滑动轨154安装在支架155上，滑动座153滑动安装在滑动轨154上，挡块151安装在滑动座153上，升降推行器152与滑动座153相连，通过升降推行器152推动滑动座153升降，以带动挡块151升降移动。设置滑动轨154和滑动座153，方便支撑挡块151，并便于引导挡块151平稳升降。
68.在一个实施例中，平面移动台20包括横移机构22和纵移机构21，支撑底板11安装于横移机构22上，横移机构22安装于纵移机构21上。从而通过横移机构22驱动支撑底板11横向移动，进而带动基板横向移动。纵移机构21驱动横移机构22纵向移动，进而带动夹板机构10及基板纵向移动，通过设置横移机构22和纵移机构21，以实现配合驱动基板于平面上相互垂直的两个方向移动，进而驱动基板于平面上移动。
69.在一个实施例中，请参阅图1、图2和图6，纵移机构21包括纵向底板211、多个纵向滑轨212、多个纵向滑块213和纵移驱动组件214，纵向底板211的长度方向沿纵向设置。多个纵向滑轨212平行设置于纵向底板211上，各纵向滑轨212沿纵向延伸设置。各纵向滑轨212上分别安装有纵向滑块213，各纵向滑块213与横移机构22相连，以通过多个纵向滑块213配合支撑横移机构22，并引导横移机构22沿纵向平稳移动。纵移驱动组件214安装在纵向底板211上，并且纵移驱动组件214与横移机构22相连，以驱动横移机构22沿纵向移动。
70.在一个实施例中，纵向底板211上开设有纵向槽2111，纵移驱动组件214安装在纵向槽2111中，以减小该纵移机构21的厚度，进而可以降低基板的高度，以更平稳驱动横移机构22及基板纵向移动。
71.在一个实施例中，纵移驱动组件214包括纵移螺母2142、纵向丝杆2141、两个旋转座2143、纵移驱动电机2144和纵移联轴器2145，两个旋转座2143安装在纵向底板211上，两个旋转座2143转动支撑纵向丝杆2141，纵向丝杆2141沿纵向设置，纵移螺母2142安装在纵向丝杆2141上，纵向丝杆2141通过纵移联轴器2145与纵移驱动电机2144相连，从而纵移驱动电机2144驱动纵向丝杆2141转动，以带动纵移螺母2142纵向移动，纵移螺母2142与横移机构22相连，进而带动横移机构22纵向移动，该结构驱动力大，可以平稳支撑与推动横移机
构22及基板移动。可以理解地，纵移驱动组件214也可以使用直线电机等线性模块。
72.在一个实施例中，请参阅图1、图2和图7，横移机构22包括横向底板221、多个横向滑轨222、多个横向滑块223和横移驱动组件224，横向底板221的长度方向沿横向设置。多个横向滑轨222平行设置于横向底板221上，各横向滑轨222沿横向延伸设置。各横向滑轨222上分别安装有横向滑块223，各横向滑块223与横移机构22相连，以通过多个横向滑块223配合支撑横移机构22，并引导横移机构22沿横向平稳移动。横移驱动组件224安装在横向底板221上，并且横移驱动组件224与支撑底板11相连，以驱动支撑底板11沿横向移动。
73.在一个实施例中，横向底板221上开设有横向槽2211，横移驱动组件224安装在横向槽2211中，以减小该横移机构22的厚度，进而可以降低基板的高度，以更平稳驱动夹板机构10及基板横向移动。
74.在一个实施例中，横移驱动组件224包括横移螺母2242、横向丝杆2241、两个转动座2243、横移驱动电机2244和横移联轴器2245，两个转动座2243安装在横向底板221上，两个转动座2243转动支撑横向丝杆2241，横向丝杆2241沿横向设置，横移螺母2242安装在横向丝杆2241上，横向丝杆2241通过横移联轴器2245与横移驱动电机2244相连，从而横移驱动电机2244驱动横向丝杆2241转动，以带动横移螺母2242横向移动，横移螺母2242与支撑底板11相连，进而带动夹板机构10横向移动。可以理解地，横移驱动组件224也可以使用直线电机等线性模块。
75.以上所述仅为本技术的可选实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。