一种自动定位激光钻孔装备的制作方法

1.本实用新型涉及一种激光钻孔装备，特别是涉及一种自动定位激光钻孔装备，属于激光钻孔装备技术领域。


背景技术：

2.激光打孔过程是激光和物质相互作用的热物理过程，它是由激光光束特性(包括激光的波长、脉冲宽度、光束发散角、聚焦状态等)和物质的诸多热物理特性决定的。
3.现有技术中的激光钻孔装备其在进行聚焦调节的时候无法进行自动调节，其次现有技术中的激光钻孔装备对扩束镜没有可调的支撑架不够便捷，为此设计一种自动定位激光钻孔装备来优化上述问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的主要目的是为了提供一种自动定位激光钻孔装备，通过启动激光器将激光发射然后激光通过光闸、扩束镜、45
°
全反射镜、聚焦镜组件、内阀线孔和远心场镜发射到晶圆上进行激光钻孔，可通过启动垂直调节组件带动远心场镜进行高度方向上的调节从而进行调节激光聚焦点的大小并进行精确钻孔，通过调节光闸和扩束镜在扩束镜支撑架组件上的位置也可调节光闸和扩束镜与激光器的距离，通过启动水平方位调节驱动组件带动晶圆夹持组件可进行水平方位上的调节，从而实现对晶圆进行水平方位的调节，然后实现便于进行调节的功能。
5.本实用新型的目的可以通过采用如下技术方案达到：
6.一种自动定位激光钻孔装备，包括底座，所述底座的顶部一侧安装有侧支撑杆，且所述侧支撑杆的顶部设有激光器，所述侧支撑杆的外侧下方靠近激光器处安装有扩束镜支撑架组件，所述扩束镜支撑架组件上并排设光闸和扩束镜，所述底座的顶部另一侧设有水平方位调节驱动组件，所述水平方位调节驱动组件的内侧设有晶圆夹持组件，所述底座的顶部并位于水平方位调节驱动组件侧中部案子有侧垂杆，所述侧垂杆的侧顶部设有45
°
全反射镜，所述侧垂杆的侧部并位于45
°
全反射镜的下方设有聚焦镜组件，所述侧垂杆的侧中部处安装有内阀线孔，所述侧垂杆的内侧下方设有垂直调节组件，该垂直调节组件的外侧设有可垂直调节的远心场镜。
7.优选的，扩束镜支撑架组件包括支撑横杆和支架环，所述侧支撑杆的一侧顶部安装有支撑横杆，所述支撑横杆的顶部等间距安装有支架环，且位于支架环的内侧设有内海绵层。
8.优选的，所述内海绵层的内侧放置有光闸和扩束镜。
9.优选的，水平方位调节驱动组件包括水平方位调节电机、水平调节螺杆、水平滑轨、水平电动伸缩杆、端板、隔板、滑块和u型水平滑动座，所述底座的顶部设有水平滑轨，所述底座顶部的一侧安装有端板和水平方位调节电机，所述水平滑轨顶部的两端安装有滑块，所述水平方位调节电机的输出端安装有贯穿所述滑块的水平调节螺杆，所述水平滑轨
的顶部靠近滑块处安装有隔板，所述隔板的内侧安装有水平电动伸缩杆，所述水平电动伸缩杆的输出端安装有可在所述水平滑轨外侧滑动的u型水平滑动座，所述端板的一侧设有贯穿滑块的滑杆。
10.优选的，晶圆夹持组件包括夹持弹簧和l型侧架，所述u型水平滑动座的内侧两端等间距设有夹持弹簧，所述夹持弹簧的另一端安装有l型侧架，所述l型侧架的内底部放置有晶圆。
11.优选的，所述聚焦镜组件包括夹持环和聚焦镜，所述侧垂杆的侧部并位于45
°
全反射镜的下方处通过固定杆安装有夹持环，所述夹持环的内侧设有聚焦镜。
12.优选的，垂直调节组件包括升降电机、侧顶板、升降螺杆、垂限位滑杆和连接杆，所述侧垂杆的一侧中部安装有侧顶板，所述侧顶板的顶中部安装有升降电机，所述升降电机的输出端贯穿侧顶板安装有升降螺杆，所述侧顶板的底部靠近升降螺杆处安装有垂限位滑杆，所述垂限位滑杆和升降螺杆的外侧套设有连接杆，所述连接杆的另一端安装有远心场镜。
13.本实用新型的有益技术效果：
14.本实用新型提供的一种自动定位激光钻孔装备，通过启动激光器将激光发射然后激光通过光闸、扩束镜、45
°
全反射镜、聚焦镜组件、内阀线孔和远心场镜发射到晶圆上进行激光钻孔，可通过启动垂直调节组件带动远心场镜进行高度方向上的调节从而进行调节激光聚焦点的大小并进行精确钻孔，通过调节光闸和扩束镜在扩束镜支撑架组件上的位置也可调节光闸和扩束镜与激光器的距离，通过启动水平方位调节驱动组件带动晶圆夹持组件可进行水平方位上的调节，从而实现对晶圆进行水平方位的调节，然后实现便于进行调节的功能。
附图说明
15.图1为按照本实用新型的一种自动定位激光钻孔装备的一优选实施例的装置整体侧剖视图；
16.图2为按照本实用新型的一种自动定位激光钻孔装备的一优选实施例的扩束镜放置架组件立体结构示意图；
17.图3为按照本实用新型的一种自动定位激光钻孔装备的一优选实施例的a处结构放大图；
18.图4为按照本实用新型的一种自动定位激光钻孔装备的一优选实施例的b处结构放大图；
19.图5为按照本实用新型的一种自动定位激光钻孔装备的一优选实施例的电动升降架组件结构示意图。
20.图中：1-底座，2-侧支撑杆，3-激光器，4-支撑横杆，5-光闸，6-扩束镜，7-支架环，8-45
°
全反射镜，9-侧垂杆，10-聚焦镜，11-内阀线孔，12-夹持环，13-u型水平滑动座，14-端板，15-水平滑轨，16-内海绵层，17-侧顶板，18-远心场镜，19-升降电机，20-垂限位滑杆，21-升降螺杆，22-l型侧架，23-夹持弹簧，24-晶圆，25-水平电动伸缩杆，26-水平方位调节电机，27-水平调节螺杆，28-连接杆，29-滑块，30-隔板。
具体实施方式
21.为使本领域技术人员更加清楚和明确本实用新型的技术方案，下面结合实施例及附图对本实用新型作进一步详细的描述，但本实用新型的实施方式不限于此。
22.如图1-图5所示，本实施例提供的一种自动定位激光钻孔装备，包括底座1，底座1的顶部一侧安装有侧支撑杆2，且侧支撑杆2的顶部设有激光器3，侧支撑杆2的外侧下方靠近激光器3处安装有扩束镜支撑架组件，扩束镜支撑架组件上并排设光闸5和扩束镜6，底座1的顶部另一侧设有水平方位调节驱动组件，水平方位调节驱动组件的内侧设有晶圆夹持组件，底座1的顶部并位于水平方位调节驱动组件侧中部案子有侧垂杆9，侧垂杆9的侧顶部设有45
°
全反射镜8，侧垂杆9的侧部并位于45
°
全反射镜8的下方设有聚焦镜组件，侧垂杆9的侧中部处安装有内阀线孔11，侧垂杆9的内侧下方设有垂直调节组件，该垂直调节组件的外侧设有可垂直调节的远心场镜18。
23.通过启动激光器3将激光发射然后激光通过光闸5、扩束镜6、45
°
全反射镜8、聚焦镜组件、内阀线孔11和远心场镜18发射到晶圆24上进行激光钻孔，可通过启动垂直调节组件带动远心场镜18进行高度方向上的调节从而进行调节激光聚焦点的大小并进行精确钻孔，通过调节光闸5和扩束镜6在扩束镜支撑架组件上的位置也可调节光闸5和扩束镜6与激光器3的距离，通过启动水平方位调节驱动组件带动晶圆夹持组件可进行水平方位上的调节，从而实现对晶圆24进行水平方位的调节，然后实现便于进行调节的功能。
24.在本实施例中，扩束镜支撑架组件包括支撑横杆4和支架环7，侧支撑杆2的一侧顶部安装有支撑横杆4，支撑横杆4的顶部等间距安装有支架环7，且位于支架环7的内侧设有内海绵层16。
25.在本实施例中，内海绵层16的内侧放置有光闸5和扩束镜6。
26.在本实施例中，水平方位调节驱动组件包括水平方位调节电机26、水平调节螺杆27、水平滑轨15、水平电动伸缩杆25、端板14、隔板30、滑块29和u型水平滑动座13，底座1的顶部设有水平滑轨15，底座1顶部的一侧安装有端板14和水平方位调节电机26，水平滑轨15顶部的两端安装有滑块29，水平方位调节电机26的输出端安装有贯穿滑块29的水平调节螺杆27，水平滑轨15的顶部靠近滑块29处安装有隔板30，隔板30的内侧安装有水平电动伸缩杆25，水平电动伸缩杆25的输出端安装有可在水平滑轨15外侧滑动的u型水平滑动座13，端板14的一侧设有贯穿滑块29的滑杆。
27.启动水平方位调节电机26可带动水平调节螺杆27旋转，通过水平调节螺杆27调节滑块29在水平方位进行移动，然后带动水平滑轨15的水平移动，通过启动水平电动伸缩杆25带动u型水平滑动座13在进行移动，从而带动晶圆24。进行水平方位的移动。
28.在本实施例中，晶圆夹持组件包括夹持弹簧23和l型侧架22，u型水平滑动座13的内侧两端等间距设有夹持弹簧23，夹持弹簧23的另一端安装有l型侧架22，l型侧架22的内底部放置有晶圆24。
29.将晶圆24放置在l型侧架22的内侧，然后通过夹持弹簧23的反作用力实现对晶圆24的夹持。
30.在本实施例中，聚焦镜组件包括夹持环12和聚焦镜10，侧垂杆9的侧部并位于45
°
全反射镜8的下方处通过固定杆安装有夹持环12，夹持环12的内侧设有聚焦镜10。
31.在本实施例中，垂直调节组件包括升降电机19、侧顶板17、升降螺杆21、垂限位滑
杆20和连接杆28，侧垂杆9的一侧中部安装有侧顶板17，侧顶板17的顶中部安装有升降电机19，升降电机19的输出端贯穿侧顶板17安装有升降螺杆21，侧顶板17的底部靠近升降螺杆21处安装有垂限位滑杆20，垂限位滑杆20和升降螺杆21的外侧套设有连接杆28，连接杆28的另一端安装有远心场镜18。
32.通过启动升降电机19带动升降螺杆21运动，通过升降螺杆21带动连接杆28升降，通过连接杆28带动远心场镜18进行高度调节。
33.以上，仅为本实用新型进一步的实施例，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型所公开的范围内，根据本实用新型的技术方案及其构思加以等同替换或改变，都属于本实用新型的保护范围。