激光等离子体极紫外光源系统及其生成极紫外光的方法与流程

技术特征：
1.一种激光等离子体极紫外光源系统，其特征在于，所述系统包括：液滴发生器，用于生成扁平状的目标液滴；激光源，用于生成激光脉冲，以使所述激光脉冲冲击所述目标液滴生成等离子体；采集器，用于收集所述等离子体辐射出的极紫外euv光线，并将收集的所述euv光线聚焦定向到扫描器中。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述液滴发生器包括容器、喷嘴和调制器，所述喷嘴设置在所述容器的底部，所述调制器与所述喷嘴连接；所述调制器，用于控制所述喷嘴的开放时长，以使得所述喷嘴每开放一次生成一个扁平状的目标液滴。3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述喷嘴的孔径尺寸为10微米。4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述目标液滴呈扁平状的椭圆形和/或扁平状的四角形。5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述激光源为二氧化碳激光源。6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述目标液滴包括锡。7.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括摄像头；所述摄像头，用于采集所述目标液滴的图像，以获得所述目标液滴在下降过程中的位置；所述激光源，具体用于在所述目标液滴的位置到达激光对准位置时生成激光脉冲，以使所述激光脉冲冲击所述目标液滴生成等离子体。8.一种激光等离子体极紫外光源系统生成极紫外光的方法，其特征在于，所述激光等离子体极紫外光源系统包括液滴发生器、激光器、采集器和扫描器，所述方法包括：通过液滴发生器生成扁平状的目标液滴；通过激光源生成的激光脉冲冲击所述目标液滴，以生成等离子体；通过采集器收集所述等离子体辐射出的极紫外euv光线，并将收集的所述euv光线聚焦定向到扫描器中；通过所述扫描器中的多组透镜聚焦后获得的euv光线用于光刻流程中。9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述通过液滴发生器生成扁平状的目标液滴，包括：通过所述液滴发生器中的调制器控制所述液滴发生器中的喷嘴开放预设时长，以使所述喷嘴产生扁平状的目标液滴。10.一种极紫外光刻机，包括如权利要求1～7任一项所述的激光等离子体极紫外光源系统。

技术总结
本申请公开了一种激光等离子体极紫外光源系统及其生成极紫外光的方法，系统包括：液滴发生器用于生成扁平状的目标液滴；激光源用于生成激光脉冲，以使激光脉冲冲击所述目标液滴生成等离子体；采集器用于收集等离子体辐射出的EUV光线，并将收集的EUV光线聚焦定向到扫描器中。通过液滴发生器直接产生扁平状的目标液滴，从而仅使用一种激光脉冲撞击目标液滴即可生成等离子体，由于减少了激光脉冲撞击液滴的次数，因此可以减少污染物的产生，进而降低了采集器受污染的严重程度，延长了采集器的使用寿命。另外，由于激光源只需要生成一种激光脉冲，无需生成两种激光脉冲，因此本申请还可以简化激光源的结构，以及减少激光源的光束对准程序。准程序。准程序。


技术研发人员：金成昱 金帅炯 梁贤石 贺晓彬 杨涛 丁明正 刘强
受保护的技术使用者：真芯（北京）半导体有限责任公司
技术研发日：2020.11.19
技术公布日：2022/5/20