耦合温控系统及方法与流程

技术特征：
1.一种耦合温控系统，其特征在于：包括制冷装置、加热装置和循环装置，所述制冷装置包括压缩机、冷凝器的放热通路、换热器的吸热通路依次连通形成的第一制冷回路，所述循环装置包括所述换热器的换热通路、水箱、第一泵体和负载依次连通形成的循环液回路，所述加热装置包括废气处理设备，所述废气处理设备与所述换热器的放热通路连通。2.根据权利要求1所述的耦合温控系统，其特征在于：所述废气处理设备包括燃烧腔和喷淋塔，所述燃烧腔的出气口通过所述换热器的放热通路与所述喷淋塔的进口连通。3.根据权利要求2所述的耦合温控系统，其特征在于：所述喷淋塔的进口与所述换热器的放热通路连通的管路上设有第一阀体。4.根据权利要求3所述的耦合温控系统，其特征在于：所述喷淋塔的进口与所述换热器的放热通路连通的管路上还设有风机，所述第一阀体与所述风机沿所述管路内气体流向依次设置。5.根据权利要求2所述的耦合温控系统，其特征在于：所述废气处理设备还包括水池，所述燃烧腔的出气口与所述喷淋塔的进气口还通过所述水池连通。6.根据权利要求1所述的耦合温控系统，其特征在于：所述第一泵体与所述负载连通的管路上设有第一温度检测件。7.根据权利要求1所述的耦合温控系统，其特征在于：所述冷凝器的放热通路的出口与所述换热器的吸热通路的进口连通的管路上设有第二阀体。8.根据权利要求5所述的耦合温控系统，其特征在于：所述制冷装置还包括蒸发器，所述压缩机、所述冷凝器的放热通路、所述蒸发器的吸热通路依次连通形成第二制冷回路，所述喷淋塔内设有喷淋组件，所述水池、所述蒸发器的放热通路、第二泵体和所述喷淋组件依次连通。9.根据权利要求8所述的耦合温控系统，其特征在于：所述冷凝器的放热通路的出口与所述蒸发器的吸热通路的进口连通的管路上设有第三阀体。10.根据权利要求9所述的耦合温控系统，其特征在于：所述第二泵体与所述喷淋组件连通的管路上沿液体流向依次设有第四阀体和第二温度检测件。11.根据权利要求1至10任意一项所述的耦合温控系统，其特征在于：所述换热器为多通道板式换热器。12.一种耦合温控方法，其特征在于：应用上述权利要求1至11任意一项所述的耦合温控系统，包括：s1，获取循环装置的出口的实际温度；s2，根据所述循环装置的出口的实际温度与目标温度，获得出口温度的目标值差值；s3，根据出口温度的目标值差值控制加热装置的第一阀体和制冷装置的第二阀体的开度。

技术总结
本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种耦合温控系统及方法，耦合温控系统包括制冷装置、加热装置和循环装置，制冷装置包括压缩机、冷凝器的放热通路、换热器的吸热通路依次连通形成的第一制冷回路，循环装置包括换热器的换热通路、水箱、第一泵体和负载依次连通形成的循环液回路，加热装置包括废气处理设备，废气处理设备与换热器的放热通路连通。本发明在实现了温控系统的功能及废气处理设备的功能的基础上，将废气处理设备的能量用于温控系统中进行循环液的加热，有效的实现能源的综合利用和节能控制。综合利用和节能控制。综合利用和节能控制。


技术研发人员：何茂栋 于浩 芮守祯 李文博 常鑫 宋朝阳 曹小康 董春辉 冯涛
受保护的技术使用者：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
技术研发日：2021.12.31
技术公布日：2022/5/17