一种用于光刻机的对准镜头的制作方法

1.本发明涉及光刻镜头技术领域，具体是一种用于光刻机的对准镜头。


背景技术：

2.光刻对准镜头是光刻机的核心组件之一，光刻对准的精度要求非常高，这就要求对准镜头的分辨率也非常高。然而对准镜头的分辨率越高，其倍率就越大，视场范围也就越小，寻找对准标识(mark)的时间也就大大增加，进而使得对准效率大大降低。


技术实现要素：

3.针对现有光刻对准镜头存在的提高对准精度则带来对准效率低下的问题，本发明提供一种双视场对准镜头，保证高分辨率的同时，能够快速搜寻到对准标识。
4.一种用于光刻机的对准镜头，由三组透镜组和分光镜/分光棱镜组合而成，三组透镜组分别为第一透镜组g1、第二透镜组g2、第三透镜组g3；
5.第一透镜组g1和第二透镜组g2构成对准标识搜寻镜头，第三透镜组g3和第二透镜组g2构成高倍率镜头，分光镜/分光棱镜位于两组镜头光路的交汇处；
6.三组透镜组的参数满足关系式f1/f2＝b1，f3/f2＝b2，其中f1为第一透镜组的焦距，f2为第二透镜组的焦距，f3为第三透镜组的焦距，b1为对准标识搜寻镜头的倍率，b1为高倍率镜头的倍率。
7.进一步的，各个透镜组由单个镜片或两个以上镜片组成。
8.本发明的有益效果：结构简单，两组镜头共用第二透镜组，结构得到简化，且由于共用第二透镜组，两组镜头视场完全同轴；保证高分辨率的同时，能够快速搜寻到对准标识。
附图说明
9.图1是对准镜头结构及其光路示意图。
具体实施方式
10.下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。本发明的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本发明限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本发明的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本发明从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
11.实施例1
12.一种用于光刻机的对准镜头，由三组透镜组和分光镜/分光棱镜组合而成，三组透镜组分别为第一透镜组g1、第二透镜组g2、第三透镜组g3；各个透镜组由单个镜片或两个以上镜片组成。
13.第一透镜组g1和第二透镜组g2构成对准标识搜寻镜头c1，第三透镜组g3和第二透镜组g2构成高倍率镜头c2，分光镜/分光棱镜g5位于两组镜头光路的交汇处，起到分光作用，如图1所示。
14.三组透镜组的参数满足关系式f1/f2＝b1，f3/f2＝b2，其中f1为第一透镜组的焦距，f2为第二透镜组的焦距，f3为第三透镜组的焦距，b1为对准标识搜寻镜头的倍率，b1为高倍率镜头的倍率。
15.通过选择合适焦距的透镜组g1、g2、g3(满足上述关系式)，即可组合成不同倍率的对准镜头，使得对准标识搜寻镜头倍率较低但视场大，用于快速搜寻mark(图1中m2)；使得高倍率镜头视场小但分辨率高，用来识别高精度的mark及其精确位置，从而在保证对准精度不变的情况下，极大地提高对准效率。
16.显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域及相关领域的普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应属于本发明保护的范围。


技术特征：
1.一种用于光刻机的对准镜头，其特征在于，由三组透镜组和分光镜/分光棱镜组合而成，三组透镜组分别为第一透镜组g1、第二透镜组g2、第三透镜组g3；第一透镜组g1和第二透镜组g2构成对准标识搜寻镜头，第三透镜组g3和第二透镜组g2构成高倍率镜头，分光镜/分光棱镜位于两组镜头光路的交汇处；三组透镜组的参数满足关系式f1/f2＝b1，f3/f2＝b2，其中f1为第一透镜组的焦距，f2为第二透镜组的焦距，f3为第三透镜组的焦距，b1为对准标识搜寻镜头的倍率，b1为高倍率镜头的倍率。2.根据权利要求1所述的倍率内调镜头，其特征在于，各个透镜组由单个镜片或两个以上镜片组成。

技术总结
本发明公开了一种用于光刻机的对准镜头，由三组透镜组和分光镜/分光棱镜组合而成，三组透镜组分别为第一透镜组G1、第二透镜组G2、第三透镜组G3；第一透镜组G1和第二透镜组G2构成对准标识搜寻镜头，第三透镜组G3和第二透镜组G2构成高倍率镜头，分光镜/分光棱镜位于两组镜头光路的交汇处；三组透镜组的参数满足关系式F1/F2＝B1，F3/F2＝B2，其中F1为第一透镜组的焦距，F2为第二透镜组的焦距，F3为第三透镜组的焦距，B1为对准标识搜寻镜头的倍率，B1为高倍率镜头的倍率。本发明结构简单，两组镜头共用第一透镜组，结构得到简化，且两组镜头视场完全同轴；保证高分辨率的同时，能够快速搜寻到对准标识。搜寻到对准标识。搜寻到对准标识。


技术研发人员：李文静 章广飞 王运钢 薛业保
受保护的技术使用者：安徽国芯智能装备有限公司
技术研发日：2022.02.17
技术公布日：2022/5/17