一种光刻胶减压干燥装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种光刻胶减压干燥装置，属于半导体生产技术领域。


背景技术：

2.半导体介绍，
3.半导体经过涂胶后，需要烘箱烘烤将半导体上的大量溶剂挥发掉再进行曝光，残留在半导体上的溶剂会造成半导体曝光时光线分散，导致光刻图形不清晰。
4.当前半导体生产工艺中，在旋转涂胶后直接放入烘箱进行烘烤，对溶剂的烘干效率低，需要较高的烘烤温度和较长的时间，影响了生产效率，同时，过高的温度会造成大量溶剂过快挥发，容易遇冷凝结，滴在产品上会影响产品质量。
5.通过在烘干前增加减压或真空条件进行抽气干燥，可以降低溶剂的沸点，加快溶剂挥发，从而减少后续烘烤步骤时需要处理的溶剂量，减少烘烤步骤的时间，提高生产效率。
6.因此本实用新型提供一种光刻胶减压干燥装置。


技术实现要素：

7.为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种光刻胶减压干燥装置，其具体技术方案如下：
8.一种光刻胶减压干燥装置，包括抽气干泵、腔体和抽气管路，所述抽气干泵与腔体通过抽气管路连通，所述抽气管路上设置有手动阀，所述腔体一侧设置有腔门，所述腔体底部开设有中心通孔和若干抽气孔，所述抽气管路接设在抽气孔下方，所述腔体底部穿过中心通孔设置有丝杆，所述丝杆上端设置有托盘，下端设置有电缸。
9.进一步的，所述抽气管路包括抽气主管和若干抽气分管，所述抽气孔的数量与抽气分管数量相同，所述抽气分管一端与抽气主管连接，另一端与腔体底部的抽气孔连接。
10.进一步的，所述抽气管路上还设置有apc阀。
11.进一步的，所述托盘靠近中心位置开设有吸附抽气孔，所述吸附抽气孔下方接有吸气软管，所述吸气软管另一端连接有真空泵。
12.进一步的，所述托盘呈圆盘状，上表面开设有吸附沟槽，所述吸附沟槽呈若干同心环状。
13.进一步的，所述托盘选用al或sus材质，所述托盘为直径为125cm的圆形。
14.本实用新型的有益效果是：本实用新型在软烤之前对光刻胶进行真空抽气干燥，提升了溶剂的挥发效率，使软烤时间缩短，软烤温度降低5℃，烘干工艺生产效率提升20%，减少了烘箱中的凝结物产生，延长了设备的维护周期，挥发物滴落造成的局部无法曝光发生频率降低5%，同时配有升降马达，可以根据不同抽气压力调整硅片的高度，保证溶剂挥发均匀。
附图说明
15.图1是本实用新型的结构示意图，
16.图2是本实用新型的腔体示意图，
17.图3是托盘的俯视图，
18.图4是托盘的立体图，
19.图中：1—腔体，2—硅片，3—托盘，4—丝杆，5—电缸，6—抽气分管，7—抽气主管，8—apc阀，9—抽气干泵，10—真空泵，11—吸气软管，12—手动阀，13—抽气孔，14—中心通孔，15—吸附沟槽，16—吸附抽气孔，17—腔门。
具体实施方式
20.现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
21.实施例：
22.如图1所示，本实用新型的光刻胶减压干燥装置，包括抽气干泵9、腔体1和抽气管路，抽气干泵9和腔体1通过抽气管路连通，腔体1一侧设置有腔门17，腔体1底部中心开设有一个中心通孔14，腔体1底部环绕中心通孔14开设有四个抽气孔13，抽气管路包括一根抽气主管7和四根抽气分管6，抽气主管7一端与抽气干泵9连通，另一端与四根抽气分管6连接，四根抽气分管6另一端接设在腔体1底部的抽气孔13下方，抽气主管7上设置有手动阀12和apc阀8，apc阀8对抽气压力进行显示和调整，腔体1穿过中心通孔14设置有丝杆4，丝杆4上端与托盘3固定，下端与电缸5连接，托盘3开设有贯穿的吸附抽气孔16，吸附抽气孔16下方接设有吸气软管11，吸气软管11另一端连接有真空泵10，托盘3上表面开设有若干同心排布的环形吸附沟槽15。
23.在半导体硅片经过旋转涂胶后，打开腔门17，将硅片放入腔体1中的托盘上，关闭腔门17，开启真空泵10，将硅片吸附在托盘3上，避免吸气干燥或托盘3升降过程中出现硅片的移动掉落，吸附沟槽15便于溶剂从下方挥发，
24.开启抽气干泵9，将腔体1内的气体抽出，使腔体1呈负压，对硅片进行抽气干燥，管路上的apc阀8显示腔体1的负压值，通过apc阀8对负压进行调整；
25.由于在相同抽气压力下，硅片处于不同高度时气流的影响不同，需要对硅片高度进行调整，本实施例增加了电缸5与丝杆4配合达到升降功能；
26.初始抽气时，保持托盘3处于超过腔体1高度一半的高位，使抽气影响均匀，防止出现硅片干墙现象；
27.在快速抽气时，硅片若处于高位，会导致挥发不均匀，四周干，中间湿，因此通过腔体1下方的电缸5驱动，调整丝杆4高度，进而降低托盘3和硅片的高度；
28.在抽气完毕后，进行破真空操作时，通过电缸5驱动丝杆4上升，调高托盘3和硅片的高度，防止硅片表面发生破膜。
29.抽气过程中，溶剂挥发的气体得到统一处理，不会自由扩散到空气中，减少了污染环境和对人体的危害。
30.以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实
用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。


技术特征：
1.一种光刻胶减压干燥装置，其特征在于：包括抽气干泵（9）、腔体（1）和抽气管路，所述抽气干泵（9）与腔体（1）通过抽气管路连通，所述抽气管路上设置有手动阀（12），所述腔体（1）一侧设置有腔门（17），所述腔体（1）底部开设有中心通孔（14）和若干抽气孔（13），所述抽气管路接设在抽气孔（13）下方，所述腔体（1）底部穿过中心通孔（14）设置有丝杆（4），所述丝杆（4）上端设置有托盘（3），下端设置有电缸（5）。2.根据权利要求1所述的光刻胶减压干燥装置，其特征在于：所述抽气管路包括抽气主管（7）和若干抽气分管（6），所述抽气孔（13）的数量与抽气分管（6）数量相同，所述抽气分管（6）一端与抽气主管（7）连接，另一端与腔体（1）底部的抽气孔（13）连接。3.根据权利要求1所述的光刻胶减压干燥装置，其特征在于：所述抽气管路上还设置有apc阀（8）。4.根据权利要求1所述的光刻胶减压干燥装置，其特征在于：所述托盘（3）靠近中心位置开设有吸附抽气孔（16），所述吸附抽气孔（16）下方接有吸气软管（11），所述吸气软管（11）另一端连接有真空泵（10）。5.根据权利要求1所述的光刻胶减压干燥装置，其特征在于：所述托盘（3）呈圆盘状，上表面开设有吸附沟槽（15），所述吸附沟槽（15）呈若干同心环状。6.根据权利要求1所述的光刻胶减压干燥装置，其特征在于：所述托盘（3）选用al或sus材质，所述托盘（3）为直径为125cm的圆形。

技术总结
本实用新型涉及一种光刻胶减压干燥装置，包括抽气干泵、腔体和抽气管路，抽气干泵与腔体通过抽气管路连通，抽气管路上设置有手动阀，腔体一侧设置有腔门，腔体底部开设有抽气孔和中心通孔，抽气管路接设在抽气孔下方，腔体底部穿过中心通孔设置有丝杆，丝杆上端设置有托盘，下端设置有电缸。本实用新型在软烤之前对光刻胶进行真空抽气干燥，提升了溶剂的挥发效率，使软烤时间缩短，软烤温度降低，烘干工艺生产效率提升，减少了烘箱中的凝结物产生，延长了设备的维护周期，同时配有升降马达，根据不同抽气压力调整硅片的高度，保证溶剂挥发均匀。均匀。均匀。


技术研发人员：康凯 陈旺 康威 覃伯成
受保护的技术使用者：深圳迪道微电子科技有限公司
技术研发日：2021.12.08
技术公布日：2022/5/16