反射镜装调系统及装调方法与流程

技术特征：
1.一种反射镜装调系统，其特征在于，包括：平板玻璃组件，沿光的传播方向，所述平板玻璃组件位于待装调反射镜的上游；平面反射镜组件，沿光的传播方向，所述平面反射镜组件位于所述待装调反射镜的下游；测量设备，用于发射检测光，所述检测光经所述平板玻璃组件传递至所述待装调反射镜，所述检测光经所述待装调反射镜的反射光传递至所述平面反射镜组件，所述反射光经所述平面发射镜组件、待装调反射镜反射后，经所述平板玻璃组件返回至所述测量设备；根据所述测量设备接收的反射光得到测量值，通过比较测量值与设计值，对所述待装调反射镜的角度和距离进行调整，至测量值达到设计值。2.根据权利要求1所述的反射镜装调系统，其特征在于，所述待装调反射镜的框架设有用于调节待装调反射镜的距离和角度的调节组件。3.根据权利要求1所述的反射镜装调系统，其特征在于，所述装调系统还包括：固定支架，用于固定所述待装调反射镜。4.根据权利要求1所述的反射镜装调系统，其特征在于，所述平板玻璃组件包括：平板玻璃和固定底座，所述平板玻璃通过所述固定底座固定于所述待装调反射镜上游。5.根据权利要求1所述的反射镜装调系统，其特征在于，平面反射镜组件包括：平面反射镜和固定板，所述平面反射镜通过所述固定板固定于所述待装调反射镜下游。6.根据权利要求5所述的反射镜装调系统，其特征在于，所述平面反射镜组件还包括：支撑件，用于连接支撑所述固定板。7.根据权利要求5所述的反射镜装调系统，其特征在于，所述平面反射镜为表面镀金的反射镜。8.根据权利要求1-7中任一项所述的反射镜装调系统，其特征在于，所述测量设备包括：镜面定位仪和显示器。9.一种反射镜装调方法，其特征在于，所述装调方法采用如权利要求1-8中任一项所述的反射镜装调系统对待装调反射镜进行装调，所述装调方法包括：测量设备发射检测光，所述检测光通过所述平板玻璃组件照射至待调节反射镜；所述检测光经所述待装调反射镜反射生成反射光；所述反射光反射至所述平面反射镜组件，并经所述平面发射镜组件、待装调反射镜反射后，经所述平板玻璃组件返回至所述测量设备；根据所述测量设备接收的反射光获的测量值，通过比较测量值与设计值，对所述待装调反射镜的角度和距离进行调整，至测量值达到设计值。10.根据权利要求9所述的反射镜装调方法，其特征在于，所述装调方法还包括：对待装调反射镜的镜框进行平面标定，判断所述镜框是否满足预设要求。

技术总结
本发明提出了一种反射镜装调系统及装调方法，装调系统包括：平板玻璃组件、平面反射镜组件及测量设备，沿光的传播方向，平板玻璃组件位于待装调反射镜的上游，平面反射镜组件位于待装调反射镜的下游；测量设备用于发射检测光，检测光经平板玻璃组件传递至待装调反射镜，检测光经待装调反射镜的反射光传递至平面反射镜组件，反射光经平面发射镜组件、待装调反射镜反射后，经平板玻璃组件返回至测量设备；根据测量设备接收的反射光得到测量值，通过比较测量值与设计值，对待装调反射镜的角度和距离进行调整，至测量值达到设计值。本发明摒弃了接触式的顶针测量法使用了无接触式测量，减少了镜片损伤的风险，且具有高精度装调特性。特性。特性。


技术研发人员：尤宏波 阚博涵 曹景华 彭燕鸿 张大为 郝利民
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第十一研究所
技术研发日：2022.01.14
技术公布日：2022/5/10