一种模块化接口结构的中频磁控溅射电源的制作方法

1.本实用新型涉及中频磁控溅射电源技术领域，具体为一种模块化接口结构的中频磁控溅射电源。


背景技术：

2.中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出，电源输出频率设为典型的中频溅射电源以两个溅射靶作为负载，两个靶交替工作，因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射，使靶材表面积累电荷有的到充分泄放时，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒，特别适用于反应膜层环境使用。
3.现有的中频磁控溅射电源设备，常见问题有：为适应其他设备的加载需求，现有的中频磁控溅射电源被设计为相互可拆卸连接的产品，但是由于其二者为不同的厂家研发制造使得其各自有不同的接口，存在安装时接口不匹配的问题，在安装上较为不灵活。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种模块化接口结构的中频磁控溅射电源，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：包括电源主体和调整机构，用于散热安装的所述电源主体侧端面安装有用于适应插接的调整机构，所述调整机构包括轨道、侧卡座、凸台、轴套、双头丝杆和结节，所述轨道内部滑动安装有侧卡座，且侧卡座对称安装于轨道左右两端，所述轨道中端顶部固定安装有凸台，所述侧卡座底部固定安装有轴套，且轴套内部啮合贯穿有双头丝杆，所述双头丝杆中部设置有结节，且双头丝杆表面螺旋以结节为对称中心左右反向设置。
6.优选的，所述调整机构还包括限位销和转柄，所述双头丝杆左侧端面固定安装有限位销，且双头丝杆右侧端面套装有转柄，所述转柄通过双头丝杆与两侧侧卡座构成同步传动连接。
7.优选的，所述电源主体包括防滑座、箱体、散热条和pcb板，所述防滑座顶部固定安装有箱体，且箱体正反两面开设有散热条，所述箱体内部通过螺栓安装有pcb板。
8.优选的，所述电源主体还包括定位孔、滑柱和盖板，所述箱体顶部四处拐角处均开设有定位孔，且定位孔内部安装有滑柱，所述滑柱内侧滑动安装有盖板，且盖板形状与箱体顶部开口相契合。
9.优选的，所述箱体右侧外部设置有插入端，且插入端底部内侧固定安装有拨动块，所述拨动块位于两侧插入端底部内侧安装位置高低有差。
10.优选的，所述凸台内部安装有用于限位安装的对接主体，且所述对接主体包括棱形座、从动台和对接端，所述棱形座两侧对称安装有从动台，且插入端通过拨动块与从动台构成传动连接，所述棱形座正面开设有对接端。
11.优选的，所述对接主体还包括滑槽和限位块，所述棱形座上下两端对称开设有滑
槽，且棱形座通过滑槽滑动安装于凸台内部，所述棱形座正面滑动安装有限位块，且凸台对应限位块处开设有槽体。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：解决为适应其他设备的加载需求，现有的中频磁控溅射电源被设计为相互可拆卸连接的产品，但是由于其二者为不同的厂家研发制造使得其各自有不同的接口，存在安装时接口不匹配的问题，在安装上较为不灵活的技术问题，提供一种模块化接口结构的中频磁控溅射电源，通过简便的操作即可实现本实用提出的中频磁控溅射电源的稳固对接，并可根据不同插入设备的尺寸自适应调节自身对接方式，适用性更强。
13.1.本实用新型通过电源主体的设置，本实用所提出的一种中频磁控溅射电源，其电源主体结构简单，箱体底部防滑座的设置使其置于不同位置都具备防滑稳固能力，箱体内部设置有用于电源输出频率控制的pcb板，箱体正反两面开设有利于pcb板散热的散热条，箱体顶部活动安装的盖板利于日常防尘的同时便于拆卸，使用者手持并抬升盖板使之位于箱体顶部四处拐角开设的定位孔内部滑柱内侧滑动，进而打开箱体，操作简便适用性更强；
14.2.本实用新型通过调整机构的设置，使用者根据待对接的插入端尺寸大小，通过调整机构的使用自适应调整电源主体的对接方式，使用者旋转转柄，转柄带动内侧双头丝杆进行转动，双头丝杆表面螺旋以中部结节为中心反向对称，在转柄的驱动下啮合安装于双头丝杆两侧的轴套同步位于轨道内滑动位移，直至调整至两侧侧卡座中部结构间隙适应插入端的对接，解决现有的中频磁控溅射电源被设计为相互可拆卸连接的产品，但是由于其二者为不同的厂家研发制造使得其各自有不同的接口，存在安装时接口不匹配的问题，在安装上较为不灵活的技术问题；
15.3.本实用新型通过对接主体的设置，使用者将外部设备的插入端插入到调整好位置的调整机构内，插入端顺着轨道中部凸台与侧卡座的结构间隙深入，插入端底部内侧高低有差的拨动块先后接触棱形座输入端从动台，迫使从动台在滑槽作用下位于凸台内部往复滑动，直至两侧插入端完全深入侧卡座，此时使用者同步推动棱形座正面滑动安装的限位块，使之贯穿并卡合于凸台内，实现棱形座位置的固定，高低有差的拨动块的设置为插入端的防脱落设置两道保险，保障在后续外部设备经由棱形座正面中部对接端的插入稳固，不易在使用者发生滑脱的现象。
附图说明
16.图1为本实用新型电源主体正视结构示意图；
17.图2为本实用新型调整机构正视结构示意图；
18.图3为本实用新型对接主体立体结构示意图。
19.图中：1、电源主体；101、防滑座；102、箱体；103、散热条；104、pcb板；105、定位孔；106、滑柱；107、盖板；2、插入端；3、拨动块；4、调整机构；401、轨道；402、侧卡座；403、凸台；404、轴套；405、双头丝杆；406、结节；407、限位销；408、转柄；5、对接主体；501、棱形座；502、从动台；503、对接端；504、滑槽；505、限位块。
具体实施方式
20.如图2所示，一种模块化接口结构的中频磁控溅射电源，包括电源主体1和调整机构4，用于散热安装的电源主体1侧端面安装有用于适应插接的调整机构4，调整机构4包括轨道401、侧卡座402、凸台403、轴套404、双头丝杆405和结节406，轨道401内部滑动安装有侧卡座402，且侧卡座402对称安装于轨道401左右两端，轨道401中端顶部固定安装有凸台403，侧卡座402底部固定安装有轴套404，且轴套404内部啮合贯穿有双头丝杆405，使用者根据待对接的插入端2尺寸大小，通过调整机构4的使用自适应调整电源主体1的对接方式，使用者旋转转柄408，转柄408带动内侧双头丝杆405进行转动，双头丝杆405表面螺旋以中部结节406为中心反向对称，在转柄408的驱动下啮合安装于双头丝杆405两侧的轴套404同步位于轨道401内滑动位移，双头丝杆405中部设置有结节406，且双头丝杆405表面螺旋以结节406为对称中心左右反向设置，调整机构4还包括限位销407和转柄408，双头丝杆405左侧端面固定安装有限位销407，且双头丝杆405右侧端面套装有转柄408，转柄408通过双头丝杆405与两侧侧卡座402构成同步传动连接，箱体102右侧外部设置有插入端2，且插入端2底部内侧固定安装有拨动块3，拨动块3位于两侧插入端2底部内侧安装位置高低有差直至调整至两侧侧卡座402中部结构间隙适应插入端2的对接，使用者将外部设备的插入端2插入到调整好位置的调整机构4内，插入端2顺着轨道401中部凸台403与侧卡座402的结构间隙深入，插入端2底部内侧高低有差的拨动块3先后接触棱形座501输入端从动台502。
21.如图1所示，电源主体1包括防滑座101、箱体102、散热条103和pcb板104，防滑座101顶部固定安装有箱体102，且箱体102正反两面开设有散热条103，箱体102底部防滑座101的设置使其置于不同位置都具备防滑稳固能力，箱体102内部设置有用于电源输出频率控制的pcb板104，箱体102正反两面开设有利于pcb板104散热的散热条103，箱体102内部通过螺栓安装有pcb板104，电源主体1还包括定位孔105、滑柱106和盖板107，箱体102顶部四处拐角处均开设有定位孔105，且定位孔105内部安装有滑柱106，滑柱106内侧滑动安装有盖板107，且盖板107形状与箱体102顶部开口相契合，箱体102顶部活动安装的盖板107利于日常防尘的同时便于拆卸，使用者手持并抬升盖板107使之位于箱体102顶部四处拐角开设的定位孔105内部滑柱106内侧滑动，进而打开箱体102进行检查维护。
22.如图3所示，凸台403内部安装有用于限位安装的对接主体5，且对接主体5包括棱形座501、从动台502和对接端503，棱形座501两侧对称安装有从动台502，且插入端2通过拨动块3与从动台502构成传动连接，棱形座501正面开设有对接端503，对接主体5还包括滑槽504和限位块505，棱形座501上下两端对称开设有滑槽504，且棱形座501通过滑槽504滑动安装于凸台403内部，棱形座501正面滑动安装有限位块505，且凸台403对应限位块505处开设有槽体，从动台502在滑槽504作用下位于凸台403内部往复滑动，直至两侧插入端2完全深入侧卡座402，此时使用者同步推动棱形座501正面滑动安装的限位块505，使之贯穿并卡合于凸台403内，实现棱形座501位置的固定，高低有差的拨动块3的设置为插入端2的防脱落设置两道保险，保障在后续外部设备经由棱形座501正面中部对接端503的插入稳固，不易在使用时发生滑脱的现象。
23.工作原理：在使用该一种模块化接口结构的中频磁控溅射电源时，本实用所提出的一种中频磁控溅射电源，其电源主体1结构简单，箱体102底部防滑座101的设置使其置于不同位置都具备防滑稳固能力，箱体102内部设置有用于电源输出频率控制的pcb板104，箱
体102正反两面开设有利于pcb板104散热的散热条103，箱体102顶部活动安装的盖板107利于日常防尘的同时便于拆卸，使用者手持并抬升盖板107使之位于箱体102顶部四处拐角开设的定位孔105内部滑柱106内侧滑动，进而打开箱体102进行检查维护，使用者根据待对接的插入端2尺寸大小，通过调整机构4的使用自适应调整电源主体1的对接方式，使用者旋转转柄408，转柄408带动内侧双头丝杆405进行转动，双头丝杆405表面螺旋以中部结节406为中心反向对称，在转柄408的驱动下啮合安装于双头丝杆405两侧的轴套404同步位于轨道401内滑动位移，直至调整至两侧侧卡座402中部结构间隙适应插入端2的对接，使用者将外部设备的插入端2插入到调整好位置的调整机构4内，插入端2顺着轨道401中部凸台403与侧卡座402的结构间隙深入，插入端2底部内侧高低有差的拨动块3先后接触棱形座501输入端从动台502，迫使从动台502在滑槽504作用下位于凸台403内部往复滑动，直至两侧插入端2完全深入侧卡座402，此时使用者同步推动棱形座501正面滑动安装的限位块505，使之贯穿并卡合于凸台403内，实现棱形座501位置的固定，高低有差的拨动块3的设置为插入端2的防脱落设置两道保险，保障在后续外部设备经由棱形座501正面中部对接端503的插入稳固，不易在使用时发生滑脱的现象。