用于制备彩色滤光片的组合物的制作方法

用于制备彩色滤光片的组合物
1.本发明涉及适用于制备彩色滤光片(color filter)的组合物，涉及制备彩色滤光片的方法，涉及彩色滤光片，并涉及包含所述彩色滤光片的器件(device)。
2.us 9075305描述了用于彩色滤光片的光敏树脂组合物。该文献中描述的组合物含有二环戊烯基官能的丙烯酸系树脂和低分子量烯属不饱和化合物，特别是马来酰亚胺。该组合物中的低分子量马来酰亚胺的量相对较高。在一些实施方案中，低分子量马来酰亚胺的重量超过二环戊烯基官能的丙烯酸系树脂的重量。在组合物固化过程中的不完全转化可能在固化的组合物中留下游离低分子量马来酰亚胺。低分子量马来酰亚胺具有对人类健康不理想的性质。需要使组合物中的低分子量烯属不饱和化合物的使用和暴露最小化。此外，酰亚胺在通常用于组合物制备彩色滤光片的溶剂中的溶解度有限。
3.wo 2017/085070涉及用于电子器件中的介电层的可交联聚合物。该聚合物在侧链中具有烯属二氢二环戊二烯基官能团。该聚合物用紫外线辐射交联。可交联聚合物适用于制备介电层，特别是用于有机场效应晶体管。
4.us 2012/0004341描述了碱溶性树脂聚合物和包含其的光敏树脂组合物。碱溶性树脂是甲基丙烯酸烯丙酯的共聚物。光敏树脂组合物包含具有烯属不饱和可聚合键的单体。
5.本发明试图提供适用于制备彩色滤光片，特别是图案化彩色滤光片的组合物。该组合物应该仅含有低含量的低分子量烯属不饱和化合物，该组合物优选应该基本不含这样的化合物。
6.本发明提供一种组合物，其包含
7.i)着色剂
8.ii)自由基发生型光引发剂(radical generating photoinitiator)，
9.iii)一种聚合物，其中至少40摩尔％的重复单元是根据式(i)
10.的单元，
11.其中
12.r1在每次出现时独立地为h或ch3，
13.r2是式(ii)
14.的基团，
15.其中l是连接基，n是0或1，且x在每次出现时独立地为o或ch2，r3在每次出现时独立地选自h、cooh和式(ii)的基团，
16.iv)基于聚合物iii)的重量计算，0.0至10.0重量％的一种或多种具有小于1500g/
mol的分子量的烯属不饱和可聚合单体。
17.本发明的组合物非常适用于制备彩色滤光片，特别是图案化彩色滤光片。该组合物可在不加入低分子量烯属不饱和化合物的情况下配制。
18.通常，该组合物包含基于聚合物iii)的重量计算，0.0至10.0重量％的一种或多种具有小于1500g/mol的分子量的烯属不饱和可聚合单体。在一些实施方案中，该组合物可包含含有烷氧基硅烷基团和烯属不饱和可聚合基团的附着力改进添加剂。因此，在优选实施方案中，对组分iv)的重量限制涉及具有小于1500g/mol的分子量并且不含烷氧基硅烷基团的烯属不饱和可聚合单体。在优选实施方案中，该组合物包含基于聚合物iii)的重量计算0.0至5.0重量％的一种或多种具有小于1500g/mol的分子量并且不含烷氧基硅烷基团的烯属不饱和可聚合单体。最优选的是，该组合物不含或基本不含这样的单体。“基本不含”意味着该组合物不含实质影响该组合物的性质的量的具有小于1500g/mol的分子量并且不含烷氧基硅烷基团的烯属不饱和可聚合单体。在一些实施方案中，该组合物可能含有0.0至1.5重量％的少量来自聚合物iii)的制备的残留未聚合烯属不饱和单体。如此量的烯属不饱和可聚合单体不会实质影响该组合物的性质。
19.烯属不饱和可聚合单体iv)的实例包括不饱和羧酸，如(甲基)丙烯酸、脂族多羟基化合物和不饱和羧酸的酯、芳族多羟基化合物和不饱和羧酸的酯、通过不饱和羧酸或多价羧酸和多元羟基化合物，如上述脂族多羟基化合物和芳族多羟基化合物的酯化反应获得的酯，和具有氨基甲酸乙酯骨架(urethane skeleton)的烯属不饱和化合物，所谓的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯(urethane(meth)acrylates)，其优选可通过使多异氰酸酯化合物和含(甲基)丙烯酰基的羟基化合物反应获得。
20.具体实例是脂族多羟基化合物和不饱和羧酸的酯，包括(甲基)丙烯酸酯，如乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基乙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯和甘油(甲基)丙烯酸酯。烯属不饱和化合物iv)的进一步实例包括具有一个或多个马来酰亚胺基团的马来酰亚胺。这样的马来酰亚胺的实例描述在us 9075305，第6栏第42行至第89栏第40行中。
21.为了制备彩色滤光片，本发明的组合物包含着色剂。着色剂i)可以是至少一种颜料或至少一种染料、或颜料混合物、或至少一种颜料和至少一种染料的混合物、或染料混合物。作为本发明的组合物中的着色剂，颜料是优选的。可使用有机和/或无机颜料。优选的是有机颜料。着色剂进一步包括所谓的分散染料。
22.在某些应用中，染料混合物优选用于蓝色，颜料混合物优选用于绿色，且颜料混合物或颜料和染料的混合物优选用于红色。
23.彩色滤光片的颜色通常是红色、绿色或蓝色，具有包围这些像素(pixels)的黑色矩阵(black matrix)。通常将颜料混合以实现特定像素的颜色。例如，绿色像素组合物可含有具有绿色色调的颜料和具有黄色色调的颜料的共混物。
24.优选的有机颜料是吡咯并吡咯二酮颜料(diketopyrrolopyrrole-pigments)、偶氮颜料(azo-pigments)、酞菁颜料(phthalocyanine-pigments)、喹吖啶酮颜料(quinacridone-pigments)、苯并咪唑酮颜料(benzimidazolone-pigments)、异吲哚啉酮颜
料(isoindolinone-pigments)、二噁嗪颜料(dioxazine-pigments)、阴丹士林颜料(indanthrene-pigments)和苝颜料(perylene-pigments)。颜料也可以是无机颜料。
25.合适着色剂的具体实例描述在wo 2019/096891，第9页第30行至第13页第16行中。
26.优选的是，用作着色剂的颜料具有通过根据iso 13320:2009的激光衍射测定的1μm或更小，优选0.3μm或更小，更优选50nm或更小的平均中值粒径。
27.通常，基于该组合物的不挥发物含量计算，该组合物中的着色剂的量在20.0至60.0重量％的范围内。该组合物中的着色剂的优选量取决于着色剂的类型。基于该组合物的不挥发物含量计算，红色着色剂优选以30.0至35.0重量％的量存在。基于该组合物的不挥发物含量计算，绿色着色剂优选以40.0至50.0重量％的量存在。基于该组合物的不挥发物含量计算，蓝色着色剂优选以25.0至30.0重量％的量存在。
28.该组合物进一步包含自由基发生型光引发剂。
29.光引发剂(photoinitiator)通常作为光致聚合引发剂(photopolymerization initiating agent)和必要时添加的聚合促进剂(polymerization accelerator)和直接吸收光或光敏化以造成降解反应或夺氢反应的组分的混合物使用，并具有生成聚合活性自由基的功能。不同种类的光致聚合引发剂是文献中公知的，且本发明的组合物在不同种类的光致聚合引发剂与本发明的组合物联合使用方面不受限制。光致聚合引发剂的实例包括jp-a no.59-152396和jp-a no.61-151197中描述的噻吨酮衍生物(thioxanthone derivatives)、二茂钛衍生物(titanocene derivatives)；jp-a no.10-300922、jp-a no.11-174224和jp-a no.2000-56118中描述的六芳基双咪唑衍生物(hexaarylbiimidazole derivatives)；自由基活化剂，如卤甲基化噁二唑衍生物、卤甲基-s-三嗪衍生物、n-芳基-α-氨基酸，如n-苯基甘氨酸，n-芳基-α-氨基酸盐和n-芳基-α-氨基酸酯，和jp-a no.10-39503中描述的α-氨基烷基苯酮衍生物(α-aminoalkylphenone derivatives)；jp-a no.2000-80068中描述的基于肟酯的衍生物。有一种趋势是使用在较高波长(例如在365至405nm的范围内)下有活性的光致聚合引发剂。
30.合适的光引发剂的具体实例包括二苯甲酮、2-乙基蒽醌、噻吨酮、2-,4-异丙基噻吨酮(异构体)、2-氯噻吨酮、1-氯-4-丙氧基噻吨酮、2-三氟甲基噻吨酮、2,4-双(三氯甲基)-6-甲氧基苯乙烯基-s-三嗪、(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-二苯基氧化膦、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基膦、2,2'-双(o-氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基-1,2-联咪唑、4-(-4'-甲基苯硫基)二苯甲酮、1-羟基环己基苯基酮、2-(4-甲基苄基)-2-(二甲基氨基)-4-吗啉基丁酰苯、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9h-咔唑-3-基]乙酮1(o-乙酰肟)(oxe02)、2-(o-苯甲酰基肟)-1-[4-(苯硫基)苯基]-1,2-辛二酮(oxe01)、3-苯甲酰基-7-甲氧基香豆素、苯偶酰二甲基缩酮、2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、低聚1-氯-4-丙氧基噻吨酮(speedcure 7010)、5-二苯并环庚烯酮(5-dibenzosuberenone)及其混合物。
[0031]
必要时使用的聚合促进剂的实例包括n,n-二烷基氨基苯甲酸烷基酯，如n,n-二甲基氨基苯甲酸乙酯；巯基化合物，如具有杂环的巯基化合物，如2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并噁唑和2-巯基苯并咪唑；或脂族多官能巯基化合物。
[0032]
光致聚合引发剂和聚合促进剂可单独或结合使用。
[0033]
该组合物进一步包含聚合物iii)，其中至少40摩尔％的重复单元是根据式(i)
[0034]
的单元，
[0035]
其中
[0036]
r1在每次出现时独立地为h或ch3，
[0037]
r2是式(ii)
[0038]
的基团，
[0039]
其中l是连接基，n是0或1，且x在每次出现时独立地为o或ch2，
[0040]
r3在每次出现时独立地选自h、cooh和式(ii)的基团。
[0041]
通常，聚合物iii)中40.0至80.0摩尔％的重复单元是根据式(i)的单元。在优选实施方案中，至少45.0摩尔％的重复单元是根据式(i)的单元。
[0042]
在一些实施方案中，优选的是，在式(ii)中，n是0。还优选的是，x是ch2。
[0043]
连接基l将式(ii)的基团连接到聚合物主链。在优选实施方案中，基团l包含酯基团。在一些实施方案中，连接基包含酯基团和醚基团。连接基l经由伸入多环体系的线段穿过的键的任一碳原子连接到式(ii)的基团的多环体系上。
[0044]
根据本发明使用的聚合物iii)合适地通过烯属不饱和可聚合单体的已知聚合方法制备。聚合方法的实例包括使用自由基引发剂的自由基聚合、以及受控自由基聚合，如atrp(原子转移自由基聚合)、raft(可逆加成断裂链转移(reversible addition fragmentation chain transfer))或nmp(氮氧调控聚合(nitroxide mediated polymerization))。
[0045]
式(i)的重复单元合适地通过具有式(ii)的基团的烯属不饱和可聚合单体的聚合并入聚合物中。这样的单体的实例由以下结构表示：
[0046]
1.
[0047]
2.
[0048][0049]
除式(i)的重复单元外，聚合物iii)通常还包含衍生自其它烯属不饱和可聚合单体的其它重复单元。这样的单体的实例包括丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、丙烯酰胺和/或甲基丙烯酰胺。在本文中术语“(甲基)丙烯酰((meth)acryl)”是指甲基丙烯酰(methacryl)和丙
烯酰(acryl)。这同样适用于术语“(甲基)丙烯酸酯”，其同样是指甲基丙烯酸酯和丙烯酸酯。可提到具有1至22，优选1至12，更优选1至8，最优选1至6个碳原子的直链、支化或脂环族醇的(甲基)丙烯酸酯，如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸正己酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸异戊酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己基酯、(甲基)丙烯酸十八烷基酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸二十二烷基酯、(甲基)丙烯酸异癸酯、(甲基)丙烯酸2-丙基庚基酯、(甲基)丙烯酸3,5,5-三甲基-1-己基酯、(甲基)丙烯酸壬酯、(甲基)丙烯酸2-丙基庚基酯、(甲基)丙烯酸2-异丙基-5-甲基-己基酯、(甲基)丙烯酸十三烷基酯、(甲基)丙烯酸十七烷基酯、(甲基)丙烯酸二十一烷基酯和(甲基)丙烯酸异冰片酯。其它合适的单体是(甲基)丙烯酸芳基酯，其芳基环，不算可能的附加取代基，含有5至12，优选6至10个碳原子，如丙烯酸苯酯；和(甲基)丙烯酸芳烷基酯，其芳烷基，不算芳基上的可能的附加取代基，含有6至11，优选7至11个碳原子，如甲基丙烯酸苄酯。其它可共聚单体包括(甲基)丙烯酸2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸三甲氧基甲硅烷基丙基酯、n-苯基马来酰亚胺、n-环己基马来酰亚胺和马来酸酐。其它合适的单体是乙烯基芳族化合物，如苯乙烯和乙烯基甲苯，以及乙烯基酯。
[0050]
在一些实施方案中，式(i)的重复单元可通过现有聚合物的改性制备，例如通过市售聚合物与羟基-二环戊二烯(dcpd-oh)的聚合物类似反应(polymer-analogous reactions)制备。特别适用于此类反应的聚合物是具有可用dcpd-oh酯化的羧酸或羧酸酐基团的那些。
[0051]
在本发明的一个变体中，这使用选自聚(苯乙烯-共-马来酸酐)、聚(乙烯-共-马来酸酐)、聚(乙烯基甲基醚-共-马来酸酐)、聚(十八烯-共-马来酸酐)、聚丙烯酸、聚甲基丙烯酸及其混合物的聚合物进行。当羧酸酐官能聚合物与dcpd-oh反应时，二环戊二烯基经由酯基团连接到聚合物主链。在dcpd-oh与羧酸酐官能聚合物的反应中，通常形成羧酸基团，且二环戊二烯基经由酯基团连接到聚合物主链。在这种情况下，式(i)中的r3是cooh。如果该反应在较高温度、除水和/或dcpd-oh相对于羧酸酐基团的摩尔过量下进行，可能发生形成的羧酸基团的进一步酯化。在这种情况下，式(i)中的r3是式(ii)的基团。
[0052]
在优选实施方案中，本发明的组合物中所用的聚合物iii)包含酸基团。该聚合物中的酸基团可使该聚合物可溶于碱性溶液。这一性质与在制备图案化彩色滤光片的方法中溶解未固化的聚合物相关。合适的酸基团的实例是羧酸基团、磷酸基团或酸性磷酸酯基团、磺酸基团及其组合。其中，羧酸基团是优选的。
[0053]
合适地，聚合物iii)具有65至170mg koh/g，优选75至155mg koh/g的酸值。
[0054]
可合适地根据din en iso 2114(2002年6月)测定酸值。
[0055]
在一些实施方案中，聚合物iii)的酸基团直接连接到聚合物的主链。在优选实施方案中，酸基团作为经由连接基连接到聚合物主链的侧基存在。连接基通常具有至少4个碳原子。合适地，连接基具有4至30个碳原子。在一些实施方案中，连接基包含酯基团。
[0056]
聚合物iii)合适地具有在15000至150000g/mol的范围内的重均分子量mw。在优选实施方案中，重均分子量在20000至80000g/mol的范围内。重均分子量合适地通过使用四氢呋喃作为洗脱剂和聚苯乙烯作为校准标样的凝胶渗透色谱法测定。
[0057]
现有技术状况中已知的是在包含烯属不饱和聚合物的组合物中包含多官能硫醇
以造成自由基引发的固化。多官能硫醇是具有两个或更多个硫醇基团的有机化合物。硫醇和多官能硫醇具有不利的毒理学性质和嗅觉性质。因此优选的是，本发明的组合物不含或基本不含多官能硫醇。“基本不含多官能硫醇”意味着该组合物不含实质影响该组合物的性质的量的多官能硫醇。包含0.0至0.2重量％的量的多官能硫醇的组合物通常被认为基本不含多官能硫醇。
[0058]
本发明的组合物通常在23℃的温度下是液体。为了获得液体组合物和将粘度调节到所需水平，该组合物通常包含挥发性有机溶剂。
[0059]
有机溶剂优选具有在80至300℃的范围内的在标准压力(101.325kpa)下的沸点，更优选在100至250℃的范围内的沸点。
[0060]
本发明的组合物的有机溶剂含量优选为本发明的组合物的总重量的10至95重量％，更优选60-90重量％。
[0061]
这样的有机溶剂的实例包括二醇单烷基醚，如乙二醇单丁基醚、丙二醇单甲基醚；二醇二烷基醚，如乙二醇二乙基醚、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇二乙基醚；二醇烷基醚乙酸酯，如乙二醇单甲基醚乙酸酯、乙二醇单乙基醚乙酸酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚乙酸酯、丙二醇单丙基醚乙酸酯、乙酸甲氧基丁酯；二烷基醚，如二乙基醚；酮，如丙酮、甲乙酮、环己酮；一元或多元醇，如乙醇、丙醇、丁醇、己醇、环己醇、乙二醇、丙二醇、二乙二醇、二丙二醇和甘油；脂族烃，如正己烷；脂环族烃，如环己烷；芳烃，如甲苯、二甲苯和异丙苯；线型或环状酯，如乙酸乙酯、乙酸丁酯；腈，如乙腈和苄腈或其混合物。也合适的是丙酸乙氧基乙酯，和含有正丁醇的溶剂共混物，例如正丁醇和二甲亚砜的共混物。
[0062]
优选地，有机溶剂选自二醇单烷基醚、二醇二烷基醚、二醇烷基醚乙酸酯及其混合物。二醇烷基醚乙酸酯更优选。最优选的是丙二醇单甲基醚乙酸酯。二醇烷基醚乙酸酯可独自或与其它溶剂组合使用。
[0063]
在优选实施方案中，本发明的组合物包含用于着色剂的分散剂。分散剂通常含有粘合剂亲和链段(binder affinic segment)和一个或多个颜料亲和基团(pigment affinic group)。颜料亲和基团的实例包括胺基团、季铵基团、胺盐基团、羧酸基团和磷酸基团。在许多专利公开中描述了合适分散剂的实例。jp 2009-25813描述了由丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯组成的胺类嵌段共聚物用于制备彩色光阻剂(color resists)的用途，其胺值在80mg koh/g至150mg koh/g的范围内。us 5,272,201描述了借助基团转移聚合制备并在一个嵌段中包含胺类单体和在另一嵌段中包含酸性单体的甲基丙烯酸酯嵌段共聚物作为润湿剂和分散剂的用途。在ep 2589614中描述了含ab二嵌段共聚物分散剂的含颜料的紫外线敏感配制剂，所述分散剂含有在一个嵌段中的至少一个叔氨基和/或季铵盐基团作为颜料亲和基团和在另一嵌段中的最多10摩尔％的含羧酸基团的单体。jp2013053231a描述了一种借助基团转移聚合制备ab二嵌段共聚物的方法，其由在一个嵌段中的由丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯组成的单体和在另一嵌段中的带有至少一个氨基的丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯形成。合适的市售分散剂的实例可以商品名disperbyk获自byk-chemie gmbh。
[0064]
在优选实施方案中，本发明的组合物包含具有一个或多个烷氧基硅烷基团的化合物。烷氧基硅烷基团具有结构r-o-si，其中r代表烷基。在优选实施方案中，r代表具有1至4个碳原子的烷基。在优选实施方案中，具有一个或多个烷氧基硅烷基团的化合物具有至少一个附加官能团。附加官能团合适地选自环氧基、伯胺或仲胺基团和烯属不饱和可聚合基
团。具有一个或多个烷氧基硅烷基团的化合物的实例包括氨基丙基三甲氧基硅烷、氨基丙基三乙氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、对苯乙烯基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷和甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷。
[0065]
在一个优选实施方案中，该组合物包含
[0066]
i)20.0至60.0重量％的着色剂
[0067]
ii)1.0至10.0重量％的光引发剂
[0068]
iii)20.0至70.0重量％的聚合物，其中40.0至80.0摩尔％的重复单元是根据式(i)
[0069]
的单元，
[0070]
其中
[0071]
r1在每次出现时独立地为h或ch3，
[0072]
r2是式(ii)
[0073]
的基团，
[0074]
其中l是连接基，n是0，且x是ch2，
[0075]
r3是h，
[0076]
且其中所述聚合物具有65至170mg koh/g的酸值，
[0077]
iv)0.0至1.5重量％的一种或多种具有小于1500g/mol的分子量的烯属不饱和可聚合单体，
[0078]
v)5.0至20.0重量％的用于着色剂的分散剂，
[0079]
vi)0.0至4.0重量％的具有一个或多个烷氧基硅烷基团的化合物，
[0080]
其中重量％基于该组合物的不挥发物含量计算。
[0081]
本发明的组合物非常适用于制备彩色滤光片。因此，本发明还涉及一种制备彩色滤光片的方法。所述方法包括步骤
[0082]
a)将根据本发明的组合物施加到基底上和
[0083]
b)通过暴露于光化辐射而固化施加的组合物的所选区域以制造施加的组合物的固化和未固化区域的图案。
[0084]
光化辐射是能够引发化学反应的辐射。光化辐射的实例是紫外线辐射和电子束辐射。在一个优选实施方案中，该方法进一步包括步骤c)，通过用碱性液体处理剂处理而溶解施加的组合物的未固化区域。
[0085]
本发明进一步涉及通过本发明的方法可获得的彩色滤光片，以及包含所述彩色滤
光片的液晶显示器、液晶屏、颜色分辨装置或传感器。
实施例
[0086]
所用原材料
[0087][0088][0089]
聚合物iii)的制备
[0090]
用于制备聚合物p1至p8的通用程序
[0091]
在氮气气氛下将溶剂pgmea置于反应容器中并加热到100℃。
[0092]
单体混合物和溶解在2克pgmea中的引发剂分开经120分钟的时间计量加入。在计量添加后，该反应进一步继续60分钟并逐滴加入溶解在1克pgmea中的第二剂量的引发剂。在进一步反应180分钟后，将反应混合物冷却到室温。制备的聚合物概括在下表1中。
[0093]
表1
[0094][0095]
*起始反应温度为85℃，在180分钟后提高到100℃
[0096]
聚合物p1-p8的光交联层的制备和评价
[0097]
将聚合物溶液与光引发剂和pgmea在搅拌下混合30分钟。将该溶液在1000rpm下旋涂到预清洁的1"玻璃基底上。在热板上预烘烤(90℃，2分钟)后，使基底暴露于紫外线(100mj/cm2，i-line)。然后将基底置于含有0.5％naoh溶液与0.2％十二烷基硫酸钠的烧杯中60秒并用去离子水洗涤。由浸渍在显影剂浴中之前和之后干膜的层厚度比率测定膜保留。借助表面轮廓仪(surface profiler 150veeco)通过划刻该膜和测定阶梯高度(step height)测量层厚度。含有30摩尔％dcpd重复单元的对比聚合物p8的光交联层表现出差的膜保留，表明该聚合物的交联不足。
[0098][0099]
根据本发明的组合物的制备
[0100]
组合物1
[0101]
millbase mb1的制备
[0102]
将7.5克irgaphor red bt-cf、10.0克聚合物溶液p2、5.6克lpn21169、24.4克pgmea和2.5克正丁醇一起置于玻璃瓶中。加入100克zirconox珠并在lau-分散器da s200中在40℃下经4小时的时间进行分散过程。
[0103]
20.0克mb1、20.0克p2和0.32克光引发剂taz-110在搅拌下混合2小时并经1-2μm孔径注射器式过滤器过滤。
[0104]
组合物2
[0105]
millbase mb2的制备
[0106]
将7.5克irgaphor red bt-cf、12.5克聚合物溶液p5、5.6克lpn21169、21.9克pgmea和2.5克正丁醇一起置于玻璃瓶中。加入100克zirconox珠并在lau-分散器da s200中在40℃下经4小时的时间进行分散过程。
[0107]
20.0克mb2、20.0克p5和0.32克光引发剂taz-110在搅拌下混合2小时并经1-2μm孔径注射器式过滤器过滤。
[0108]
组合物3
[0109]
millbase mb3的制备
[0110]
将7.5克irgaphor red bt-cf、12.5克聚合物溶液p4、5.6克lpn21169、21.9克pgmea和2.5克正丁醇在双壁不锈钢容器中在搅拌下混合。加入100克zirconox珠并用溶解器dispermat lc30(vma-getzmann)在40℃下经10小时的时间进行分散过程。
[0111]
20.0克mb3、20.0克p4、0.16克dynasilane glymo和0.32克光引发剂oxe02在搅拌下混合2小时并经1-2μm孔径注射器式过滤器过滤。
[0112]
彩色滤光片的制备
[0113]
彩色滤光片1
[0114]
将组合物1在1000rpm下旋涂到预清洁的1"玻璃基底上。在热板上预烘烤(150℃，2分钟)后，基底用荫罩(usaf1951 resolution target)覆盖并暴露于紫外线(100mj/cm2，i-line)。然后将基底置于含有0.5％naoh溶液与0.2％十二烷基硫酸钠的烧杯中120秒并用去离子水洗涤。光图案化的基底最后在120℃下烘烤5分钟。获得在1.3μm的膜厚度下7μm的最小线宽分辨率。
[0115]
彩色滤光片2
[0116]
将组合物2在2000rpm下旋涂到预清洁的1"玻璃基底上。在热板上预烘烤(120℃，5分钟)后，基底用荫罩(usaf1951 resolution target)覆盖并暴露于紫外线(200mj/cm2，i-line)。然后将基底置于含有0.5％naoh溶液与0.2％十二烷基硫酸钠的烧杯中150秒并用去离子水洗涤。光图案化的基底最后在120℃下烘烤5分钟。获得在1.6μm的膜厚度下8μm的最小线宽分辨率。
[0117]
彩色滤光片3
[0118]
将组合物3在1500rpm下旋涂到预清洁的1"玻璃基底上。在热板上预烘烤(90℃，2分钟)后，基底用荫罩(usaf1951 resolution target)覆盖并暴露于紫外线(200mj/cm2，i-line)。然后将基底置于含有0.5％naoh溶液与0.2％十二烷基硫酸钠的烧杯中100秒并用去离子水洗涤。光图案化的基底最后在120℃下烘烤5分钟。获得在1.5μm的膜厚度下10μm的最小线宽分辨率。
[0119]
已经证实本发明的组合物非常适用于制备彩色滤光片而不使用显著量的低分子量烯属不饱和可聚合单体。