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一种显影液质量检验装置及其使用方法与流程

2022-04-30 14:21:16 来源:中国专利 TAG:


1.本发明属于显影液质量检验技术领域,具体涉及一种显影液质量检验装置及其使用方法。


背景技术:

2.显影液是一种重要的湿电子化学品,也是半导体、显示面板、太阳能电池制作过程中关键的原材料之一。显影液质量的优劣,直接影响电子产品的质量,电子行业对显影液的一般要求是超净和高纯。半导体、显示面板、太阳能电池等行业发展速度快,属于国家大力发展的战略新兴行业。显影液的市场需求会随着这些行业的快速发展而不断增长
3.由于显影液主要成分有硫酸、硝酸及苯、甲醇、卤化银、硼酸、对苯二酚等。有毒,人员直接接触显影液后会严重腐蚀体表,从而严重危害检测人员的身体健康。


技术实现要素:

4.本发明的目的在于提供一种显影液质量检验装置及其使用方法,以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种显影液质量检验装置及其使用方法,包括检测设备,所述检测设备的下方设置有检测组件,所述检测设备的一侧设置有传料组件,所述检测设备与传料组件相邻的一侧设置有上料组件,所述检测组件包括检测槽,所述检测槽的顶壁安装有光谱探头,所述上料组件包括上料座,所述上料座的顶壁活动连接有连板,所述连板的顶壁焊接有立板,所述立板的顶壁安装有连座,所述连座的顶壁安装有圆盘,所述连座的侧壁安装有第一电机,所述第一电机的输出端与圆盘转动连接,所述圆盘的外圆周壁焊接有第二连接杆,所述第二连接杆的底壁安装有上料板,所述传料组件包括气缸,所述气缸的输出端设置有第一连接杆,所述第一连接杆靠近检测组件的侧壁焊接有传料架,所述传料架的底壁焊接有传料板,所述检测组件的侧壁焊接有侧架,所述侧架的顶壁安装有托座,所述侧架的侧壁安装有第二电机,所述托座的上方设置有带轮,所述带轮的外侧连接有履带,所述第二电机的输出端与带轮转动连接,所述履带的上方设置有第二板架,所述第二板架的顶壁活动连接有标盘。
6.优选的,所述检测组件的侧壁安装有滑轨,所述滑轨的内部活动连接有十字滑块,所述十字滑块的底壁焊接有活动柱,所述活动柱的底壁焊接有活动架组件,所述活动架组件靠近检测组件的侧壁安装有第三连接杆,所述第三连接杆靠近检测组件的侧壁焊接有活动杆,所述连板的内部开设有通孔,所述连板的底壁卡合有第二连板,所述上料座的侧壁焊接有第一连板,所述第一连板靠近第二连板的侧壁焊接有弹簧杆,所述弹簧杆的外圆周壁套设有弹簧,所述通孔的内圆周壁设置有伸缩轴,所述远离活动杆远离第三连接杆的一端与伸缩轴固定连接。
7.优选的,所述上料座的内底壁开设有第二滑槽,所述第二连板的底壁焊接有滑块,所述滑块与第二滑槽活动连接。
8.优选的,所述第二板架的底壁焊接有第二立柱,所述履带的顶壁焊接有连块,所述连块的顶壁安装有盘座,所述第二立柱远离第二板架的一端与盘座固定连接。
9.优选的,所述检测槽的内底壁焊接有第一立柱,所述第一立柱远离检测槽的一端安装有第一板架,所述第一板架与标盘活动接触。
10.优选的,所述上料座的顶壁开设有第一滑槽,所述连座的底壁焊接有滑杆,所述滑杆与第一滑槽活动连接。
11.优选的,所述滑轨的内部开设有十字滑槽,所述十字滑块与十字滑槽活动连接。
12.优选的,所述伸缩轴的外圆周壁焊接有台阶,两个所述台阶相对的一侧均与连板的外壁贴合。
13.优选的,所述十字滑块与十字滑槽为间隙配合。
14.优选的,所述使用方法如下:
15.a)待检测的显影液置于各个所述标盘中,并将所述标盘放置于各个第二板架上;
16.b)操作所述检测设备的控制程序一方面使第二电机工作带动履带运动,所述履带带动标盘移动;
17.c)所述控制程序另一方面使第一电机工作带动圆盘转动,所述上料板转动至对齐标盘的方向;
18.d)所述控制程序带动气缸运动,所述伸缩轴拉动并带动上料板往靠近标盘处移动;
19.e)所述上料板抬起标盘,所述控制程序带动第一电机转动至第一板架方向;
20.f)所述上料板将标盘放置于第一板架上方,所述控制程序带动第一电机将上料板转离检测槽;
21.g)所述光谱探头工作检测所述标盘内部显影液的化学成分和比例;
22.h)所述控制程序带动气缸运动,所述传料板将标盘拾起,所述气缸持续运动至第二板架上方;
23.i)所述标盘自动脱离传料板,所述标盘落入第二板架;
24.j)所述控制程序带动第二电机运动,所述履带带动下一个标盘运动至对齐上料板处;
25.本发明与现有技术相比,具有以下有益效果:
26.(1)、该显影液质量检验装置及其使用方法,通过控制程序控制上料架、传料架和履带互相配合运动,可实现各个标盘自动化的上料-检测-下料作业,从而避免了人员手工检测显影液时被显影液腐蚀的危险,提升工作人员的工作安全性。
27.(2)、该显影液质量检验装置及其使用方法,由于第三连接杆带动伸缩轴运动,且设置有弹簧,在上料架运动时弹簧可限定伸缩轴的拉动距离,从而避免上料架移动过度而碰撞到第二板架或标盘,解决了标盘、第二板架或上料架因碰撞而损坏的问题。
28.(3)、该显影液质量检验装置及其使用方法,通过设置有第一板架和第二板架,在上料架或传料架拾起标盘时,利用第一板架和第二板架的形状可使上料架或传料架便捷、快速和较为平稳的叉起标盘,结构简单,便于使用,利与推广。
附图说明
29.图1为本发明的结构示意图;
30.图2为本发明上料组件的结构示意图;
31.图3为本发明传料组件的结构示意图;
32.图4为本发明履带的结构示意图;
33.图5为本发明十字滑块的结构示意图;
34.图6为本发明台阶的结构示意图;
35.图7为本发明使用方法的流程图;
36.图中:1-检测设备、2-检测组件、21-检测槽、22-第一立柱、23-第一板架、24-侧架、3-传料组件、31-气缸、32-第一连接杆、33-传料架、34-传料板、4-上料组件、41-上料座、42-弹簧杆、43-第一连板、44-第二连板、45
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弹簧、46-滑块、47-第一滑槽、48-第二滑槽、5-伸缩轴、50-通孔、51-连板、 52-滑杆、53-立板、54-连座、55-第一电机、56-上料板、57-第二连接杆、 58-圆盘、59-台阶、6-活动架组件、61-第三连接杆、62-活动杆、63-活动柱、 64-滑轨、65-十字滑块、66-十字滑槽、7-光谱探头、8-第二电机、9-托座、 91-带轮、92-连块、93-盘座、94-第二立柱、95-第二板架、96-标盘、97-履带。
具体实施方式
37.下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
38.请参阅图1-图7所示,本发明提供如下技术方案:一种显影液质量检验装置及其使用方法,包括检测设备1,检测设备1的下方设置有检测组件2,检测设备1的一侧设置有传料组件3,检测设备1与传料组件3相邻的一侧设置有上料组件4,检测组件2包括检测槽21,检测槽21的顶壁安装有光谱探头7,上料组件4包括上料座41,上料座41的顶壁活动连接有连板51,连板 51的顶壁焊接有立板53,立板53的顶壁安装有连座54,连座54的顶壁安装有圆盘58,连座54的侧壁安装有第一电机55,第一电机55的输出端与圆盘 58转动连接,圆盘58的外圆周壁焊接有第二连接杆57,第二连接杆57的底壁安装有上料板56,传料组件3包括气缸31,气缸31的输出端设置有第一连接杆32,第一连接杆32靠近检测组件2的侧壁焊接有传料架33,传料架 33的底壁焊接有传料板34,检测组件2的侧壁焊接有侧架24,侧架24的顶壁安装有托座9,侧架24的侧壁安装有第二电机8,托座9的上方设置有带轮91,带轮91的外侧连接有履带97,第二电机8的输出端与带轮91转动连接,履带97的上方设置有第二板架95,第二板架95的顶壁活动连接有标盘 96,检测组件2的侧壁安装有滑轨64,滑轨64的内部活动连接有十字滑块 65,十字滑块65的底壁焊接有活动柱63,活动柱63的底壁焊接有活动架组件6,活动架组件6靠近检测组件2的侧壁安装有第三连接杆61,第三连接杆61靠近检测组件2的侧壁焊接有活动杆62,连板51的内部开设有通孔50,连板51的底壁卡合有第二连板44,上料座41的侧壁焊接有第一连板43,第一连板43靠近第二连板44的侧壁焊接有弹簧杆42,弹簧杆42的外圆周壁套设有弹簧45,通孔50的内圆周壁设置有伸缩轴5,远离活动杆62远离第三连接杆61的一端与伸缩轴5固定连接,上料座41的内底壁开设有第二滑槽 48,第
二连板44的底壁焊接有滑块46,滑块46与第二滑槽48活动连接,第二板架95的底壁焊接有第二立柱94,履带97的顶壁焊接有连块92,连块92 的顶壁安装有盘座93,第二立柱94远离第二板架95的一端与盘座93固定连接,检测槽21的内底壁焊接有第一立柱22,第一立柱22远离检测槽21的一端安装有第一板架23,第一板架23与标盘96活动接触,上料座41的顶壁开设有第一滑槽47,连座54的底壁焊接有滑杆52,滑杆52与第一滑槽47活动连接,滑轨64的内部开设有十字滑槽66,十字滑块65与十字滑槽66活动连接,伸缩轴5的外圆周壁焊接有台阶59,两个台阶59相对的一侧均与连板 51的外壁贴合,十字滑块65与十字滑槽66为间隙配合,使用方法如下:
39.a)待检测的显影液置于各个标盘96中,并将标盘96放置于各个第二板架95上;
40.b)操作检测设备1的控制程序一方面使第二电机8工作带动履带97运动,履带97带动标盘96移动;
41.c)控制程序另一方面使第一电机55工作带动圆盘58转动,上料板56 转动至对齐标盘96的方向;
42.d)控制程序带动气缸31运动,伸缩轴5拉动并带动上料板56往靠近标盘96处移动;
43.e)上料板56抬起标盘96,控制程序带动第一电机56转动至第一板架 23方向;
44.f)上料板56将标盘96放置于第一板架23上方,控制程序带动第一电机55将上料板56转离检测槽21;
45.g)光谱探头7工作检测标盘96内部显影液的化学成分和比例;
46.h)控制程序带动气缸31运动,传料板34将标盘96拾起,气缸31持续运动至第二板架95上方;
47.i)标盘96自动脱离传料板34,标盘96落入第二板架95;
48.j)控制程序带动第二电机8运动,履带97带动下一个标盘96运动至对齐上料板56处;
49.通过控制程序控制上料板56、传料板34和履带97互相配合运动,可实现各个标盘96自动化的上料-检测-下料作业,从而避免了人员手工检测显影液时被显影液腐蚀的危险,提升工作人员的工作安全性。
50.工作时,首先将待检测的显影液分别倒入标盘96内,然后将标盘96做好标记并防止在第二板架95上方,随后操作检测设备1的控制程序一方面使第二电机8工作带动履带97运动,履带97按照标记顺序带动标盘96移动,其中,第一个标记的标盘96将会移动到指定的地点,此地点位于上料板56 的延长线处,然后驱动控制程序另一方面使第一电机55工作带动圆盘58转动,使上料板56转动至对齐第一个标记标盘96的方向,继而控制程序带动气缸31运动,伸缩轴5拉动并带动上料板56往靠近标盘96处移动,在此过程中,上料板56将穿过第二板架95的下方并将标盘96叉起,然后上料板56 抬起标盘96,控制程序带动第一电机56转动至第一板架23方向,继而上料板56穿过第一立柱22并将标盘96放置在第一板架23上方,随后控制程序操控第一电机56转动使上料板转离检测槽21,同时光谱探头7工作测定标盘 96内部显影液的成分和比例;
51.在完成显影液成分和比例的测定后,控制程序控制气缸31运动,气缸31 带动传料板34向靠近第一板架23的一侧运动,待传料板34穿过第一板架23 后,标盘96抬起并运动到传料板34上方,随后继续驱动气缸31使传料板34 运动到第二板架95上方,此时标盘96可自
动脱离传料板34并落入第二板架 95中;
52.至此设备就完成了第一个标记标盘96的检测作业,此时可通过控制程序带动第二电机8运动,履带97带动下一个标盘96运动至对齐上料板56处,然后重复上述操作,即可完成多个显影液的检测作业。
53.尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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