一种晶圆清洗检测装置的制作方法

1.本发明涉及晶片检测技术领域，特别是涉及一种晶圆清洗检测装置。


背景技术：

2.晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品，晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅，二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％，晶圆制造厂再把许多晶硅融解，再于融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成，此过程称为“长晶”，硅晶棒再经过切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻，包装后，即成为积体电路工厂的基本原料—硅晶圆片，这就是“晶圆”；pvc主要成分为聚氯乙烯，为微黄色半透明状，有光泽，透明度胜于聚乙烯、聚丙烯，差于聚苯乙烯，随助剂用量不同，分为软、硬聚氯乙烯，软制品柔而韧，手感粘，硬制品的硬度高于低密度聚乙烯，而低于聚丙烯，在屈折处会出现白化现象，是一种使用一个氯原子取代聚乙烯中的一个氢原子的高分子材料；晶圆在清洗过后，需要查看上面是否有划痕，毛刺，现在的技术就是用人眼在探照灯下看，探照灯相当于汽车的大灯，长时间使用探照灯对着晶圆查看检测对眼睛的伤害特别大，而且效率低下，检测的精准度不高，而使用使用高精度的成像检测仪造价高，成本大。
3.因此，现在亟需设计能解决上述一个或者多个问题的一种晶圆清洗检测装置。


技术实现要素：

4.为解决现有技术中存在的一个或者多个问题，本发明提供了一种晶圆清洗检测装置。
5.本发明为达到上述目的所采用的技术方案是：一种晶圆清洗检测装置，包括工作台、侧板和按压检测器，所述按压检测器包括有检测器外壳，所述检测器外壳的顶部开设有检测孔，所述检测器外壳的一侧开设有第一滑槽，所述第一滑槽内滑动连接有滑动块，所述滑动块的一侧固定连接有限位块，所述限位块远离滑动块的一侧固定连接有滑杆，所述滑动块远离限位块的一侧固定连接有分隔杆，所述检测器外壳的另一侧内部开设有第二滑槽，所述第二滑槽内滑动连接有限位滑块，所述分隔杆远离滑动块的一端与限位滑块固定连接。
6.优选的，所述检测器外壳的内底部固定连接有底板，所述检测器外壳的两侧内部对称开设有第三滑槽，每个所述第三滑槽的底部均对称固定连接有多个第二弹簧，每个所述第三滑槽内均滑动连接有缓冲块，每个所述缓冲块的底部均与多个对应第二弹簧固定连接，两个所述缓冲块之间共同固定连接有pvc彩色荧光软膜。
7.优选的，所述工作台的顶部固定连接有侧板，所述侧板的内部开设有摆动槽，所述摆动槽的内底部固定连接有固定板，所述固定板的一侧通过转轴转动连接有第三连杆和第
一连杆，所述固定板的靠近第三连杆的一侧转动连接有转动杆，所述转动杆远离固定板的一端贯穿第一连杆的另一端，所述第一连杆远离固定板的一侧设有第二连杆，所述第二连杆的一端与转动杆转动连接。
8.优选的，所述第二连杆的另一端和第三连杆的另一端均通过转轴共同转动连接有第四连杆，所述第四连杆远离侧板的一端固定连接有连接板，所述连接板远离第四连杆的一侧与按压检测器的底部固定连接。
9.优选的，所述转动杆远离固定板的一端贯穿侧板转动连接有转盘，所述转盘远离侧板的一侧固定连接有转杆。
10.优选的，所述工作台的顶部固定连接有第一导向板、第二导向板、第三导向板和限位槽板。
11.优选的，所述工作台的内部开设有放置槽，所述放置槽的内底部固定连接有第一固定块，所述第一固定块的顶部固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的顶部固定连接有滑板，所述滑板与放置槽滑动连接。
12.优选的，所述工作台的顶部固定连接有固定座，所述固定座的顶部转动连接有转动柱，所述转动柱靠近放置槽的一侧固定连接有卡杆。
13.优选的，所述工作台的顶部固定连接有机箱，所述机箱的内侧壁上固定连接有第二固定块，所述第二固定块的另一侧固定连接有气缸，所述气缸的伸缩杆上固定连接有推杆。
14.本发明的有益效果是：本发明能通过放置槽放置待检测晶圆，在第一弹簧和卡杆的作用下保持待检测状态，需要检测时通过气缸带动推杆将需要检测的晶圆推出送至检测区，再通过转动转杆带动按压检测器进行检测，按压检测器通过pvc彩色荧光软膜和底板组成，在下压时会使pvc彩色荧光软膜与底板接触使pvc彩色荧光软膜显色明显，形成按压物体的形状图像，如果晶圆的表面不平整有毛刺等情况，在图像上会则会形成对应光点图像，能快速判断晶圆的表面是否平整，而且通过推动分隔杆能使pvc彩色荧光软膜快速与底板分离，方便下一次检测，本发明相比于现有的打光人眼观察，通过按压使pvc彩色荧光软膜与底板接触成像，能快速直观判断，成本低，能重复使用。
附图说明
15.图1为本发明的立体结构示意图；
16.图2为本发明的侧视内部结构示意图；
17.图3为本发明的侧视结构示意图；
18.图4为本发明的工作台内部结构示意图；
19.图5为本发明的按压检测器立体结构示意图；
20.图6为本发明的按压检测器俯视内部结构示意图；
21.图7为本发明的按压检测器侧视内部结构示意图。
22.附图标记说明：1、工作台；2、侧板；3、按压检测器；4、连接板；5、转盘；6、转杆；7、机箱；8、固定座；9、转动柱；10、卡杆；11、第一导向板；12、第二导向板；13、第三导向板；14、限位槽板；15、放置槽；16、固定板；17、第一连杆；18、转动杆；19、第二连杆；20、第三连杆；21、第四连杆；22、摆动槽；23、第一固定块；24、第一弹簧；25、滑板；26、第二固定块；27、气缸；
28、推杆；30、第一滑槽；31、限位块；32、滑杆；33、pvc彩色荧光软膜；34、滑动块；35、分隔杆；36、限位滑块；37、第二滑槽；38、底板；39、第三滑槽；40、缓冲块；41、第二弹簧；42、检测器外壳；43、检测孔。
23.为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加浅显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
24.如图1-7所示，本发明提供了一种晶圆清洗检测装置，包括工作台1、侧板2和按压检测器3，所述按压检测器3包括有检测器外壳42，所述检测器外壳42的顶部开设有检测孔43，所述检测器外壳42的一侧开设有第一滑槽30，所述第一滑槽30内滑动连接有滑动块34，所述滑动块34的一侧固定连接有限位块31，所述限位块31远离滑动块34的一侧固定连接有滑杆32，所述滑动块34远离限位块31的一侧固定连接有分隔杆35，所述检测器外壳42的另一侧内部开设有第二滑槽37，所述第二滑槽37内滑动连接有限位滑块36，所述分隔杆35远离滑动块34的一端与限位滑块36固定连接，分隔杆35有利于使pvc彩色荧光软膜33与底板38分离，方便下一次进行检测。
25.进一步的，所述检测器外壳42的内底部固定连接有底板38，所述检测器外壳42的两侧内部对称开设有第三滑槽39，每个所述第三滑槽39的底部均对称固定连接有多个第二弹簧41，每个所述第三滑槽39内均滑动连接有缓冲块40，每个所述缓冲块40的底部均与多个对应第二弹簧41固定连接，两个所述缓冲块40之间共同固定连接有pvc彩色荧光软膜33，缓冲块40和第二弹簧41配合有利于按压检测器3检测时使pvc彩色荧光软膜33与底板38进行接触。
26.进一步的，所述工作台1的顶部固定连接有侧板2，所述侧板2的内部开设有摆动槽22，所述摆动槽22的内底部固定连接有固定板16，所述固定板16的一侧通过转轴转动连接有第三连杆20和第一连杆17，所述固定板16的靠近第三连杆20的一侧转动连接有转动杆18，所述转动杆18远离固定板16的一端贯穿第一连杆17的另一端，所述第一连杆17远离固定板16的一侧设有第二连杆19，所述第二连杆19的一端与转动杆18转动连接，摆动槽22有利于进行摆动。
27.进一步的，所述第二连杆19的另一端和第三连杆20的另一端均通过转轴共同转动连接有第四连杆21，所述第四连杆21远离侧板2的一端固定连接有连接板4，所述连接板4远离第四连杆21的一侧与按压检测器3的底部固定连接，连接板4有利于连接按压检测器3使其稳定。
28.进一步的，所述转动杆18远离固定板16的一端贯穿侧板2转动连接有转盘5，所述转盘5远离侧板2的一侧固定连接有转杆6，转盘5和转杆6配合有利于通过转杆6转动转盘5带动转动杆18转动使按压检测器3进行摆动，使其进行按压检测，在上移时摆动呈垂直状态方便进行观察。
29.进一步的，所述工作台1的顶部固定连接有第一导向板11、第二导向板12、第三导向板13和限位槽板14，限位槽板14和导向板配合有利于使晶圆稳定移动至检测位置。
30.进一步的，所述工作台1的内部开设有放置槽15，所述放置槽15的内底部固定连接有第一固定块23，所述第一固定块23的顶部固定连接有第一弹簧24，所述第一弹簧24的顶
部固定连接有滑板25，所述滑板25与放置槽15滑动连接，第一弹簧24和滑板25配合有利于使放置的晶圆上移，在一个晶圆送至检测区后，下面一个运动至上方方便下一次进行移送。
31.进一步的，所述工作台1的顶部固定连接有固定座8，所述固定座8的顶部转动连接有转动柱9，所述转动柱9靠近放置槽15的一侧固定连接有卡杆10，卡杆10有利于对晶圆限位，使晶圆处于便于推送的位置。
32.进一步的，所述工作台1的顶部固定连接有机箱7，所述机箱7的内侧壁上固定连接有第二固定块26，所述第二固定块26的另一侧固定连接有气缸27，所述气缸27的伸缩杆上固定连接有推杆28，推杆28有利于将晶圆推出移送至检测区。
33.工作原理：先将待检测晶圆放置在放置槽15内，在第一弹簧24和卡杆10的作用下保持待检测状态，需要检测时通过气缸27带动推杆28将需要检测的晶圆推出送至检测区，再通过转动转杆6带动按压检测器3进行检测，按压检测器3通过pvc彩色荧光软膜33和底板38组成，在下压时会使pvc彩色荧光软膜33与底板38接触使pvc彩色荧光软膜33显色明显，形成按压物体的形状图像，能快速判断晶圆的表面是否平整，再检测完后通过推动分隔杆35能使pvc彩色荧光软膜33快速与底板38分离，方便下一次检测，检测完一面后，将晶圆翻转检测另一面，如果pvc彩色荧光软膜33快速与底板38所形成的图像有光点，或者空白痕迹则表示表面不平整有毛刺，如果图像完成清晰则表示晶圆表面平整光滑，本发明相比于现有的打光人眼观察，通过按压使pvc彩色荧光软膜33与底板38接触成像，能快速直观判断，成本低，能重复使用。
34.以上所述实施例仅表达了本发明的一种或者多种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。