单面蚀刻制造超薄玻璃的方法及超薄玻璃与流程

技术特征：
1.一种单面蚀刻制造超薄玻璃的方法，其特征在于：包括以下步骤：(1)初蚀刻减薄：取一块玻璃基板(1)，对其进行初蚀刻处理，得到初蚀刻玻璃薄板(101)；(2)固定：将步骤(1)所得初蚀刻玻璃薄板(101)远离刻蚀表面的侧面固定于防酸背板(7)上；(3)蚀刻图案：通过在玻璃基板(1)的表面蚀刻形成图案的凹槽(9)，从而得到图案玻璃薄板(102)；(4)优化分离：对步骤(3)所得图案玻璃薄板(102)进行优化和分离，得到厚度为0.02-0.08mm的超薄玻璃基板(104)。2.根据权利要求1所述单面蚀刻制造超薄玻璃的方法，其特征在于：步骤(1)所述初蚀刻减薄包括以下步骤：(101)打磨：将待刻蚀面进行打磨处理，防止减薄后的打磨造成破裂，以降低不良率；(102)清洁：对步骤(101)打磨后的玻璃基板(1)通过蒸馏水、乙醇洗涤2-3次，以得到表面洁净的玻璃基板(1)；(103)防护：在步骤(102)清洁后的玻璃基板(1)的底面及其四周形成第一耐酸防护层(4)；(104)蚀刻：将步骤(103)所得玻璃基板(1)通过均匀的蚀刻液蚀刻一段时间，得到初蚀刻玻璃薄板(101)。3.根据权利要求1所述单面蚀刻制造超薄玻璃的方法，其特征在于：步骤(2)所述初蚀刻玻璃薄板(101)远离刻蚀表面的侧面通过胶粘层(6)固定于防酸背板(7)上。4.根据权利要求2所述单面蚀刻制造超薄玻璃的方法，其特征在于：步骤(3)所述蚀刻图案具体包括以下步骤：(301)在玻璃基板(1)的蚀刻表面依次形成金属膜(2)和耐酸光刻层(3)；(302)在耐酸光刻层(3)的表面设置掩膜(5)，通过曝光技术在耐酸光刻层(3)表面形成相应的图案；(303)除去耐酸光刻层(3)表面的掩膜(5)；(304)在耐酸光刻层(3)的表面设置第二耐酸防护层(8)；(305)将步骤(304)的玻璃基板(1)通过均匀的蚀刻液蚀刻一段时间，在玻璃基板(1)的表面蚀刻形成图案的凹槽(9)；(306)依次剥离第二耐酸防护层(8)、耐酸光刻层(3)和金属膜(2)，得到图案玻璃薄板(102)。5.根据权利要求4所述单面蚀刻制造超薄玻璃的方法，其特征在于：所述第一耐酸防护层(4)、第二耐酸防护层(8)为pvc、pp、pet中的一种或几种。6.根据权利要求4所述单面蚀刻制造超薄玻璃的方法，其特征在于：步骤(4)所述优化分离具体包括以下步骤：(401)在步骤(3)所得图案玻璃薄板(102)的蚀刻表面形成第三耐酸防护层(10)；(402)根据需要在步骤(401)设置了第三耐酸防护层(10)的图案玻璃薄板(102)上画定分离线(11)和蚀刻终点线(14)；(403)在第三耐酸防护层(10)内画定撕裂线(12)，且所述撕裂线(12)与分离线(11)相
对应；(404)撕开两撕裂线(12)之间的第三耐酸防护层(10)，形成局部蚀刻区(13)；(405)将步骤(404)形成了局部蚀刻区(13)的玻璃基板(1)通过均匀的蚀刻液蚀刻一段时间，得到分离的且形状不规则的待优化玻璃薄板(103)；(406)将步骤(405)得到的形状不规则的待优化玻璃薄板(103)继续蚀刻，直至蚀刻表面达到蚀刻终点线(14)，再剥离第一耐酸防护层(4)和第三耐酸防护层(10)，得到理想的超薄玻璃基板(104)。7.根据权利要求6所述单面蚀刻制造超薄玻璃的方法，其特征在于：所述分离线(11)位于凹槽(9)内，所述蚀刻终点线(14)位于凹槽(9)的边缘。8.根据权利要求2、4、6任一权利要求所述单面蚀刻制造超薄玻璃的方法，其特征在于：所述蚀刻液为20-50％的氢氟酸溶液，且所述蚀刻液采用顶喷或侧喷的方式进行蚀刻。9.一种超薄玻璃，其特征在于：采用权利要求1至8任一权利要求所述单面蚀刻制造超薄玻璃的方法制备而得。

技术总结
本发明涉及玻璃蚀刻技术领域，具体涉及单面蚀刻制造超薄玻璃的方法，首先取一块玻璃基板，对其进行初蚀刻处理，得到初蚀刻玻璃薄板，然后将其远离刻蚀表面的侧面固定于防酸背板上，再通过在玻璃基板的表面蚀刻形成图案的凹槽，从而得到图案玻璃薄板，最后进行优化和分离，得到理想的超薄玻璃基板；本发明提供了由该方法所制得的超薄玻璃。本发明通过设置单面的耐酸光刻层，节约了生产成本；将初蚀刻玻璃薄板通过胶粘层固定于防酸背板上，便于在蚀刻过程中的固定，且不易造成超薄玻璃的卷曲而破裂，降低了其不良率；优化分离步骤能进行高精度切割，得到分离且规则的超薄玻璃，具有的蚀刻图案扩大了其应用范围，实用性强。实用性强。实用性强。


技术研发人员：夏宁 倪植森 陈诚 刘月豹 黄迎辉 樊黎虎 许波 罗丹 邵帅
受保护的技术使用者：凯盛科技股份有限公司蚌埠华益分公司
技术研发日：2021.11.28
技术公布日：2022/4/26