一种硬轴单晶炉的晶棒防撞结构的制作方法

技术特征：
1.一种硬轴单晶炉的晶棒防撞结构，应用于单晶炉本体内，所述单晶炉本体，所述单晶炉本体包括：主炉室，所述主炉室内具有主炉腔；副炉室，所述副炉室位于所述主炉室的正上方，所述副炉室与所述主炉室的顶部连接，所述副炉室内具有副炉腔，且所述副炉腔与所述主炉腔连通；以及机架，机架位于所述单晶炉本体的外围；其特征在于，所述晶棒防撞结构包括：隔板，所述隔板位于所述主炉室和所述副炉室之间，所述隔板与所述主炉室的顶部连接，所述隔板具有水平转动的自由度，使得所述隔板能够隔绝所述主炉腔和所述副炉腔；拉晶装置，所述拉晶装置包括：轴主体，所述轴主体位于所述单晶炉本体内，且滑移连接于所述机架上，所述轴主体硬性质地，且呈竖直方向布置；所述轴主体具有竖直方向移动的自由度和绕轴旋转的自由度；驱动机构，所述驱动机构连接于所述机架上，所述驱动机构连接并作用于所述轴主体，所述驱动机构用于驱动所述轴主体升降或旋转。2.根据权利要求1所述的一种硬轴单晶炉的晶棒防撞结构，其特征在于，所述主炉室与副炉室之间设置有密封的连接室，所述连接室分别与所述主炉室、副炉室连接，所述隔板是内具有连接腔，所述隔板位于所述连接腔内，所述连接腔分别与所述主炉腔、副炉腔连通；所述连接室外设置有隔板驱动组件，所述隔板驱动组件连接并作用于所述隔板，用于驱动所述隔板水平转动。3.根据权利要求2所述的一种硬轴单晶炉的晶棒防撞结构，其特征在于，所述连接室包括第一部和第二部，所述第一部位于所述主炉室的正上方，所述第二部位于所述第一部的水平方向的一侧；所述隔板受控于所述隔板驱动组件转动形成有位于第一部内的第一工位和位于第二部内的第二工位，所述隔板位于第一工位时，所述主炉腔与所述副炉腔被所述隔板所隔绝；所述隔板位于第二工位时，所述主炉腔与所述副炉腔连通。4.根据权利要求2或3所述的一种硬轴单晶炉的晶棒防撞结构，其特征在于，所述隔板驱动组件包括：旋转轴，所述旋转轴呈竖直方向布置，所述旋转轴可调式的连接于所述连接室上；第一杆，所述第一杆位于所述连接腔内，所述第一杆的第一端固定连接于所述旋转轴上，所述第一杆的第二端固定连接于所述隔板上；第一驱动件，所述第一驱动件位于所述连接腔外，所述第一驱动件连接并作用于所述旋转轴，用于驱动所述旋转轴升或降；以及第二驱动件，所述第二驱动件位于所述连接腔外，所述第二驱动件连接并作用于所述旋转轴，用于驱动所述旋转轴绕轴旋转。5.根据权利要求4所述的一种硬轴单晶炉的晶棒防撞结构，其特征在于，所述第一驱动件为第一气缸，所述第二驱动件为第二气缸；所述第一气缸固定连接于所述连接室外，且所述第一气缸作用于所述旋转轴的顶部；所述第二气缸固定于连接于所述连接室外，且所述第二气缸与所述旋转轴之间连接有连接体，所述第二气缸作用于所述连接体，使得所述旋转轴被驱动旋转。6.根据权利要求4所述的一种硬轴单晶炉的晶棒防撞结构，其特征在于，所述隔板与所
述主炉室之间设置有第一密封圈，所述第一密封圈连接于所述主炉室的顶部，通过所述第一驱动件使得所述第一密封圈与所述隔板相抵触；或所述隔板与所述主炉室之间设置有第一密封圈，所述第一密封圈连接于所述隔板的底面，通过所述第一驱动件使得所述第一密封圈与所述主炉室的顶部相抵触。7.根据权利要求4所述的一种硬轴单晶炉的晶棒防撞结构，其特征在于，所述隔板内设置有冷却组件，所述冷却组件包括：流道，所述流道形成于所述隔板内部，所述流道用于冷却介质流通；所述流道具有入口和出口；介质管道，所述介质管道位于所述连接腔的内部，所述介质管道具有两根，所述介质管道分别对应与所述入口和所述出口连接。8.根据权利要求7所述的一种硬轴单晶炉的晶棒防撞结构，其特征在于，所述旋转轴内设置有通道，所述通道数量与所述介质管道相同，且所述通道对应的与所述介质管道连接，通过所述通道使得所述流道与外部冷却介质连通。9.根据权利要求1所述的一种硬轴单晶炉的晶棒防撞结构，其特征在于，所述驱动机构包括提升组件，所述提升组件包括：轴体座，所述轴体座与所述轴主体连接，且所述轴体座滑移连接于所述机架上；提升件，所述提升件连接并作用于所述轴体座，通过所述提升件使得所述轴体座可在所述机架上升降。10.根据权利要求9所述的一种硬轴单晶炉的晶棒防撞结构，其特征在于，所述驱动机构还包括旋转组件，所述旋转组件包括：旋转件，所述旋转件固定连接于所述轴体座上，且作用于所述轴主体上，通过所述旋转件使得所述轴主体可旋转。

技术总结
本申请涉及单晶炉技术领域，尤其涉及一种硬轴单晶炉的晶棒防撞结构，应用于单晶炉本体内，苏搜书晶体防撞结构包括：隔板，隔板位于主炉室和副炉室之间，隔板与主炉室的顶部连接，隔板具有水平转动的自由度。本申请中的隔板以水平旋转设置，通过水平旋转的形式使得主炉腔和副炉腔连通或隔绝，防止隔板在震动作用下与轴主体或晶棒发生碰撞。解决了现有技术中隔板存在撞到拉晶装置或晶棒的技术问题；达到避免隔板存在撞到拉晶装置或晶棒的技术效果。隔板存在撞到拉晶装置或晶棒的技术效果。隔板存在撞到拉晶装置或晶棒的技术效果。


技术研发人员：郑丽霞 陆关斌 郑坚超 叶钢飞 叶雷江 梁晋辉
受保护的技术使用者：浙江晶盛机电股份有限公司
技术研发日：2021.11.26
技术公布日：2022/4/26