一种固定机构及具有其的PVD机台的制作方法

技术特征：
1.一种固定机构，用于稳固pvd腔体中转动装置与磁铁装置间的传动，其特征在于，所述转动装置包括安装基座、马达、主动齿轮、从动齿轮、固定键和固定机构，所述安装基座固定设置在冷却室外壁，用于安装所述马达，所述马达的中心轴向外延伸形成延伸段，所述延伸段上设有一与中心轴同向，位于所述延伸段外周，且开口延伸至所述延伸段顶端平面的第一嵌插结构，所述主动齿轮环绕在所述延伸段外周，所述主动齿轮的内侧于与所述第一嵌插结构对应的位置设有贯通所述主动齿轮的第二嵌插结构，所述第一嵌插结构与所述第二嵌插结构形成嵌插结构，所述固定键嵌插在所述嵌插结构内，用于连接固定所述马达和所述主动齿轮，所述固定机构包括固定组件，所述固定组件设置在所述主动齿轮的底端，用于顶固所述固定键，所述从动齿轮的中心轴连接所述磁铁装置，且所述从动齿轮通过皮带与所述主动齿轮连接，用于带动所述磁铁装置转动。2.如权利要求1所述的固定机构，其特征在于，所述转动装置还包括紧定螺钉，所述延伸段的侧面设有一凹陷的接触口，所述紧固螺钉设置在所述主动齿轮内，并抵接在所述接触口上，用于加固所述主动齿轮、所述延伸段以及所述固定键间的连接。3.如权利要求1所述的固定机构，其特征在于，所述固定组件包括挡片和固定件，所述挡片通过所述固定件与所述延伸段固定连接。4.如权利要求3所述的固定机构，其特征在于，所述固定件为固定螺钉，所述挡片设有供所述固定螺钉穿过的通孔，所述固定螺钉穿过所述通孔与所述延伸段固定连接。5.如权利要求3所述的固定机构，其特征在于，所述挡片的横截面为圆形，所述圆形的半径大于所述延伸段的半径。6.如权利要求1所述的固定机构，其特征在于，所述安装基座包括第一连接板、第二连接板和第三连接板，所述一连接板和所述第三连接板平行设置且通过所述第二连接板连接，所述第一连接板固定连接所述马达，所述第三连接板固定连接所述冷却室外壁。7.如权利要求6所述的固定机构，其特征在于，所述固定机构还包括限位组件，所述限位组件包括限位板和弹性件，所述限位板通过所述弹性件连接在所述第二连接板，用于加固所述第三连接板与所述冷却室外壁间的连接。8.如权利要求7所述的固定机构，其特征在于，所述第三连接板上设置有孔洞阵列，所述限位板上设置有与所述孔洞阵列对应的连接孔阵列，对应的孔洞和连接孔内贯穿有弹簧，且各个弹簧与所述冷却室外壁固定连接。9.一种pvd机台，其特征在于，所述pvd机台包括如权利要求1-8任意一项所述的固定机构。

技术总结
本发明提供了一种固定机构及具有其的PVD机台，所述固定机构用于稳固PVD腔体中转动装置与磁铁装置间的传动，转动装置包括安装基座、马达、主动齿轮、从动齿轮、固定键和固定机构，安装基座固定设置在冷却室外壁，马达的中心轴的延伸段上设有第一嵌插结构，主动齿轮环绕在延伸段外周，并设有第二嵌插结构，与第一嵌插结构形成供固定键插入的嵌插结构，固定机构包括固定组件，固定组件设置在主动齿轮的底端，从动齿轮的中心轴连接磁铁装置，且通过皮带与主动齿轮连接。本发明通过增设固定机构，可防止固定键松脱掉落，保证转动装置与磁铁装置间的传动正常，实现维持磁铁装置正常匀速旋转，提供PVD工艺所需的稳定磁场，且固定机构结构简单，加工成本低。加工成本低。加工成本低。


技术研发人员：朱亮 柳小敏 邰晓东
受保护的技术使用者：上海华力微电子有限公司
技术研发日：2022.01.27
技术公布日：2022/4/22