一种新型立式气相沉积炉的制作方法

1.本实用新型涉及气相沉积炉技术领域，具体为一种新型立式气相沉积炉。


背景技术：

2.化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。气相沉积炉的工作原理是将沉积源引入沉积炉内，然后加热到一定工艺温度，在真空泵抽气系统产生的引力作用下，将沉积源引至沉积室，然后加热到一定工艺温度，使沉积源沉积在沉积室内的工件上，从而在工件上产生一层沉积源膜。目前现有的化学气相沉积在物料沉积镀膜完成以后一般在物料冷却好以后再将沉积炉炉体内的物料取出，由于沉积炉炉体一般为密闭结构，因此物料在沉积炉炉体内冷却较慢，需要的冷却时间长，影响沉积炉的工作效率。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种新型立式气相沉积炉，解决了现有技术中的气相沉积炉在工作时，一般在物料冷却好以后再将沉积炉炉体内的物料取出，由于沉积炉炉体一般为密闭结构，因此物料在沉积炉炉体内冷却较慢，需要的冷却时间长，影响沉积炉的工作效率的问题。
4.为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：
5.一种新型立式气相沉积炉，包括沉积炉炉体、沉积室、安装底座及安装平台，所述安装平台固定安装于所述安装底座的上端面上，所述沉积炉炉体固定安装于所述安装平台上，所述安装底座的中部开设有一道滑轨，所述滑轨上设置有一个填料车，所述填料车可沿所述滑轨自由滑动，所述沉积炉炉体内设置有一个沉积室，所述沉积室为由外室及内室组成的中空的正六边形腔体类结构，所述外室内接于所述沉积炉炉体内，所述内室同心设置于所述外室的内侧，所述内室与外室之间的均匀设置有数块加热板，所述加热板通过线路外接电源，所述沉积炉炉体沿其周向均匀开设有数个加压孔，所述加压孔内均密封连接有一根加压管，所述加压管均外接气源，所述沉积炉炉体的顶部可拆卸的设置有一个上盖，所述上盖可拆卸地密封安装于所述沉积炉炉体的上端开口上，所述填料车上焊接有一个与所述沉积炉炉体相适配的底盖，所述底盖可拆卸地密封安装于所述沉积炉炉体的下端开口上。
6.进一步地，所述填料车上上端设置有一个升降台，所述升降台可沿竖直方向上自由升降，所述底盖焊接于所述升降台上。
7.进一步地，所述底盖的中部设置有一个第二加热器，所述第二加热器也为正六边形结构，所述底盖沿其周向均匀设置有六个物料安装孔，每一个所述物料安装孔均对齐所述第二加热器的一个面。
8.进一步地，所述上盖上设置有一个泄压口。
9.本实用新型结构简单，设计合理，当需要对物料进行沉积镀膜时，可先将物料依次
对齐放入底盖上的物料安装孔内，然后再通过外接的驱动装置将填料车驱动至沉积炉炉体的正下方，然后再启动所述升降台，此时升降台升起，将底盖对齐顶入沉积炉炉体的底面的开口上，然后再对底盖与沉积炉炉体之间进行密封，然后再将上盖密封合盖于沉积炉炉体的上端开口上，再通过加压管向沉积炉炉体内通入加压气体，使得沉积炉炉体内达到额定的工作压力，然后再接通加热板及第二加热器的外接电源，此时加热板及第二加热器开始工作，使得沉积炉炉体内达到额定的工作温度，从而完成沉积。本实用新型中物料设置于加热板及第二加热器之间，可保证物料的两面均可收到充足的热量，保证了物料的受热的均匀性，提高了物料的沉积效果，而当物料沉积完成以后，可通过填料车上的升降台将底盖连同物料一起拉出，然后再通过其他的冷却设备对沉积后的物料进行冷却，相较于传统的在沉积炉炉体内自然冷却的冷却方式，大大减少了物料的冷却时间，提高了沉积炉的工作效率。
附图说明
10.图1为本实用新型装置的结构示意图；
11.图中：1、沉积炉炉体，2、沉积室，21、外室，22、内室，3、安装底座，4、安装平台，5、滑轨，6、填料车，7、加热板，8、加压孔，9、加压管，10、上盖，11、底盖，12、升降台，13、第二加热器，14、物料安装孔，15、泄压口。
具体实施方式
12.下面结合附图对本实用新型作进一步详细说明。
13.如图1所示的一种新型立式气相沉积炉，包括沉积炉炉体1、沉积室2、安装底座3及安装平台4，所述安装平台4固定安装于所述安装底座3的上端面上，所述沉积炉炉体1固定安装于所述安装平台4上，所述安装底座3的中部开设有一道滑轨5，所述滑轨5上设置有一个填料车6，所述填料车6可沿所述滑轨5自由滑动，所述沉积炉炉体1内设置有一个沉积室2，所述沉积室2为由外室21及内室22组成的中空的正六边形腔体类结构，所述外室21内接于所述沉积炉炉体1内，所述内室22同心设置于所述外室21的内侧，所述内室22与外室21之间的均匀设置有数块加热板7，所述加热板7通过线路外接电源，所述沉积炉炉体1沿其周向均匀开设有数个加压孔8，所述加压孔8内均密封连接有一根加压管9，所述加压管9均外接气源，所述沉积炉炉体1的顶部可拆卸的设置有一个上盖10，所述上盖10可拆卸地密封安装于所述沉积炉炉体1的上端开口上，所述填料车6上焊接有一个与所述沉积炉炉体1相适配的底盖11，所述底盖11可拆卸地密封安装于所述沉积炉炉体1的下端开口上；所述填料车6上上端设置有一个升降台12，所述升降台12可沿竖直方向上自由升降，所述底盖11焊接于所述升降台12上；所述底盖11的中部设置有一个第二加热器13，所述第二加热器13也为正六边形结构，所述底盖11沿其周向均匀设置有六个物料安装孔14，每一个所述物料安装孔14均对齐所述第二加热器13的一个面；所述上盖10上设置有一个泄压口15。
14.本实用新型结构简单，设计合理，当需要对物料进行沉积镀膜时，可先将物料依次对齐放入底盖11上的物料安装孔14内，然后再通过外接的驱动装置将填料车3驱动至沉积炉炉体1的正下方，然后再启动所述升降台12，此时升降台12升起，将底盖11对齐顶入沉积炉炉体1的底面的开口上，然后再对底盖11与沉积炉炉体1之间进行密封，然后再将上盖10
密封合盖于沉积炉炉体1的上端开口上，再通过加压管9向沉积炉炉体1内通入加压气体，使得沉积炉炉体1内达到额定的工作压力，然后再接通加热板7及第二加热器13的外接电源，此时加热板7及第二加热器13开始工作，使得沉积炉炉体1内达到额定的工作温度，从而完成沉积。本实用新型中物料设置于加热板7及第二加热器13之间，可保证物料的两面均可收到充足的热量，保证了物料的受热的均匀性，提高了物料的沉积效果，而当物料沉积完成以后，可通过填料车6上的升降台12将底盖11连同物料一起拉出，然后再通过其他的冷却设备对沉积后的物料进行冷却，相较于传统的在沉积炉炉体1内自然冷却的冷却方式，大大减少了物料的冷却时间，提高了沉积炉的工作效率。
15.上述实施方式是对本实用新型的说明，不是对本实用新型的限定，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的保护范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种新型立式气相沉积炉，包括沉积炉炉体（1）、沉积室（2）、安装底座（3）及安装平台（4），其特征在于，所述安装平台（4）固定安装于所述安装底座（3）的上端面上，所述沉积炉炉体（1）固定安装于所述安装平台（4）上，所述安装底座（3）的中部开设有一道滑轨（5），所述滑轨（5）上设置有一个填料车（6），所述填料车（6）可沿所述滑轨（5）自由滑动，所述沉积炉炉体（1）内设置有一个沉积室（2），所述沉积室（2）为由外室（21）及内室（22）组成的中空的正六边形腔体类结构，所述外室（21）内接于所述沉积炉炉体（1）内，所述内室（22）同心设置于所述外室（21）的内侧，所述内室（22）与外室（21）之间的均匀设置有数块加热板（7），所述加热板（7）通过线路外接电源，所述沉积炉炉体（1）沿其周向均匀开设有数个加压孔（8），所述加压孔（8）内均密封连接有一根加压管（9），所述加压管（9）均外接气源，所述沉积炉炉体（1）的顶部可拆卸的设置有一个上盖（10），所述上盖（10）可拆卸地密封安装于所述沉积炉炉体（1）的上端开口上，所述填料车（6）上焊接有一个与所述沉积炉炉体（1）相适配的底盖（11），所述底盖（11）可拆卸地密封安装于所述沉积炉炉体（1）的下端开口上。2.根据权利要求1所述的一种新型立式气相沉积炉，其特征在于，所述填料车（6）上端设置有一个升降台（12），所述升降台（12）可沿竖直方向上自由升降，所述底盖（11）焊接于所述升降台（12）上。3.根据权利要求2所述的一种新型立式气相沉积炉，其特征在于，所述底盖（11）的中部设置有一个第二加热器（13），所述第二加热器（13）也为正六边形结构，所述底盖（11）沿其周向均匀设置有六个物料安装孔（14），每一个所述物料安装孔（14）均对齐所述第二加热器（13）的一个面。4.根据权利要求3所述的一种新型立式气相沉积炉，其特征在于，所述上盖（10）上设置有一个泄压口（15）。

技术总结
一种新型立式气相沉积炉，包括沉积炉炉体、沉积室、安装底座及安装平台，安装平台固定安装于安装底座的上端面上，沉积炉炉体固定安装于安装平台上，安装底座的中部开设有一道滑轨，滑轨上设置有一个填料车，沉积炉炉体内设置有一个沉积室，沉积室为由外室及内室组成的中空的正六边形腔体类结构，外室内接于沉积炉炉体内，内室同心设置于外室的内侧，内室与外室之间的均匀设置有数块加热板，加热板通过线路外接电源，沉积炉炉体沿其周向均匀开设有数个加压孔，加压孔内均密封连接有一根加压管，沉积炉炉体的顶部可拆卸的设置有一个上盖，填料车上焊接有一个与沉积炉炉体相适配的底盖。本实用新型结构简单，设计合理，工作效率高。工作效率高。工作效率高。


技术研发人员：刘昊亮 郭勇 张振清 陈浩纯
受保护的技术使用者：江西昊军智能装备有限公司
技术研发日：2021.12.23
技术公布日：2022/4/22