晶圆载具运输车的制作方法

1.本发明涉及晶圆生产工艺的技术领域，具体涉及一种晶圆载具运输车。


背景技术：

2.晶圆是一种极高纯度的报道提经过拉晶、切片等工序制备的高精度材料，同时因其半导体的性质，容易静电吸尘。晶圆一般是放在晶舟等晶圆载具中通过特制的运输工具运输到下一个生产车间。传统的晶圆推车可以平稳运输，但是不能防止晶圆载具之间左右晃动，从而晶圆载具会撞落到地面，不能防止晶圆载具前后移动，从而晶圆会破碎，同时也不能防止晶圆载具在运输过程中裸露在空气中发生静电吸尘，从而晶圆会被污染。


技术实现要素：

3.本发明是为了解决上述问题而完成的，本发明的技术方案为：
4.一种晶圆载具运输车，包括：
5.运载基础框架，包括底部框架、固定框架、一组直立长杆和一组直立短杆，底部框架与固定框架平行，一组直立长杆和一组直立短杆分别与底部框架和固定框架的转角节点连接并且垂直于底部框架，底部框架的转角节点设置滑轮；
6.运载台，包括底板和侧板，底板一边与运载基础框架一组直立短杆固定连接，底板的另一边与侧板的一边固定连接，侧板的另一边与运载基础框架一组直立长杆固定连接，底板和侧板分别与晶圆载具的底面和侧面紧密贴合；和
7.防静电网格帘，安装在运载基础框架一组直立长杆和一组直立短杆形成的所有外部平面。
8.根据本发明的实施例，底部框架的转角节点处安装防撞角机构。
9.根据本发明的实施例，运载台的底板和侧板形成的空间通过隔断条分割为体积近似晶圆载具的隔间。
10.根据本发明的实施例，根据运载需要多个运载台平行地设置在一组直立长杆和一组直立短杆形成的空间内。
11.根据本发明的实施例，运载台形成的角度与晶圆载具底面与侧面形成的角度相同。
12.根据本发明的实施例，一组直立长杆形成的平面与一组直立短杆形成的平面平行。
13.根据本发明的实施例，运载台的底板和侧板的材料是防滑材料。
14.本发明的晶圆载具运输车能够防止晶圆在运输过程中撞落、破碎和静电吸尘，是一种高效安全、操作简单的晶圆运输工具。
15.附图简要说明
16.图1是本发明晶圆载具运输车的左视图；
17.图2是本发明晶圆载具运输车的后视图；
18.图3是本发明晶圆载具运输车的前视图；
19.图4是本发明晶圆载具运输车的俯视图；
20.图5是本发明晶圆载具运输车的仰视图；
21.图6是本发明晶圆载具运输车的立体图；
22.图7是本发明晶圆载具运输车运输过程的前视图；
23.图8是本发明晶圆载具运输车运输过程的左视图；
24.图9是一个实施例中本发明晶圆载具运输车结构尺寸的前视图。
25.图10是一个实施例中本发明晶圆载具运输车结构尺寸的右视图。
26.1：晶圆载具运输车；2：底部框架；201：滑轮；202：防撞角机构；3：固定框架；4：直立长杆；5：直立短杆；6：运载台；601：底板；602：侧板；7：横隔条；8：晶圆载具；9：把手；10：防静电网格帘
具体实施方式
27.下面结合具体实施例和附图对本发明作进一步说明，在以下的描述中阐述了更多的细节以便于充分理解本发明，但是本发明显然能够以多种不同于此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下根据实际应用情况作类似推广、演绎，因此不应以此具体实施例的内容限制本发明的保护范围。
28.本发明晶圆载具运输车1包括运载基础框架、运载台6和防静电网格帘10。运载基础框架包括底部框架2、固定框架3、一组直立长杆4和一组直立短杆5。参见图1，示出本发明晶圆载具运输车1的左视图，底部框架2与固定框架3平行，一组直立长杆4和一组直立短杆5与底部框架2和固定框架3的转角节点连接并且垂直于底部框架2，这样直立长杆4和直立短杆5两端分别由底部框架2和固定框架3连接固定，形成稳定的运载基础框架，为运载晶圆载具8提供稳定的环境。
29.参见图4和图5，分别示出本发明晶圆载具运输车1的仰视图和俯视图。底部框架2的转角节点设置滑轮201，通过滑动移动来运载晶圆载具8，使得运输过程更为平稳。同时，在滑轮201的上部设置防撞角机构202，该机构可设置为圆弧型，这样，晶圆载具运输车1在运载过程中碰到尖锐物可以圆滑地转动，防止运载车受到剧烈碰撞。参见图8，示出本发明晶圆载具运输车1运输过程的左视图。运载台6包括底板601和侧板602，底板601和侧板602形成倾斜的搁置空间，这样晶圆载具8的底面和侧面与底板601和侧板602紧密贴合，底板601和侧板602是防滑材料，防止晶圆载具8在运载过程中前后移动，从而防止晶圆破碎。底板601一边与一组直立短杆5固定连接，底板601的另一边与侧板602的一边固定连接，侧板602的另一边与一组直立长杆4固定连接，底板601和侧板602分别与晶圆载具8的底面和侧面紧密贴合。
30.参见图2和图3，分别示出本发明晶圆载具运输车1的后视图和前视图。底板601的另外两侧分别与直立短杆5的两端固定连接，侧板602的另外两侧分别与直立长杆4的两端固定连接。在底板601和侧板602形成的空间内还设置横隔条7，横隔条7的两端分别与底板601和侧板602的两侧连接。
31.参见图7，示出本发明晶圆载具运输车1运输过程中的前视图。横隔条7将空间氛围体积近似晶圆载具8的隔间，方便将晶圆载具8限制在隔间进而防止晶圆载具8之间左右碰
撞，推动把手9运输过程中可以防止晶圆载具8撞落。
32.参见图6，防静电网格帘10安装在一组直立长杆4和一组直立短杆5形成的所有外部平面。一组直立长杆4和一组直立短杆5形成前后左右四个垂直平面和上面的一个倾斜平面，将运载台6整体包围，形成防静电区，防止运输过程中晶圆与空气接触发生静电吸尘现象。
33.实施例
34.底部框架选择为矩形，直立长杆4高度是1160mm，直立短杆5的高度是850mm，滑轮201高度是140mm，底部框架2宽649mm，长1040mm，底板601与直立短杆5之间形成的角度为70度，侧板602与直立长杆4之间形成的角度是20度，底板601和长为形成90度角，横隔条7将底板601与侧板602形成的空间分为长是490mm的隔间。具体的尺寸结构参见图9。
35.虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然其并非用以限定本发明，任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的修改和完善，因此本发明的保护范围当以权利要求书所界定的为准。


技术特征：
1.一种晶圆载具运输车，其特征在于，包括：运载基础框架，包括底部框架、固定框架、一组直立长杆和一组直立短杆，所述底部框架与所述固定框架平行，所述一组直立长杆和所述一组直立短杆分别与所述底部框架和所述固定框架的转角节点连接并且垂直于所述底部框架，所述底部框架的转角节点设置滑轮；运载台，包括底板和侧板，所述底板一边与所述运载基础框架的所述一组直立短杆固定连接，所述底板的另一边与所述侧板的一边固定连接，所述侧板的另一边与所述运载基础框架的所述一组直立长杆固定连接，所述底板和所述侧板分别与所述晶圆载具的底面和侧面紧密贴合；和防静电网格帘，安装在所述运载基础框架的所述一组直立长杆和所述一组直立短杆形成的所有外部平面。2.根据权利要求1所述的晶圆载具运输车，其特征在于，所述底部框架的转角节点处安装防撞角机构。3.根据权利要求1所述的晶圆载具运输车，其特征在于，所述运载台的所述底板和所述侧板形成的空间通过隔断条分割为体积近似所述晶圆载具的隔间。4.根据权利要求1所述的晶圆载具运输车，其特征在于，根据运载需要多个所述运载台平行地设置在所述一组直立长杆和所述一组直立短杆形成的空间内。5.根据权利要求1所述的晶圆载具运输车，其特征在于，所述运载台形成的角度与所述晶圆载具底面与侧面形成的角度相同。6.根据权利要求1所述的晶圆载具运输车，其特征在于，所述一组直立长杆形成的平面与所述一组直立短杆形成的平面平行。7.根据权利要求1所述的晶圆载具运输车，其特征在于，所述运载台的所述底板和所述侧板的材料是防滑材料。

技术总结
本发明提供一种晶圆载具运输车，包括：运载基础框架，包括底部框架、固定框架、一组直立长杆和一组直立短杆，所述底部框架与所述固定框架平行，所述一组直立长杆和所述一组直立短杆分别与所述底部框架和所述固定框架的转角节点连接并且垂直于所述底部框架；运载台，包括底板和侧板，所述底板一边与所述运载基础框架的所述一组直立短杆固定连接，所述底板的另一边与所述侧板的一边固定连接，所述侧板的另一边与所述运载基础框架的所述一组直立长杆固定连接，所述底板和所述侧板分别与所述晶圆载具的底面和侧面紧密贴合；本发明的晶圆载具运输车能够防止晶圆在运输过程中撞落、破碎和静电吸尘，是一种高效安全、操作简单的晶圆运输工具。输工具。输工具。


技术研发人员：杨瑞鹏 卜丽飞 田晶悦 其乐木格
受保护的技术使用者：唐山捷准芯测信息科技有限公司
技术研发日：2021.12.30
技术公布日：2022/4/22