一种高压喷嘴组件、高压喷嘴运动件、去胶腔体和去胶机的制作方法

1.本发明涉及半导体行业晶片湿法处理领域，尤其涉及一种高压喷嘴组件、高压喷嘴运动件、去胶腔体和去胶机。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体积体电路所使用的硅晶片，其形状为圆形，故称为晶圆。目前，在晶圆撕金去胶工艺过程中，常用狭缝状和柱状等多种喷嘴组合的形式进行晶圆的加工，其喷口竖直向下，喷出的去胶液使晶圆只受到垂直的力，而没有斜向的力掀起晶圆上的胶和金属，因此不能有效剥离晶圆上的胶和金属。


技术实现要素：

3.因此，本发明实施例提供一种高压喷嘴组件、高压喷嘴运动件、去胶腔体和去胶机，有效解决晶圆上的胶和金属无法有效剥离的问题。
4.一方面，本发明实施例提供一种高压喷嘴组件，由狭缝状喷嘴和柱状喷嘴组成，所述狭缝状喷嘴包括：狭缝状开口段和与其连通的狭缝状喷腔段，所述狭缝状开口段与所述狭缝状喷腔段位于所述狭缝状喷嘴内；所述狭缝状开口段的轴线与所述狭缝状喷腔段的轴线呈倾斜状设置；所述柱状喷嘴包括；柱状开口段和与其连通的柱状喷腔段，所述柱状开口段和所述柱状喷腔段位于所述柱状喷嘴内，所述柱状开口段的轴线与所述柱状喷腔段的轴线平行设置；其中，所述狭缝状喷腔段的轴线和所述柱状喷腔段的轴线平行设置。
5.采用该技术方案后所达到的技术效果：所述柱状开口段面积小，压强大，所述狭缝状开口段面积大，压强小，可根据不同的工艺要求使用不同的喷嘴组合；倾斜的所述狭缝状开口段喷出的去胶液与晶圆成一定角度，便于掀起晶圆上的胶以及金属。
6.在本发明的一个实施例中，所述狭缝状喷嘴包括内侧入口和外侧出口，所述内侧入口设置在所述狭缝状喷腔段远离所述狭缝状开口段的一侧，所述外侧出口设置在所述狭缝状开口段远离所述狭缝状喷腔段的一侧。
7.采用该技术方案后所达到的技术效果：所述去胶液经过所述内侧入口到所述外侧入口后可改变方向，倾斜地喷于晶圆上。
8.在本发明的一个实施例中，还包括：第一连接组件和第二连接组件，第一导管和第二导管；其中，所述第一连接组件用于连接所述第一导管与所述狭缝状喷嘴；所述第二连接组件用于连接所述第二导管与所述柱状喷嘴。
9.采用该技术方案后所达到的技术效果：所述多个连接组件使所述去胶液从导管流至喷嘴的过程中不会渗漏，并且起到缓冲作用，使喷嘴喷出的所述去胶液均匀稳定。
10.在本发明的一个实施例中，所述第一连接组件包括第一连接杆和第一接头，所述第二连接组件包括第二连接杆和第二接头；其中，所述第一连接杆两端轴连接所述狭缝状喷嘴和所述第一接头，所述第一接头套设于所述第一导管的一端，所述第二连接杆两端轴连接所述柱状喷嘴和所述第二接头，所述第二接头套设于所述第二导管的一端，所述第一
连接杆直径大于所述第二连接杆。
11.采用该技术方案后所达到的技术效果：所述狭缝状开口段面积大于所述柱状开口段，因此所述第一连接杆的截面大于所述第二连接杆的截面可以使所述去胶液相对均匀。
12.另一方面，本发明实施例提供一种高压喷嘴运动件，包括：所述高压喷嘴组件；喷嘴固定件，所述喷嘴固定件连接所述高压喷嘴组件；扫描臂，所述扫描臂轴连接所述喷嘴固定件，可旋转地调整喷嘴固定件的旋转角度；旋转组件，所述旋转组件连接所述扫描臂远离所述喷嘴固定件的一端；驱动组件，所述驱动组件轴连接所述旋转组件。其中，所述驱动组件可以使所述旋转组件旋转和/或升降。
13.采用该技术方案后所达到的技术效果：所述高压喷嘴运动件实现所述高压喷嘴组件的水平旋转、竖直升降运动；所述喷嘴固定件可以改变高压喷嘴组件的倾斜角度，以进行不同的去胶工艺。
14.在本发明的一个实施例中，所述喷嘴固定件包括：第一固定孔，所述第一固定孔套设于所述第一连接杆；第二固定孔，所述第二固定孔套设于所述第二连接杆。
15.采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第一固定孔可以调整所述狭缝状喷嘴在竖直方向上的位置并固定所述狭缝状喷嘴，所述第二固定孔可以调整所述柱状喷嘴在竖直方向上的位置并固定所述柱状喷嘴。
16.在本发明的一个实施例中，还包括：多个导管限位件，互相间隔地套设于所述扫描臂；其中，每个所述导管限位件设有两个导管过孔；所述第一导管至少穿过一个所述导管限位件上的一个所述导管过孔；和所述第二导管至少穿过一个所述导管限位件上的一个所述导管过孔。
17.采用该技术方案后所达到的技术效果：所述多个导管限位件用于所述多个导管的固定，防止导管干涉其他零件，并且所述多个导管限位件可在所述扫描臂上滑动，以适应不同长度的导管的需求。
18.在本发明的一个实施例中，所述旋转组件，包括：夹持件，所述夹持件连接扫描臂远离所述喷嘴固定件的一端，设有夹持空间以及连通所述夹持空间的第一过孔；旋转套筒，所述旋转套筒的一端夹设于所述夹持空间，并设有连通所述第一过孔的第二过孔，所述旋转套筒内设有旋转空间；旋转轴，所述旋转轴位于所述旋转空间内，连接所述旋转套筒朝向所述夹持件的一端，并设有对应所述第二过孔的第三过孔。
19.采用该技术方案后所达到的技术效果：所述夹持件用于固定所述扫描臂，通过所述旋转组件将所述驱动组件的旋转、升降运动传递至所述高压喷嘴组件。
20.又一方面，本发明实施例提供一种去胶腔体，包括：所述高压喷嘴运动件；去胶腔体壳体，所述去胶腔体壳体设有去胶工作空间；晶圆安装位，所述晶圆安装位位于所述去胶工作空间内，连接所述去胶腔体壳体的底面；其中，所述高压喷嘴运动件连接所述去胶腔体壳体的底面并位于所述晶圆安装位的一侧，所述高压喷嘴运动件能够将所述高压喷嘴组件移动至所述晶圆安装位上。
21.采用该技术方案后所达到的技术效果：所述高压喷嘴组件通过所述高压喷嘴运动件在所述晶圆安装位上沿所述旋转轴旋转或升降，并将所述去胶液喷射到所述晶圆安装位上，对所述晶圆进行加工。
22.再一方面，本发明实施例提供一种去胶机，所述去胶机设有所述去胶腔体。
23.采用该技术方案后所达到的技术效果：所述去胶机通过所述高压喷嘴组件喷出的倾斜去胶液，能更好地掀起并去除所述晶圆上的胶和金属。
24.综上所述，本技术上述各个实施例可以具有如下一个或多个优点或有益效果：i)所述柱状喷嘴压强大，面积小，所述狭缝状喷嘴压强小，面积大，可根据不同的工艺要求使用不同的喷嘴组合；ii)倾斜的所述狭缝状开口段可以使所述去胶液与所述晶圆成一定角度，便于掀起并去除所述晶圆上的胶以及金属；iii)所述驱动组件可以使所述旋转组件旋转或升降，从而调整所述狭缝状喷嘴和所述柱状喷嘴在所述晶圆安装位上的位置。
附图说明
25.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
26.图1为本发明第一实施例提供的一种高压喷嘴组件100的结构示意图。
27.图2为图1所示的高压喷嘴组件100的爆炸图。
28.图3为图2中狭缝状喷嘴110的剖视图。
29.图4为图2中柱状喷嘴120的剖视图。
30.图5为图2中第一连接杆131的剖视图。
31.图6为图2中第二连接杆141的剖视图。
32.图7为本发明第二实施例提供的一种高压喷嘴运动件230的结构示意图。
33.图8为图7中的旋转组件270的结构示意图。
34.图9为本发明第三实施例提供的一种去胶腔体200的结构示意图。
35.图10为图7中的驱动组件280的连接结构示意图。
36.图11为本发明第四实施例提供的一种去胶机300的结构示意图。
37.主要元件符号说明：100为高压喷嘴组件；110为狭缝状喷嘴；111为狭缝状开口段；111a为内侧入口；111b为外侧出口；112为凸起件；113为喷口槽；120为柱状喷嘴；121为柱状开口段；130为第一连接组件；131为第一连接杆；132为第一接头；133为狭缝状喷嘴连接位；134为接头安装位；140为第二连接组件；141为第二连接杆；142为第二接头；143为柱状喷嘴连接位；150为第一导管；160为第二导管。
38.200为去胶腔体；210为去胶腔体壳体；211为底板；212为驱动安装盒；213为去胶工作空间；220为晶圆安装位；230为高压喷嘴运动件；240为喷嘴固定件；241为第一固定孔；242为第二固定孔；250为扫描臂；260为导管限位件；261为导管过孔；270为旋转组件；271为夹持件；272为旋转套筒；273为旋转轴；274为第一过孔；275为第二过孔；276为第三过孔；280为驱动组件；281为旋转轴法兰；282为电机；283为电缸。
39.300为去胶机。
具体实施方式
40.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完
整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
41.【第一实施例】参见图1-4，其为本发明第一实施例提供的一种高压喷嘴组件100。高压喷嘴组件100包括狭缝状喷嘴110和柱状喷嘴120。其中，狭缝状喷嘴110包括：狭缝状开口段111和与其连通的狭缝状喷腔段，狭缝状开口段111与所述狭缝状喷腔段位于狭缝状喷嘴110内；狭缝状开口段111的轴线b与所述狭缝状喷腔段的轴线a呈倾斜状设置；柱状喷嘴120包括；柱状开口段121和与其连通的柱状喷腔段，柱状开口段121和所述柱状喷腔段位于所述柱状喷嘴120内，柱状开口段121的轴线d与所述柱状喷腔段的轴线c平行设置；其中，所述狭缝状喷腔段的轴线a和所述柱状喷腔段的轴线c平行设置。
42.本实施例中，柱状喷嘴120面积小，压强大，所述狭缝状喷嘴110面积大，压强小，可对晶圆实现不同的冲刷效果，根据不同的工艺要求使用不同的喷嘴或其组合；倾斜的狭缝状喷嘴110可以更好的剥离晶圆上的胶以及金属。
43.优选的，狭缝状喷嘴110整体为圆柱状结构，狭缝状喷嘴110朝向狭缝状开口段111的一侧设有凸起件112。其中所述凸起件112包括相对的两个平行面，以及夹设于所述两个平行面之间的喷口槽113，喷口槽113与所述平行面平行，狭缝状开口段111位于喷口槽113内，狭缝状开口段111沿喷口槽113的长度方向设置。
44.进一步的，狭缝状开口段111可以为矩形，在高压喷嘴组件100喷洒去胶液的同时，高压喷嘴组件100通过其他驱动件进行旋转，可以使狭缝状开口段111喷出的所述去胶液形成扇形。结合图3，狭缝状喷嘴110包括内侧入口111a和外侧出口111b，内侧入口111a设置在所述狭缝状喷腔段远离狭缝状开口段111的一侧，外侧出口111b设置在狭缝状开口段111远离所述狭缝状喷腔段的一侧。显而易见的，所述去胶液通过内侧入口111a和外侧出口111b后可改变方向，狭缝状开口段111喷出的所述去胶液成倾斜状态，均匀冲刷于所述晶圆上。
45.再进一步，柱状喷嘴120朝向柱状开口段121的一侧设有圆形槽，柱状开口段121设于所述圆形槽中心。其中，柱状开口段121可以是圆形，使柱状开口段121喷出的所述去胶液形成圆柱状。结合图4，柱状开口段121设于所述柱状喷腔段的轴线c上，使所述去胶液通过柱状开口段121后其方形为竖直的圆柱状。
46.优选的，参见图2，高压喷嘴组件100例如还包括多个连接组件和多个导管，多个连接组件用于连接喷嘴和导管。举例来说，多个连接组件例如包括第一连接组件130和第二连接组件140，第一连接组件130连接狭缝状喷嘴110，第二连接组件140连接柱状喷嘴120。另外，多个导管例如包括第一导管150和第二导管160，第一导管150连接第一连接组件130，第二导管160连接第二连接组件140。
47.进一步的，第一连接组件130包括第一连接杆131和第一接头132，第二连接组件140包括第二连接杆141和第二接头142。举例来说，第一连接杆131两端轴连接狭缝状喷嘴110和第一接头132，第一接头132远离第一连接杆131的一端套设于第一导管150的一端，第二连接杆141两端轴连接柱状喷嘴120和第二接头142，第二接头142远离第二连接杆141的一端套设于第二导管160的一端。
48.其中，第一接头132和第二接头142可以是相同的接头，第一导管150和第二导管
160可以是相同的导管。当第一导管150和第二导管160通入相同流量的所述去胶液时，狭缝状开口段111的面积大于柱状开口段121的面积，狭缝状开口段111喷出的所述去胶液可以获得较小的压强。
49.优选的，结合图5-6，第一连接杆131和第二连接杆141设有相同的接头安装位134，分别用于连接第一接头132和第二接头142。举例来说，第一接头132与接头安装位134之间、第二接头142与接头安装位134之间可采用螺纹连接，防止去胶液渗漏。
50.进一步的，第一连接杆131设有狭缝状喷嘴连接位133用于连接狭缝状喷嘴110，第二连接杆141设有柱状喷嘴连接位143用于连接柱状喷嘴120。其中，第一连接杆131直径大于第二连接杆141，且狭缝状喷嘴连接位133直径大于柱状喷嘴连接位143，使得第一连接杆131内有更多的空间对所述去胶液起到缓冲作用，能够喷出均匀的所述去胶液。
51.【第二实施例】参见图7，其为本发明第二实施例提供的一种高压喷嘴运动件230的结构示意图。其中，高压喷嘴运动件230例如包括：喷嘴固定件240、扫描臂250、旋转组件270、驱动组件280和第一实施例提供的高压喷嘴组件100。举例来说，喷嘴固定件240连接高压喷嘴组件100；扫描臂250连接喷嘴固定件240；旋转组件270连接扫描臂250远离喷嘴固定件240的一端；驱动组件280轴连接旋转组件270，其中，驱动组件280可以使旋转组件270旋转和/或升降。
52.优选的，喷嘴固定件240设有相互垂直的第一侧和第二侧。其中，所述第一侧设有第一固定孔241和第二固定孔242，第一固定孔241套设于所述第一连接杆131，第二固定孔242套设于所述第二连接杆141，可通过喷嘴固定件240侧面的螺杆调节第一固定孔241和第二固定孔242的松紧，使高压喷嘴组件100可以在第一固定孔241和第二固定孔242中固定或取下；所述第二侧设有轴孔用于固定扫描臂250。
53.进一步的，扫描臂250可以是一根圆杆，扫描臂250的一端轴连接喷嘴固定件240的所述轴孔。当狭缝状喷嘴110的所述狭缝状喷腔段为竖直状态时，也通过所述轴孔旋转高压喷嘴组件100，使所述狭缝状喷腔段达到倾斜的效果。
54.优选的，高压喷嘴运动件230例如还设有多个导管限位件260，互相间隔地套设于扫描臂250。举例来说，高压喷嘴运动件230设有两个导管限位件260，每一个导管限位件260设有固定扫描臂250的孔以及两个导管过孔261，即扫描臂250两侧各有一个导管过孔261。另外，第一导管150和第二导管160均至少穿过一个导管限位件260上的一个导管过孔261。例如，第一导管150穿过一个导管限位件260一侧的导管过孔261，第二导管160穿过相同导管限位件260另一侧的导管过孔261。扫描臂250通过导管限位件260可固定第一导管150和第二导管160的位置，防止第一导管150和第二导管160下垂影响晶圆安装位220或其他零件。
55.进一步的，导管限位件260顶部设有螺纹孔，可通过在所述螺纹孔内安装紧定螺钉（图中未示出）限定导管限位件260和扫描臂250的相对位置。相反，在所述紧定螺钉松开时，导管限位件260可在扫描臂250上沿扫描臂250长度方向滑动，从而适应不同长度的所述导管。
56.优选的，结合图8，其为旋转组件270的爆炸图。其中，旋转组件270例如包括：夹持件271、旋转套筒272和旋转轴273。举例来说，夹持件271连接扫描臂250远离喷嘴固定件240
的一端，夹持件271朝向去胶腔体壳体210底板211的一侧设有夹持空间；旋转套筒272的一端夹设于所述夹持空间，旋转套筒272内部设有旋转空间；旋转轴273位于所述旋转空间内，旋转轴273连接旋转套筒272朝向夹持件271的一端。
57.优选的，夹持件271侧面设有连通夹持空间的第一过孔274；旋转套筒272为薄壁状结构，其设于所述夹持空间的一端设有第二过孔275，第二过孔275连通所述旋转空间；旋转轴273固定于所述旋转空间内与所述夹持空间连通，并设有对应第二过孔275的第三过孔276。其中，第一过孔274、第二过孔275和第三过孔276的半径相同，且同心设置，可通过定位销（图中未示出）同时穿过第一过孔274、第二过孔275和第三过孔276实现夹持件271、旋转套筒272和旋转轴273的固定，从而在旋转轴273旋转时，直接带动扫描臂250绕旋转轴273旋转。
58.优选的，参见图7，驱动组件280例如包括：旋转轴法兰281、电机282和电缸283。举例来说，旋转轴法兰281轴连接旋转轴273朝向驱动组件280的一端；电机282固定于旋转轴法兰281远离旋转轴273的一端，并且电机282的输出轴和旋转轴273通过联轴器连接，用于实现高压喷嘴组件100的旋转运动；电缸283连接旋转轴法兰281。
59.进一步的，电缸283包括电缸丝杆（图中未标示）和电缸电机（图中未标示）。其中，所述电缸电机轴连接所述电缸丝杆，实现所述电缸丝杆的直线运动，所述电缸丝杆连接旋转轴法兰281并带动旋转轴法兰281在竖直方向上直线运动，从而实现高压喷嘴组件100的升降运动。
60.【第三实施例】参见图9，其为本发明第三实施例提供的一种去胶腔体200的结构示意图。其中，去胶腔体200例如包括：去胶腔体壳体210、晶圆安装位220以及第二实施例提供的高压喷嘴运动件230。
61.优选的，去胶腔体壳体210内部设有去胶工作空间213，晶圆安装位220位于去胶工作空间213内并连接去胶腔体壳体210的底板211，高压喷嘴运动件230连接去胶腔体壳体210的底板211，位于晶圆安装位220的一侧。
62.具体的，参见图10，去胶腔体壳体210的底面设有穿孔，旋转轴273穿过所述穿孔，使驱动组件280位于去胶腔体壳体210外，高压喷嘴运动件230的其余零件位于去胶工作空间213。其中，电缸283连接去胶腔体壳体210的底板211远离去胶工作空间213的一侧。另外，去胶腔体壳体210还设有驱动安装盒212，套设于驱动组件280上，并连接去胶腔体壳体210的底板211远离去胶工作空间213的一侧。
63.其中，晶圆安装位220用于安装晶圆，并在去胶腔体壳体210的底面上旋转，使去胶液能够充分冲刷晶圆。另外，高压喷嘴组件100能够通过高压喷嘴运动件230旋转移动至所述晶圆安装位220上，对晶圆进行冲刷。
64.【第四实施例】参见图11，其为本发明第四实施例提供的一种去胶机300的结构示意图。其中，去胶机300包括第三实施例提供的去胶腔体200。
65.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；
而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。