一种高压喷嘴组件、高压喷嘴运动件、去胶腔体和去胶机的制作方法

技术特征：
1.一种高压喷嘴组件，由狭缝状喷嘴和柱状喷嘴组成，其特征在于，所述狭缝状喷嘴包括：狭缝状开口段和与其连通的狭缝状喷腔段，所述狭缝状开口段与所述狭缝状喷腔段位于所述狭缝状喷嘴内；所述狭缝状开口段的轴线与所述狭缝状喷腔段的轴线呈倾斜状设置；所述柱状喷嘴包括；柱状开口段和与其连通的柱状喷腔段，所述柱状开口段和所述柱状喷腔段位于所述柱状喷嘴内，所述柱状开口段的轴线与所述柱状喷腔段的轴线平行设置；其中，所述狭缝状喷腔段的轴线和所述柱状喷腔段的轴线平行设置。2.根据权利要求1所述的高压喷嘴组件，其特征在于，所述狭缝状喷嘴包括内侧入口和外侧出口，所述内侧入口设置在所述狭缝状喷腔段远离所述狭缝状开口段的一侧，所述外侧出口设置在所述狭缝状开口段远离所述狭缝状喷腔段的一侧。3.根据权利要求2所述的高压喷嘴组件，其特征在于，所述高压喷嘴组件还包括：第一连接组件和第二连接组件，第一导管和第二导管；其中，所述第一连接组件用于连接所述第一导管与所述狭缝状喷嘴；所述第二连接组件用于连接所述第二导管与所述柱状喷嘴。4.根据权利要求3所述的高压喷嘴组件，其特征在于，所述第一连接组件包括第一连接杆和第一接头，所述第二连接组件包括第二连接杆和第二接头；其中，所述第一连接杆两端轴连接所述狭缝状喷嘴和所述第一接头，所述第一接头套设于所述第一导管的一端，所述第二连接杆两端轴连接所述柱状喷嘴和所述第二接头，所述第二接头套设于所述第二导管的一端，所述第一连接杆直径大于所述第二连接杆。5.一种高压喷嘴运动件，其特征在于，包括：如权利要求4所述的高压喷嘴组件；喷嘴固定件，所述喷嘴固定件连接所述高压喷嘴组件；扫描臂，所述扫描臂轴连接所述喷嘴固定件，可旋转地调整喷嘴固定件的旋转角度；旋转组件，所述旋转组件连接所述扫描臂远离所述喷嘴固定件的一端；驱动组件，所述驱动组件轴连接所述旋转组件；其中，所述驱动组件可以使所述旋转组件旋转和/或升降。6.根据权利要求5所述的高压喷嘴运动件，其特征在于，所述喷嘴固定件，包括：第一固定孔，所述第一固定孔套设于所述第一连接杆；第二固定孔，所述第二固定孔套设于所述第二连接杆。7.根据权利要求5所述的高压喷嘴运动件，其特征在于，所述高压喷嘴运动件还包括：多个导管限位件，互相间隔地套设于所述扫描臂；其中，每个所述导管限位件设有两个导管过孔；所述第一导管至少穿过一个所述导管限位件上的一个所述导管过孔；和所述第二导管至少穿过一个所述导管限位件上的一个所述导管过孔。8.根据权利要求5所述的高压喷嘴运动件，其特征在于，所述旋转组件，包括：夹持件，所述夹持件连接扫描臂远离所述喷嘴固定件的一端，设有夹持空间以及连通所述夹持空间的第一过孔；旋转套筒，所述旋转套筒的一端位于所述夹持空间内，并设有对应所述第一过孔的第
二过孔，所述旋转套筒内设有旋转空间；旋转轴，所述旋转轴位于所述旋转空间内，连接所述旋转套筒朝向所述夹持件的一端，并设有对应所述第二过孔的第三过孔。9.一种去胶腔体，其特征在于，所述去胶腔体包括：如权利要求5-8所述的任意一种高压喷嘴运动件；去胶腔体壳体，所述去胶腔体壳体设有去胶工作空间；晶圆安装位，所述晶圆安装位位于所述去胶工作空间内，连接所述去胶腔体壳体的底面；其中，所述高压喷嘴运动件连接所述去胶腔体壳体的底面并位于所述晶圆安装位的一侧，所述高压喷嘴运动件能够将所述高压喷嘴组件移动至所述晶圆安装位上。10.一种去胶机，其特征在于，所述去胶机设有如权利要求9所述的去胶腔体。

技术总结
本发明公开了一种高压喷嘴组件、高压喷嘴运动件、去胶腔体和去胶机，所述高压喷嘴组件，由狭缝状喷嘴和柱状喷嘴组成，所述狭缝状喷嘴包括：狭缝状开口段和与其连通的狭缝状喷腔段，所述狭缝状开口段与所述狭缝状喷腔段位于所述狭缝状喷嘴内；所述狭缝状开口段的轴线与所述狭缝状喷腔段的轴线呈倾斜状设置；所述柱状喷嘴包括；柱状开口段和与其连通的柱状喷腔段，所述柱状开口段和所述柱状喷腔段位于所述柱状喷嘴内，所述柱状开口段的轴线与所述柱状喷腔段的轴线平行设置；其中，所述狭缝状喷腔段的轴线和所述柱状喷腔段的轴线平行设置。本发明解决晶圆上的胶和金属无法有效剥离的问题。题。题。


技术研发人员：刘晓龙 朱松 李嘉东
受保护的技术使用者：宁波润华全芯微电子设备有限公司
技术研发日：2022.03.08
技术公布日：2022/4/12