防翘曲微显示面板、微显示装置及其制造方法与流程

技术特征：
1.一种防翘曲微显示面板，其特征在于：包括衬底，所述的衬底为无机材料衬底；若干个阵列排布的发光元件；应力释放层，形成于所述的衬底和发光元件表面；若干金属接触电极，与所述的发光元件表面电学互联；金属布线层，形成于所述的应力释放层之上；平坦化层，所述的平坦化层选用无机绝缘材料制作而成；所述的应力释放层位于所述的衬底与所述的平坦化层之间，并能够发生弹性变形。2.根据权利要求1所述的微显示面板，其特征在于：所述的应力释放层材料选用有机光敏胶材料或者sio2膜材料或sin膜材料制成。3.根据权利要求1所述的微显示面板，其特征在于：所述的衬底为硅衬底、碳化硅衬底、蓝宝石衬底或氮化镓衬底中的任意一种。4.根据权利要求1所述的微显示面板，其特征在于：所述的应力释放层的厚度为100-20000。5.根据权利要求1所述的微显示面板，其特征在于：所述的平坦化层的材料选用sio2、sin中的任意一种。6.一种微显示装置，其特征在于：包括形成电学互联的显示芯片和驱动芯片，所述的显示芯片包括若干个阵列排布的发光元件、形成在所述的发光元件上的应力释放层、形成在所述的应力释放层上的金属布线层以及若干与所述的发光元件电连接的金属接触电极、平坦化层，其中所述的应力释放层为能够发生弹性变形的材料制作而成，所述的平坦化层选用无机绝缘材料制作而成。7.一种微显示装置的制造方法，其特征在于：它包括下述步骤，提供一第一晶圆，所述的第一晶圆上具有复数个如权利要求1-5中任意一项所述的微显示面板；提供一第二晶圆，所述的第二晶圆上具有复数个驱动电路，复数个所述的微显示面板与复数个所述的驱动电路一一对应；将所述的第一晶圆与第二晶圆对准后键合；去除所述的微显示面板的衬底；切割、封装。

技术总结
本申请公开了一种防翘曲微显示面板、微显示装置及其制造方法。微显示面板包括：衬底，所述的衬底为无机材料衬底；若干个阵列排布的发光元件；应力释放层，形成于所述的衬底和发光元件表面；若干金属接触电极，与所述的发光元件表面电学互联；金属布线层，形成于所述的应力释放层之上；平坦化层，所述的平坦化层选用无机绝缘材料制作而成；所述的应力释放层位于所述的衬底与所述的平坦化层之间，且该应力释放层选用有机材料制作而成，并能够发生弹性变形。本申请通过优化微显示面板的膜层结构，降低了基板翘曲度，可提高wafer to wafer的良率。率。率。


技术研发人员：岳大川
受保护的技术使用者：季华实验室
技术研发日：2021.12.24
技术公布日：2022/4/12