一种单晶坩埚脱模用切割装置的制作方法

技术特征：
1.一种单晶坩埚脱模用切割装置，其特征在于：该装置包括机体，在机体上安装有电弧或电火花发生装置、切割装置以及用于控制切割装置进行横向、竖向或斜竖运动对单晶坩埚中的石英坩埚进行切割的电控系统； 电弧或电火花发生装置用于在切割装置的锯片和石英坩埚外层的碳碳坩埚之间产生电弧或电火花，电控系统用于将电弧或电火花发生装置产生的电弧或电火花作为控制信号对切割装置的锯片和碳碳坩埚之间的间距进行控制，在石英坩埚上切割出剩余厚度可控的沟槽而避免切割到碳碳坩埚。2.根据权利要求1所述的单晶坩埚脱模用切割装置，其特征在于：在机体上还安装有用于对单晶坩埚进行夹紧或翻转的机械手臂和用于对切割产生的粉尘进行处理的除尘装置。3.根据权利要求1所述的单晶坩埚脱模用切割装置，其特征在于：将切割装置的锯片、碳碳坩埚作为电弧或电火花发生装置的放电电极。4.根据权利要求1所述的单晶坩埚脱模用切割装置，其特征在于：切割装置中驱动锯片的电机通过绝缘材质的皮带将动力传递给切割装置的锯片，以避免锯片和驱动锯片的电机之间发生通路。5.根据权利要求1所述的单晶坩埚脱模用切割装置，其特征在于：电控系统通过电弧或电火花的放电电压对切割开槽剩下石英坩埚的壁厚进行控制。

技术总结
一种单晶坩埚脱模用切割装置，该装置包括机体、电弧或电火花发生装置、电控系统以及切割装置，其中电控系统控制安装在机体上的可作横向、竖向或斜竖运动的切割装置对石英坩埚进行切割，而在切割石英坩埚的过程中，电控系统通过锯片和石英坩埚外层的碳碳坩埚之间产生的电弧或电火花作为信号，控制锯片和碳碳坩埚之间的间距，实现在石英坩埚上自动切割出剩余厚度可控的沟槽而不会切割到碳碳坩埚的效果，最终达到取代人工敲击操作，顺利将石英坩埚从碳碳坩埚内部脱模分离而避免在此过程给碳碳坩埚带来强烈震动导致碳碳坩埚受损的目的。坩埚带来强烈震动导致碳碳坩埚受损的目的。坩埚带来强烈震动导致碳碳坩埚受损的目的。


技术研发人员：尹长浩
受保护的技术使用者：尹长浩
技术研发日：2021.10.20
技术公布日：2022/4/8