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一种翻转机构及翻转输送装置的制作方法

2022-04-09 18:31:41 来源:中国专利 TAG:


1.本技术涉及花篮输送领域,具体而言,涉及一种翻转机构及翻转输送装置。


背景技术:

2.在太阳电池制备过程中,通常需要采用pecvd(plasma enhanced chemical vapor deposition,等离子体增强化学的气相沉积法)制备工艺在硅片的上下表面镀膜:i层、n层、p层,从而获得硅片表面pn结。为了确保能够获取上述几类膜层,需要将硅片进行一次或多次翻转,再重新放置于对应槽体内进行镀膜。为了减少硅片表面划伤或者附着脏污,目前通常是采用花篮承载硅片,以翻转花篮的方式实现批量硅片的翻转目的。
3.为了实现承载有硅片的花篮翻转的目的,常规做法是将花篮通过输送带传输至待翻转位置,再采用上下两个气缸实现对花篮的定位夹紧:首先是位于下方的压紧气缸上升将花篮托起至离开输送带并可实现花篮翻转的位置,位于上方的压紧气缸下降至压紧花篮的顶面;接着依靠翻转装置实现花篮的翻转;完成翻转后,位于下方的夹紧气缸托起花篮下降回到输送带上。
4.该方法是通过上下两个气缸实现对花篮的夹紧,夹紧效果比较差,在花篮升降和翻转过程中容易出现晃动问题,甚至出现花篮脱离的情况,造成碎片。


技术实现要素:

5.本技术实施例的目的在于提供一种翻转机构及翻转输送装置,用以定位夹紧花篮,夹紧效果好,实现平稳翻转和输送。
6.第一方面,本技术实施例提供了一种翻转机构,其包括机架,以及设置于机架上的能够竖直升降移动的升降滑块,升降滑块上连接有能够自转的夹持组件,夹持组件包括连接于升降滑块的安装座,以及设置于安装座上且相对设置的两个夹板,每个夹板被配置成能够相对于另一个夹板升降移动,且每个夹板与另一个夹板的相对面设置有凸起的定位锥销。
7.在上述实现过程中,夹持组件的两个夹板可以分别移动,从而可以保证花篮在输送位置,还未升降移动前就能够通过两个夹板夹紧花篮,避免花篮升起后再夹紧的过程中造成花篮的颤动或位移,而且通过定位锥销对花篮进行定位,确保对花篮的夹紧效果好。通过升降滑块可以带动夹持组件夹住花篮进行升降至翻转位置,通过升降组件自转可以使夹住的花篮进行翻转,实现花篮中批量硅片翻面,由于夹持组件对花篮的夹紧效果好,在升降和翻转过程中,可以保证动作平稳,从而减少碎片和划伤等问题发生。
8.在一种可能的实现方式中,其还包括安装于机架上的升降气缸和竖直设置的升降导轨,升降滑块滑动设置于升降导轨上,升降气缸的驱动端与升降滑块连接。
9.在上述实现过程中,通过升降气缸驱动升降滑块沿竖直设置的升降导轨滑动,从而实现升降滑块竖直升降移动,进而带着花篮升降。
10.在一种可能的实现方式中,还包括设置于机架上的升降开关,升降开关对应升降
滑块。
11.在上述实现过程中,在机架上设置升降开关,可以检测夹持组件夹紧花篮上升或下降即将到指定高度的时机,从而控制其减速,然后平稳升降到指定高度,解决花篮升降骤停导致的晃动问题。
12.在一种可能的实现方式中,其还包括安装于升降滑块上的旋转气缸,旋转气缸的驱动端与夹持组件的安装座连接。
13.在上述实现过程中,通过旋转气缸带动夹持组件自转,从而实现花篮翻转。
14.在一种可能的实现方式中,还包括设置于升降滑块上的旋转开关,旋转开关与夹持组件的安装座对应。
15.在上述实现过程中,在升降滑块上设置旋转开关,可以检测夹持组件夹紧花篮翻转即将到指定角度的时机,从而控制其减速,然后平稳翻转到指定角度,解决花篮翻转骤停导致的晃动问题。
16.在一种可能的实现方式中,夹持组件还包括安装于安装座上的两个驱动气缸,每个驱动气缸的驱动端对应连接一个夹板。
17.在一种可能的实现方式中,还包括设置于安装座上的两个夹紧开关,每个夹紧开关对应一个夹板。
18.在上述实现过程中,在安装座上设置对应夹板的夹紧开关,可以检测对应夹板相对另一个夹板升降移动至预设位置的时机,从而保证两个夹板配合将花篮夹紧,且避免对花篮施力过大而造成损坏。
19.在一种可能的实现方式中,夹板包括夹持面板,夹持面板是由多根间隔、且平行设置的条形板组成,条形板的一同侧端连接在一起且与安装座连接,另一同侧端形成开口槽;和/或,每个夹板上设置有至少一对定位锥销,每对定位锥销位于夹板的对角位置。
20.在上述实现过程中,夹板采用间隔条件板组合的方式,能够在保证夹持面积的前提下减轻自重,而且开口槽的设计便于与其他定位件相配合,从而限制夹板在输送位置平移。采用定位锥销对角设置的方式便于对花篮进行定位,尤其是可以与花篮被夹持面的对角形销槽相匹配,实现花篮的精确定位。
21.第二方面,本技术实施例提供了一种翻转输送装置,其包括第一方面提供的翻转机构,翻转机构的两侧分别设置有用于输送花篮的输入轨道和输出轨道,输入轨道和输出轨道均沿输送方向布置,翻转机构的夹持组件能够移动至其中一个夹板位于输入轨道和输出轨道之间。
22.在上述实现过程中,花篮由输入轨道可以自动输送至位于输入轨道和输出轨道之间的输送位置的夹板上,再通过翻转机构实现花篮的夹紧和翻转,最后花篮由输入位置通过输出轨道自动输送至下一个环节。
23.在一种可能的实现方式中,还包括设置于输入轨道和输出轨道之间的定位件,翻转机构的其中一个夹板能够平铺至输入轨道和输出轨道之间,且定位件限制夹板平移。
24.在上述实现过程中,当夹板平铺至输送位置,花篮可以自动输送至该输送位置的夹板,且此过程中,夹板不会发生平移,保证花篮准确输送至夹板上。
附图说明
25.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案,下面将对本技术实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本技术的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
26.图1为本技术第一实施例提供的一种翻转机构的结构示意图;
27.图2为图1另一视角的结构示意图;
28.图3为图1翻转后的结构示意图;
29.图4为图1中夹持组件的结构示意图;
30.图5为本技术第二实施例提供的一种翻转输送装置的结构示意图;
31.图6为图5中夹持组件位于输入轨道和输出轨道之间的结构示意图。
32.图标:001-花篮;100-翻转机构;111-机架;112-升降滑块;113-升降气缸;114-升降导轨;115-升降开关;121-旋转气缸;122-旋转开关;130-夹持组件;131-安装座;132-夹板;133-定位锥销;134-驱动气缸;135-夹紧开关;200-翻转输送装置;210-输入轨道;220-输出轨道;230-定位件。
具体实施方式
33.下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行描述。
34.为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
35.因此,以下对在附图中提供的本技术实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围,而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
36.应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
37.在本技术的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
38.此外,术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂,而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平,并不是表示该结构一定要完全水平,而是可以稍微倾斜。
39.在本技术的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“安装”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可
以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
40.第一实施例
41.请参看图1至图3,本实施例提供的一种翻转机构100,其主要分为以下功能部分:用于夹紧花篮001的夹持组件130,用于驱动夹持组件130翻转的翻转组件和用于驱动夹持组件130升降的升降组件。以下对各功能部分进行介绍说明。
42.一、升降组件
43.请参看图1至图3,升降组件包括竖直设置的机架111,安装于机架111上的升降气缸113、竖直设置的升降导轨114,以及滑动设置于升降导轨114上的升降滑块112,升降气缸113的驱动端与升降滑块112连接,升降滑块112在升降气缸113的驱动作用下能够沿升降导轨114竖直升降移动。其中,机架111要求具有较高的强度,且能够稳定固定于工作台面上,进行实现其他部件和组件在机架111上的安装和固定。
44.另外,升降组件还包括设置于机架111上的升降开关115,升降开关115对应升降滑块112,升降开关115即为位置感应器,通过光电检测确定夹持组件130的升降位置,升降开关115通常设置于对应夹持组进行翻转的高度位置,即接近该高度位置。
45.二、翻转组件
46.请参看图1至图3,翻转组件包括安装于升降滑块112上的旋转气缸121,旋转气缸121的驱动端与夹持组件130连接,夹持组件130在旋转气缸121的驱动作用下能够自转,从而带着花篮001翻转。
47.另外,翻转组件还包括设置于升降滑块112上的旋转开关122,旋转开关122与夹持组件130的安装座131对应,旋转开关122即为位置感应器,通过光电检测确定夹持组件130的旋转角度位置,旋转开关122通常设置于对应夹持组翻转到位的角度位置,即接近该角度位置。
48.三、夹持组件130
49.请结合参看图4,夹持组件130包括连接于升降滑块112的安装座131,以及安装于安装座131上的两个驱动气缸134,每个驱动气缸134的驱动端对应连接一个夹板132,两个夹板132相对设置,每个夹板132在对应驱动气缸134的驱动作用下能够相对于另一个夹板132升降移动。
50.夹板132包括夹持面板,夹持面板是由多根间隔、且平行设置的条形板组成,条形板的一同侧端连接在一起且与安装座131连接,另一同侧端形成开口槽;每个夹板132与另一个夹板132的相对面设置有一对定位锥销133:第一定位锥销133、第二定位锥销133。定位锥销133相对该相对面凸起,还可以具有一定的伸缩性,需要保证该定位锥销133的凸起部能够卡入花篮001的对应面的锥槽内,每对定位锥销133位于夹板132的对角位置的条形板上。
51.另外,夹持组件130还包括设置于安装座131上的两个夹紧开关135,每个夹紧开关135对应一个夹板132。夹紧开关135即为位置感应器,通过光电检测确定对应夹板132的高度位置,每个夹紧开关135通常设置于对应夹爪夹持到位的高度位置,即接近该高度位置。
52.第二实施例
53.请结合参看图5和图6,本实施例提供的一种翻转输送装置200,其包括第一实施例
中的翻转机构100,翻转机构100的两侧分别设置有用于输送花篮001的输入轨道210和输出轨道220,输入轨道210和输出轨道220均为输送带结构,输入轨道210和输出轨道220均沿输送方向布置,翻转机构100的夹持组件130能够移动至位于输入轨道210和输出轨道220之间。输入轨道210和输出轨道220之间还设置有定位件230,翻转机构100的其中一个夹板132能够平铺至输入轨道210和输出轨道220之间,且定位件230限制夹板132平移。
54.该翻转输送装置200具体工作过程如下:
55.步骤一,使夹持组件130呈初始状态:两个夹板132水平设置,且相距一定距离,该距离需大于花篮001的高度;夹持组件130位于下方的夹板132位于输入轨道210和输出轨道220之间的输送位置,且三者保持同一平面。
56.步骤二,使承载硅片的满花篮001通过输入轨道210传输到输送位置的夹板132上,两个夹板132在对应驱动气缸134的作用下同时动作,在夹板132对应的夹紧开关135作用下,夹板132在即将到达指定夹紧位置时减速并停止,此时两个夹板132共同夹紧花篮001的顶面和底面,位于上方的夹板132上的定位锥销133插入花篮001的顶面,位于下方的夹板132上的定位锥销133插入花篮001的底面,从而完成花篮001的夹紧动作。
57.步骤三,通过升降气缸113驱动,将花篮001提起,并在升降开关115的作用下,在即将到达指定翻转位置减速并停止上升,等待进行下一步操作。
58.步骤四,通过翻转气缸驱动,带动花篮001翻转,并在旋转开关122的作用下,在即将到达指定翻转位置减速到达指定角度,即两个夹板132仍保持水平状态,但初始位于上方的夹板132翻转至位于下方,初始位于下方的夹板132翻转至位于上方,从而完成花篮001的翻转动作。
59.步骤五,通过升降气缸113驱动,将花篮001下降,并在升降开关115的作用下,在即将到达输送位置减速并停止下降,两个夹板132同时动作,其上的定位锥销133脱离花篮001,结束花篮001的夹紧动作,夹持组件130恢复至初始状态。
60.步骤六,完成以上步骤后,进行下一个循环,实现连续生产中花篮001平稳翻转功能。
61.综上所述,本技术实施例的翻转机构及翻转输送装置用以定位夹紧花篮,夹紧效果好,实现平稳翻转和输送。
62.以上所述仅为本技术的实施例而已,并不用于限制本技术的保护范围,对于本领域的技术人员来说,本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本技术的保护范围之内。
再多了解一些

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