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一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构的制作方法

2022-04-09 11:39:24 来源:中国专利 TAG:


1.本发明涉及硅棒清洗技术领域,具体的说是一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构。


背景技术:

2.单晶硅通常指的是硅原子的一种排列形式形成的物质,硅是最常见应用最广的半导体材料,当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格排列成晶核,其晶核长成晶面取向相同的晶粒,通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的硅单晶体棒,广泛应用与芯片制造和电子元器件的生产。
3.现有技术专利号为:201811035833.6一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构,能够够对单晶硅棒进行清洗,然而在清洗过程中不方便对硅棒进行很好的上下料,操作起来十分不方便,并且操作不当容易造成硅棒碰撞磨损,同时不方便在上下料时很好的对水源输送控制,容易造成水资源浪费,并且缺乏过滤装置,容易造成喷头堵塞,清洗后的污水中的胶水不方便进行筛除,容易堵塞内部排水管道,造成二次污染。


技术实现要素:

4.针对现有技术中的问题,本发明提供了一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构。
5.本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构,包括固定箱,所述固定箱内部安装有放置机构,所述固定箱一侧安装有驱动机构,所述固定箱上连接有闭合机构,所述固定箱上安装有清洗机构,所述固定箱内部安装有过滤机构,所述固定箱内部连接有收集机构。
6.具体的,所述放置机构包括支撑板,所述固定箱内部两侧分别安装有支撑板,所述固定箱内部滑动连接有固定框,所述固定框与两个支撑板滑动连接,所述固定框延伸至固定箱外部,所述固定框与固定箱内侧之间连接有两个抵触弹簧,两个所述支撑板上安装有多个超声波,所述固定框上转动连接有多个等距分布的滚轴。
7.具体的,两个所述支撑板上分别转动连接有多个等距分布的导轮,所述导轮与固定框两侧抵触,所述固定框一端转动连接有滚轮,所述固定箱底部内侧设有收集槽,所述收集槽位于固定框底部,所述固定箱一侧安装有排污阀,所述排污阀与收集槽连通。
8.具体的,所述驱动机构包括转套,所述固定框一端内部转动连接有多个等距分布的转套,多个所述转套一端分别与多个所述滚轴连接,所述转套延伸至固定框外部,所述固定箱一侧可拆卸连接有固定壳,所述固定壳上可拆卸连接有电机,所述固定箱一侧转动连接有多个等距分布的驱动轴,所述驱动轴一端延伸至固定箱内部,所述驱动轴一端与固定套一端内部均为六棱柱形结构,所述驱动轴另一端延伸至固定壳内部,多个所述驱动轴另一端分别固定连接有链轮,多个所述链轮通过链条连接,所述电机输出轴延伸至固定壳内部与其中一个驱动轴连接。
9.具体的,所述固定框两端内侧分别固定连接有多个挡板,所述挡板为圆盘形结构,
所述挡板位于两个滚轴之间,两个所述挡板之间连接有刮板,所述刮板与硅棒抵触。
10.具体的,所述闭合机构包括盖板,所述固定箱一侧转动连接有盖板,所述盖板上安装有推块,所述推块为三角形结构,所述固定箱一侧内部设有卡槽,所述盖板一端安装有卡销,所述卡销通过复位弹簧与盖板滑动连接,所述卡销为梯形结构,所述盖板上滑动连接有拉杆,所述拉杆贯穿于复位弹簧与卡销连接。
11.具体的,所述固定箱一侧连接有支撑块,所述支撑块为梯形结构,所述支撑块上安装有皮垫,所述皮垫与盖板一侧抵触。
12.具体的,所述清洗机构包括进水管,所述固定箱上安装有进水管,所述固定箱内部安装有连接块,所述进水管通过电磁阀与连接块内部连通,所述连接块上安装有导管,所述导管通过连接块与进水管连通,所述固定箱内部安装有多个连接管,多个所述连接管上分别安装有多个喷头,所述导管通过多个连通管与多个连接管连通。
13.具体的,所述连接块内部安装有皮塞,所述皮塞通过压缩弹簧与连接块内部滑动连接,所述进水管和导管分别与皮塞两侧连通,所述皮塞上安装有顶杆,所述顶杆延伸至固定箱外侧,所述顶杆上转动连接有压轮。
14.具体的,所述过滤机构包括放置箱,所述固定箱内部固定连接有放置箱,所述放置箱内部卡合连接有过滤网,所述导管一端与放置箱一端连接,且所述导管一端与过滤网连通,所述连通管一端与放置箱底部连接,所述连通管一端与过滤网连通。
15.具体的,所述固定箱上安装有滑块,所述滑块通过挤压弹簧与固定箱滑动连接,所述滑块上安装有限位杆,所述限位杆贯穿于挤压弹簧与固定箱内部滑动连接,所述滑块上转动连接有防护板,所述防护板与固定箱顶部滑动连接,所述防护板贯穿于固定箱延伸至放置箱内部与过滤网抵触,所述防护板上安装有把手。
16.具体的,所述收集机构包括收集盒,所述固定箱内部滑动连接有收集盒,所述收集盒一端延伸至固定箱外侧,所述收集盒一端安装有拉扣,所述收集盒内部安装有筛网。
17.本发明的有益效果是:
18.(1)本发明所述的一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构,通过放置机构和驱动机构的作用下有利于对硅棒进行方便放置,并且进行很好的翻转清理,减少硅棒磨损,即:通过固定框上安装的多个滚轴,有利于在两个滚轴上放置硅棒,通过多个超声波的作用下,能够使硅棒在滚轴上方便震动,实现更好的清洗,通过两个支撑板的作用下有利于放置框与固定箱内部能够滑动,从而方便将固定框拉出后进行上下料工作,操作更加的方便,同时在抵触弹簧的作用下方便固定框能够很好的被推出一定位置,方便工作人员上料下料工作,通过导轮的安装有利于固定框在支撑板上滑动顺畅稳定,并且通过滚轮的作用下方便对固定框拉动抽出,通过收集槽的作用下有利于对清洗硅棒的污水进行收集存放,并且通过对排污阀的驱动控制,从而方便污水排出处理,通过将上料后的固定框滑入固定箱内部后,固定框一端的多个转套分别与多个驱动轴卡合,通过电机的转动,电机带动其中一个驱动轴转动,在链条和链轮的作用下使多个驱动轴同步带动多个转套转动,从而使多个滚轴在固定框内部转动,通过另外多个滚轴的支撑下,使滚轴上放置的硅棒能够转动,从而进行更好的清理工作,通过多个对称的挡板有利于对放置在两个滚轴上的硅棒两端抵触防护,起到了防脱的作用,通过刮板的作用下有利于对转动的硅棒上胶水进行刮除,并且冲洗干净。
19.(2)本发明所述的一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构,通过闭合机构的作用下有利于对放置机构驱动控制,并且方便对固定箱内部防护遮挡,即:通过盖板转动打开时,固定框在抵触弹簧的作用下滑出,通过上下料后,转动盖板,使盖板转动闭合,同时盖板上的推块会对固定框一端的滚轮抵触,从而推动固定框摆脱抵触弹簧的作用下滑入固定箱内部清洗工作,盖板闭合稳定后,卡销在复位弹簧的作用下与卡槽内部抵触限位,使盖板不会打开,通过拉动拉杆,方便带动卡销与卡槽分离,从而方便对盖板转动打开上下料,通过盖板打开后,盖板一侧会与皮垫抵触,在支撑块和皮垫的作用下,有利于盖板与固定箱垂直放置,方便放置框滑动上下料。
20.(3)本发明所述的一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构,通过清洗机构的作用下有利于对固定箱内部喷水清洗,并且通过闭合机构的工作进行水源输送控制,即:通过电磁阀的作用下有利于控制进水管与外部管道的连通,从而使外部水通过连接块与导管连通,并且在多个连通管和多个连接管作用下,使水从多个喷头喷出,从而方便对硅棒进行清洗工作,盖板打开时,通过压缩弹簧的作用下使皮塞对进水管和导管堵塞,使进水管内部的水无法输送,通过盖板闭合后,盖板对压轮抵触,并且驱动顶杆对皮塞抵触,皮塞摆脱压缩弹簧的作用下使进水管与导管连通,有利于水输送进行喷洒清洗工作。
21.(4)本发明所述的一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构,通过过滤机构的作用下有利于对输送的水进行过滤清理,通过收集机构的作用下有利于对污水中的胶水过滤清理,即:通过放置箱的作用下有利于对过滤网放置,通过连通管和导管与过滤网的连通有利于对水进行过滤,防止喷头堵塞,通过挤压弹簧的作用下使防护板一端与固定箱内侧卡合,从而使防护板底部与过滤网抵触紧密,通过推动把手,使把手带动防护板对滑块抵触,滑块摆脱挤压弹簧的作用下滑动,有利于防护板一端与固定箱内部分离,方便对防护板转动打开,从而对过滤网更换,通过收集盒的作用下有利于对筛网安装,通过筛网的作用下有利于对清洗掉落的污水收集,并且对污水中的胶水进行过滤收集,通过拉动拉扣,方便对收集盒抽出,有利于对过滤收集的胶水清理。
附图说明
22.下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
23.图1为本发明提供的一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构的一种较佳实施例的整体结构示意图;
24.图2为本发明的固定箱与固定框及盖板的连接结构示意图;
25.图3为本发明的固定框与滚轴的连接结构示意图;
26.图4为图2所示的a部结构放大示意图;
27.图5为图2所示的b部结构放大示意图;
28.图6为图2所示的c部结构放大示意图;
29.图7为本发明的盖板与卡销的连接结构示意图;
30.图8为本发明的固定箱与防护板的连接结构示意图。
31.图中:1、固定箱;2、放置机构;201、固定框;202、滚轴;203、滚轮;204、支撑板;205、导轮;206、超声波;207、抵触弹簧;208、收集槽;209、排污阀;3、驱动机构;301、转套;302、刮板;303、挡板;304、电机;305、固定壳;306、链条;307、链轮;308、驱动轴;4、闭合机构;401、
盖板;402、推块;403、卡销;404、支撑块;405、皮垫;406、卡槽;407、复位弹簧;408、拉杆;5、清洗机构;501、进水管;502、导管;503、连接管;504、喷头;505、连通管;506、电磁阀;507、连接块;508、压缩弹簧;509、皮塞;510、顶杆;511、压轮;6、过滤机构;601、放置箱;602、把手;603、过滤网;604、防护板;605、滑块;606、挤压弹簧;607、限位杆;7、收集机构;701、拉扣;702、收集盒;703、筛网。
具体实施方式
32.为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本发明。
33.如图1-图8所示,本发明所述的一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构包括固定箱1,所述固定箱1内部安装有放置机构2,所述固定箱1一侧安装有驱动机构3,所述固定箱1上连接有闭合机构4,所述固定箱1上安装有清洗机构5,所述固定箱1内部安装有过滤机构6,所述固定箱1内部连接有收集机构7。
34.具体的,所述放置机构2包括支撑板204,所述固定箱1内部两侧分别安装有支撑板204,所述固定箱1内部滑动连接有固定框201,所述固定框201与两个支撑板204滑动连接,所述固定框201延伸至固定箱1外部,所述固定框201与固定箱1内侧之间连接有两个抵触弹簧207,两个所述支撑板204上安装有多个超声波206,所述固定框201上转动连接有多个等距分布的滚轴202,通过所述固定框201上安装的多个所述滚轴202,有利于在两个所述滚轴202上放置硅棒,通过多个所述超声波206的作用下,能够使硅棒在所述滚轴202上方便震动,实现更好的清洗,通过两个所述支撑板204的作用下有利于所述放置框与所述固定箱1内部能够滑动,从而方便将所述固定框201拉出后进行上下料工作,操作更加的方便,同时在所述抵触弹簧207的作用下方便所述固定框201能够很好的被推出一定位置,方便工作人员上料下料工作。
35.具体的,两个所述支撑板204上分别转动连接有多个等距分布的导轮205,所述导轮205与固定框201两侧抵触,所述固定框201一端转动连接有滚轮203,所述固定箱1底部内侧设有收集槽208,所述收集槽208位于固定框201底部,所述固定箱1一侧安装有排污阀209,所述排污阀209与收集槽208连通,通过所述导轮205的安装有利于所述固定框201在所述支撑板204上滑动顺畅稳定,并且通过所述滚轮203的作用下方便对所述固定框201拉动抽出,通过所述收集槽208的作用下有利于对清洗硅棒的污水进行收集存放,并且通过对所述排污阀209的驱动控制,从而方便污水排出处理。
36.具体的,所述驱动机构3包括转套301,所述固定框201一端内部转动连接有多个等距分布的转套301,多个所述转套301一端分别与多个所述滚轴202连接,所述转套301延伸至固定框201外部,所述固定箱1一侧可拆卸连接有固定壳305,所述固定壳305上可拆卸连接有电机304,所述固定箱1一侧转动连接有多个等距分布的驱动轴308,所述驱动轴308一端延伸至固定箱1内部,所述驱动轴308一端与固定套一端内部均为六棱柱形结构,所述驱动轴308另一端延伸至固定壳305内部,多个所述驱动轴308另一端分别固定连接有链轮307,多个所述链轮307通过链条306连接,所述电机304输出轴延伸至固定壳305内部与其中一个驱动轴308连接,通过将上料后的所述固定框201滑入所述固定箱1内部后,所述固定框201一端的多个所述转套301分别与多个所述驱动轴308卡合,通过所述电机304的转动,所
述电机304带动其中一个所述驱动轴308转动,在所述链条306和所述链轮307的作用下使多个所述驱动轴308同步带动多个所述转套301转动,从而使多个所述滚轴202在所述固定框201内部转动,通过另外多个所述滚轴202的支撑下,使所述滚轴202上放置的硅棒能够转动,从而进行更好的清理工作。
37.具体的,所述固定框201两端内侧分别固定连接有多个挡板303,所述挡板303为圆盘形结构,所述挡板303位于两个滚轴202之间,两个所述挡板303之间连接有刮板302,所述刮板302与硅棒抵触,通过多个对称的所述挡板303有利于对放置在两个所述滚轴202上的硅棒两端抵触防护,起到了防脱的作用,通过所述刮板302的作用下有利于对转动的硅棒上胶水进行刮除,并且冲洗干净。
38.具体的,所述闭合机构4包括盖板401,所述固定箱1一侧转动连接有盖板401,所述盖板401上安装有推块402,所述推块402为三角形结构,所述固定箱1一侧内部设有卡槽406,所述盖板401一端安装有卡销403,所述卡销403通过复位弹簧407与盖板401滑动连接,所述卡销403为梯形结构,所述盖板401上滑动连接有拉杆408,所述拉杆408贯穿于复位弹簧407与卡销403连接,通过所述盖板401转动打开时,所述固定框201在所述抵触弹簧207的作用下滑出,通过上下料后,转动所述盖板401,使所述盖板401转动闭合,同时所述盖板401上的所述推块402会对所述固定框201一端的所述滚轮203抵触,从而推动所述固定框201摆脱所述抵触弹簧207的作用下滑入所述固定箱1内部清洗工作,所述盖板401闭合稳定后,所述卡销403在所述复位弹簧407的作用下与所述卡槽406内部抵触限位,使所述盖板401不会打开,通过拉动所述拉杆408,方便带动所述卡销403与所述卡槽406分离,从而方便对所述盖板401转动打开上下料。
39.具体的,所述固定箱1一侧连接有支撑块404,所述支撑块404为梯形结构,所述支撑块404上安装有皮垫405,所述皮垫405与盖板401一侧抵触,通过所述盖板401打开后,所述盖板401一侧会与所述皮垫405抵触,在所述支撑块404和所述皮垫405的作用下,有利于所述盖板401与所述固定箱1垂直放置,方便所述放置框滑动上下料。
40.具体的,所述清洗机构5包括进水管501,所述固定箱1上安装有进水管501,所述固定箱1内部安装有连接块507,所述进水管501通过电磁阀506与连接块507内部连通,所述连接块507上安装有导管502,所述导管502通过连接块507与进水管501连通,所述固定箱1内部安装有多个连接管503,多个所述连接管503上分别安装有多个喷头504,所述导管502通过多个连通管505与多个连接管503连通,通过所述电磁阀506的作用下有利于控制所述进水管501与外部管道的连通,从而使外部水通过所述连接块507与所述导管502连通,并且在多个所述连通管505和多个所述连接管503作用下,使水从多个所述喷头504喷出,从而方便对硅棒进行清洗工作。
41.具体的,所述连接块507内部安装有皮塞509,所述皮塞509通过压缩弹簧508与连接块507内部滑动连接,所述进水管501和导管502分别与皮塞509两侧连通,所述皮塞509上安装有顶杆510,所述顶杆510延伸至固定箱1外侧,所述顶杆510上转动连接有压轮511,所述盖板401打开时,通过所述压缩弹簧508的作用下使所述皮塞509对所述进水管501和所述导管502堵塞,使所述进水管501内部的水无法输送,通过所述盖板401闭合后,所述盖板401对所述压轮511抵触,并且驱动所述顶杆510对所述皮塞509抵触,所述皮塞509摆脱所述压缩弹簧508的作用下使所述进水管501与所述导管502连通,有利于水输送进行喷洒清洗工
作。
42.具体的,所述过滤机构6包括放置箱601,所述固定箱1内部固定连接有放置箱601,所述放置箱601内部卡合连接有过滤网603,所述导管502一端与放置箱601一端连接,且所述导管502一端与过滤网603连通,所述连通管505一端与放置箱601底部连接,所述连通管505一端与过滤网603连通,通过所述放置箱601的作用下有利于对所述过滤网603放置,通过所述连通管505和所述导管502与所述过滤网603的连通有利于对水进行过滤,防止所述喷头504堵塞。
43.具体的,所述固定箱1上安装有滑块605,所述滑块605通过挤压弹簧606与固定箱1滑动连接,所述滑块605上安装有限位杆607,所述限位杆607贯穿于挤压弹簧606与固定箱1内部滑动连接,所述滑块605上转动连接有防护板604,所述防护板604与固定箱1顶部滑动连接,所述防护板604贯穿于固定箱1延伸至放置箱601内部与过滤网603抵触,所述防护板604上安装有把手602,通过所述挤压弹簧606的作用下使所述防护板604一端与所述固定箱1内侧卡合,从而使所述防护板604底部与所述过滤网603抵触紧密,通过推动所述把手602,使所述把手602带动所述防护板604对所述滑块605抵触,所述滑块605摆脱所述挤压弹簧606的作用下滑动,有利于所述防护板604一端与所述固定箱1内部分离,方便对所述防护板604转动打开,从而对所述过滤网603更换。
44.具体的,所述收集机构7包括收集盒702,所述固定箱1内部滑动连接有收集盒702,所述收集盒702一端延伸至固定箱1外侧,所述收集盒702一端安装有拉扣701,所述收集盒702内部安装有筛网703,通过所述收集盒702的作用下有利于对所述筛网703安装,通过所述筛网703的作用下有利于对清洗掉落的污水收集,并且对污水中的胶水进行过滤收集,通过拉动所述拉扣701,方便对所述收集盒702抽出,有利于对过滤收集的胶水清理。
45.本发明在使用时,首先通过固定框201上安装的多个滚轴202,有利于在两个滚轴202上放置硅棒,通过多个超声波206的作用下,能够使硅棒在滚轴202上方便震动,实现更好的清洗,通过两个支撑板204的作用下有利于放置框与固定箱1内部能够滑动,从而方便将固定框201拉出后进行上下料工作,操作更加的方便,同时在抵触弹簧207的作用下方便固定框201能够很好的被推出一定位置,方便工作人员上料下料工作,通过导轮205的安装有利于固定框201在支撑板204上滑动顺畅稳定,并且通过滚轮203的作用下方便对固定框201拉动抽出,通过收集槽208的作用下有利于对清洗硅棒的污水进行收集存放,并且通过对排污阀209的驱动控制,从而方便污水排出处理,通过将上料后的固定框201滑入固定箱1内部后,固定框201一端的多个转套301分别与多个驱动轴308卡合,通过电机304的转动,电机304带动其中一个驱动轴308转动,在链条306和链轮307的作用下使多个驱动轴308同步带动多个转套301转动,从而使多个滚轴202在固定框201内部转动,通过另外多个滚轴202的支撑下,使滚轴202上放置的硅棒能够转动,从而进行更好的清理工作,通过多个对称的挡板303有利于对放置在两个滚轴202上的硅棒两端抵触防护,起到了防脱的作用,通过刮板302的作用下有利于对转动的硅棒上胶水进行刮除,并且冲洗干净,通过盖板401转动打开时,固定框201在抵触弹簧207的作用下滑出,通过上下料后,转动盖板401,使盖板401转动闭合,同时盖板401上的推块402会对固定框201一端的滚轮203抵触,从而推动固定框201摆脱抵触弹簧207的作用下滑入固定箱1内部清洗工作,盖板401闭合稳定后,卡销403在复位弹簧407的作用下与卡槽406内部抵触限位,使盖板401不会打开,通过拉动拉杆408,方便
带动卡销403与卡槽406分离,从而方便对盖板401转动打开上下料,通过盖板401打开后,盖板401一侧会与皮垫405抵触,在支撑块404和皮垫405的作用下,有利于盖板401与固定箱1垂直放置,方便放置框滑动上下料,通过电磁阀506的作用下有利于控制进水管501与外部管道的连通,从而使外部水通过连接块507与导管502连通,并且在多个连通管505和多个连接管503作用下,使水从多个喷头504喷出,从而方便对硅棒进行清洗工作,盖板401打开时,通过压缩弹簧508的作用下使皮塞509对进水管501和导管502堵塞,使进水管501内部的水无法输送,通过盖板401闭合后,盖板401对压轮511抵触,并且驱动顶杆510对皮塞509抵触,皮塞509摆脱压缩弹簧508的作用下使进水管501与导管502连通,有利于水输送进行喷洒清洗工作,通过放置箱601的作用下有利于对过滤网603放置,通过连通管505和导管502与过滤网603的连通有利于对水进行过滤,防止喷头504堵塞,通过挤压弹簧606的作用下使防护板604一端与固定箱1内侧卡合,从而使防护板604底部与过滤网603抵触紧密,通过推动把手602,使把手602带动防护板604对滑块605抵触,滑块605摆脱挤压弹簧606的作用下滑动,有利于防护板604一端与固定箱1内部分离,方便对防护板604转动打开,从而对过滤网603更换,通过收集盒702的作用下有利于对筛网703安装,通过筛网703的作用下有利于对清洗掉落的污水收集,并且对污水中的胶水进行过滤收集,通过拉动拉扣701,方便对收集盒702抽出,有利于对过滤收集的胶水清理。
46.对于本领域技术人员而言,显然本发明不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本发明。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
47.此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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